一种硅圆棒棱线检测装置和硅圆棒切割设备的制作方法

文档序号:11559973阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供一种硅圆棒棱线检测装置和硅圆棒切割设备,其中检测装置的升降轴安装座包括容纳腔和第一通孔;升降轴包括卡接段和伸出段;卡接段设置在容纳腔内;伸出段穿过第一通孔伸出升降轴安装座,并可沿第一通孔的轴向相对于第一通孔滑动;弹性部件压缩设置在容纳腔内,使卡接段贴紧容纳腔的侧壁;传感器与升降轴安装座固定连接;传感器的检测头抵靠卡接段与弹性部件接触的一侧。采用本实用新型实施例提供的硅圆棒棱线检测装置,传感器通过升降轴与硅圆棒表面接触,因此可减小传感器的磨损,提高使用寿命。另外,因为升降轴和第一通孔配合可吸收与硅圆棒接触时产生的摩擦力,减小摩擦力对测量准确度的影响。

技术研发人员:徐永亮;吴智洪;张国华;张红臣
受保护的技术使用者:浙江昀丰新材料科技股份有限公司
文档号码:201621271819
技术研发日:2016.11.24
技术公布日:2017.08.11

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