一种磨硅棒快速定位装置的制作方法

文档序号:12419377阅读:490来源:国知局
一种磨硅棒快速定位装置的制作方法

本实用新型涉及硅棒滚磨技术领域,特别是一种磨硅棒快速定位装置。



背景技术:

目前,万能外圆磨床加工硅棒定位面已是硅加工行业普遍采用的加工方式,但是现有的外圆磨床加工硅棒定位面时,因未滚磨的原生硅棒表面凹凸不平,在晶向仪上确定硅片定位面位置不够精确,原生棒先确定定位面位置后再滚磨,直接在设备上做定位面,硅棒在平移过程易造成硅棒上下晃动,做出的参面不规则变形从而导致报废及导致晶向偏离度超出要求范围;此方法晶向偏离度只能控制在±2度范围,从而导致硅棒的晶向偏离度的精度不高。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种高效率、定位面晶向偏离度小、和几何参数好的磨硅棒快速定位装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种磨硅棒快速定位装置,它包括工作台、基板、固定夹具、V型块和杯型砂轮,所述的基板安装在工作台的侧面上,所述的V型块安装在基板的侧面上,所述的固定夹具安装在基板的侧面上,所述的固定夹具位于基板的一侧,且固定夹具将硅棒固定在V型块的V形槽内,所述的杯型砂轮安装在磨床上,且杯型砂轮的磨削面与硅棒的待加工面接触。

所述的固定夹具包括压紧螺杆、压板和顶杆,所述的压紧螺杆安装在基板上,在压板上开设有与顶杆螺纹配合的螺纹孔和穿过压紧螺杆的通孔,所述的压紧螺杆上螺纹连接有使压板压紧硅棒的锁紧螺母,所述的顶杆螺纹连接在压板上,且顶杆的底部与基板的侧面接触。

所述的工作台的侧面为锲形面,在基板上设置有与工作台锲形面配合的配合面。

所述的V型块、基板和工作台的上表面均在同一水平面上。

本实用新型具有以下优点:本实用新型的将硅棒经外圆滚磨整形后上晶向仪确定定位面位置后再上该工装磨削定位面,晶向偏离度可控制±30分以内,和现有技术相比,晶向偏离度的精度得到大幅的提高,并且该工装上磨削定位面避免了因硅棒长度不一而进行频繁调整硅棒与砂轮间的平行度(锥度)以及避免了频繁的进刀及退刀,和现有技术相比,且加工效率提高20%以上。

附图说明

图1 为本实用新型的俯视结构示意图;

图2 为直角T字尺的结构示意图;

图中,1-工作台,2-基板,3-顶杆,4-压紧螺杆,5-压板,6-硅棒,7-杯型砂轮,8-V型块,9-直角T字尺。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的描述,本实用新型的保护范围不局限于以下所述:

如图1所示,一种磨硅棒快速定位装置,它包括工作台1、基板2、固定夹具、V型块8和杯型砂轮7,所述的基板2安装在工作台1的侧面上,所述的V型块8安装在基板2的侧面上,所述的固定夹具安装在基板2的侧面上,所述的固定夹具位于基板2的一侧,且固定夹具将硅棒6固定在V型块8的V形槽内,所述的杯型砂轮7安装在磨床上,且杯型砂轮7的磨削面与硅棒6的待加工面接触。

在本实施例中,所述的固定夹具包括压紧螺杆4、压板5和顶杆3,所述的压紧螺杆4安装在基板2上,在压板5上开设有与顶杆3螺纹配合的螺纹孔和穿过压紧螺杆4的通孔,所述的压紧螺杆4上螺纹连接有使压板5压紧硅棒6的锁紧螺母,所述的顶杆3螺纹连接在压板5上,且顶杆3的底部与基板2的侧面接触,安装时,先将硅棒6放置在V型块8内,然后将压板5安装在锁紧螺杆4上,然后再旋动锁紧螺母使压板5压紧硅棒6,压紧后,再将顶杆3安装在压板5上,当顶杆3的底部与基板3的侧面接触后,从而使得压板5无法转动,实现压板5的定位。

在本实施例中,所述的工作台1的侧面为锲形面,在基板2上设置有与工作台1锲形面配合的配合面,通过锲形面之间的配合,能够保证工作台1的安装位置,从而保证V型块8的安装精度,从而提高了硅棒的磨削精度。

在本实施例中,所述的V型块8、基板2和工作台1的上表面均在同一水平面上,以保证硅棒6的安装精度,从而提高硅棒6的磨削精度。

本实用新型的工作过程如下:将基板2固定在工作台1上,尼龙塑料的V型块8固定在基板2上;工作台1、基板2、V型块8三者之间必须在同一水平面上,将确定好晶向位置的硅棒6放置在V型块8上;再将直角T字尺9放置在基板2上并与硅棒6上画的定位面线条重合,使参面画的线条与杯型砂轮7平面垂直;然后将固定夹具锁紧硅棒6,避免硅棒6晃动,开动设备,设定好进刀量,杯型砂轮7以5500转/min高速旋转,工作台1向左匀速平移,达到完成磨削定位面的目的。

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