1.一种离子源束流诊断用发射度仪，设置在同位素电磁分离器上，所述同位素电磁分离器包括设置在真空室(9)内、设有引出电极的离子源，所述离子源从所述引出电极的引出缝中射出离子束，其特征是：所述离子源束流诊断用发射度仪包括设置有探头(6)的运动支撑机构，所述运动支撑机构能够使所述探头(6)在所述真空室(9)内的所述引出缝附近做往复直线运动，所述探头(6)能够测量所述离子束的电流信号；还包括连接所述探头(6)的扫描电源；还包括控制所述动支撑机构、扫描电源、处理所述探头(6)所获得的所述电流信号的运动控制及数据采集系统。
2.如权利要求1所述的发射度仪，其特征是：所述运动支撑机构设置在所述真空室(9)上，包括连接步进电机(1)和螺母(2)的丝杠(3)，还包括与所述螺母(2)相连、一端穿入所述真空室(9)的传动杆(4)、设置在所述真空室(9)内的所述传动杆(4)的一端的探头支架(8)，所述探头(6)安装在所述探头支架(8)上，还包括把所述传动杆(4)设置在所述真空室(9)上的安装法兰(5)，所述传动杆(4)能够在所述步进电机(1)的驱动下带动所述探头(6)做往复直线运动，其中，所述传动杆(4)采用密封的波纹管实现所述运动支撑机构在真空环境与非真空环境之间的运动贯穿，所述传动杆(4)在所述真空室(9)中的往复直线运动的行程能够达到±105mm。
3.如权利要求2所述的发射度仪，其特征是：所述传动杆(4)在所述真空室(9)中的部分以及所述探头支架(8)、探头(6)的耐受功率达到1.5kW，所述耐受功率是指能够耐受的所述离子束的最大功率。
4.如权利要求2所述的发射度仪，其特征是：还包括贯穿电极(19)，所述贯穿电极(19)一端与所述真空室(9)内的所述探头(6)相连，另一端设置在所述真空室(9)之外的非真空环境中，所述贯穿电极(19)采用金属电极与陶瓷材料相结合，能够实现5kV高压的电气贯穿，用于传输所述探头(6)测量到的所述离子束的所述电流信号，所述陶瓷材料用于所述金属电极的绝缘。
5.如权利要求1所述的发射度仪，其特征是：所述探头(6)包括上下平行设置的、用于静电偏转的低电位极板(11)、高电位极板(12)，所述高电位极板(12)设置在所述低电位极板(11)上方；还包括设置在所述低电位极板(11)、高电位极板(12)两端的前缝口(14)和后缝口(15)，所述前缝口(14)靠近所述离子源的所述引出缝；还包括设置在所述后缝口(15)上的法拉第筒(16)；所述离子束能够从所述前缝口(14)进入所述低电位极板(11)、高电位极板(12)之间经过静电偏转后，从所述后缝口(15)进入所述法拉第筒(16)；
所述低电位极板(11)、高电位极板(12)长度为200mm；
所述低电位极板(11)、高电位极板(12)之间的间距为30mm；
所述前缝口(14)、后缝口(15)宽度为0.5mm。
6.如权利要求5所述的发射度仪，其特征是：所述扫描电源通过真空密封插头与所述真空室(9)中的所述探头(6)连接。
7.如权利要求1所述的发射度仪，其特征是：所述扫描电源设置在所述真空室(9)之外，所述扫描电源的扫描电压为±5kV，所述扫描电压的扫描步长为20V。
8.如权利要求4所述的发射度仪，其特征是：所述探头(6)上设有用于传输所述电流信号的信号连线，所述贯穿电极(19)通过所述信号连线与所述探头(6)相连。
9.如权利要求8所述的发射度仪，其特征是：所述运动控制及数据采集系统设置在所述真空室(9)之外，与所述贯穿电极(19)连接并获得所述电流信号。