一种压力传感器的制作方法

文档序号:12194159阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种压力传感器,其特征在于,包括:

第一基底和第二基底;所述第一基底和第二基底通过封装材料进行粘合;所述第一基底和第二基底构成一个封装区域;

在所述封装区域中,与所述第一基底贴合设计的第一电极、和与所述第二基底贴合设计的第二电极;所述第一电极和第二电极间具有第一距离值,所述第一电极的一端设置有第一引出电极,所述第二电极的一端设置有第二引出电极,所述第一引出电极和第二引出电极与外部电路进行连接;

在所述第一电极和所述第二电极的中间设置有多个表面导电的弹性球体,所述弹性球体的直径大于等于所述第一距离值;

当所述第一基底上有外力作用时,所述第一电极和第二电极间的第一距离值发生变化,导致所述弹性球体分别与所述第一电极和所述第二电极的接触面积发生变化。

2.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述弹性球体的材料包括:聚苯乙烯、硅胶、SEBS、热塑性聚氨酯弹性体橡胶TPU、或热塑性弹性体TPE。

3.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述弹性球体的直径范围为1μm~1000μm,所述弹性球体的球体可压缩率为1%~95%。

4.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述弹性球体的表面镀层包括金属材质、非金属材料、或有机物,所述表面镀层的厚度为2nm~50μm。

5.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述第一基底和第二基底的材料包括:玻璃、塑料、橡胶、或内表面绝缘的金属材料。

6.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述封装材料包括:亚克力胶、硅胶、或橡胶。

7.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述第一电极和第二电极包括金属镀层或纳米铟锡金属氧化物ITO镀层。

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