一种用于旋转模块中心的测校工具及系统的制作方法

本实用新型涉及半导体领域，特别是涉及一种用于旋转模块中心的测校工具及系统。

背景技术：

在半导体制造过程中，常用到旋转模块，而大部分旋转模块对旋转中心的定位精度要求都比较高，故此类设备都要定期对旋转中心的精度进行测试校准。

传统的测校方法都需要通过试验品的作业结果进行判定，部分还需要使用仪器测量并计算，非常耗费人力物力，同时会影响设备的使用效率。

技术实现要素：

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种用于旋转模块中心的测校工具及系统，能够方便地校准旋转模块的中心。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个方案是：提供一种用于旋转模块中心的测校工具，包括：

固定底座；

记录机构，用于在所述旋转模块旋转时于其上的圆片表面留下痕迹；

连接机构，连接固定所述固定底座和所述记录机构，且至少在所述旋转模块旋转时使其记录机构与所述旋转模块之间的距离保持不变。

其中，所述工具进一步包括：

锁紧机构，用于将所述记录机构锁紧于所述连接机构。

其中，所述锁紧机构包括底板、夹持件以及锁紧件，所述底板和夹持件将所述连接机构夹持在中间，所夹持件一端固定于所述底板一端，另一端通过所述锁紧件固定于所述底板另一端。

其中，所述连接机构包括固定件和至少两件连接杆，至少一根所述连接杆一端固定于所述固定底座，至少另外一根所述连接杆固定所述记录机构，所述连接杆之间通过所述固定件连接固定。

其中，所述固定件为螺丝组件、磁性体、真空吸盘、绑带中的任一个。

其中，所述连接杆是塑料杆或金属杆。

其中，所述记录机构可以在所述连接杆上移动并固定，且可相对旋转，移动位置或旋转角度不同，所述记录机构与所述固定底座之间的距离或角度不同。

其中，所述记录机构是书写笔、喷嘴或激光发射器。

其中，所述固定底座为重量块、真空吸盘中的任一个。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的另一个技术方案是：提供一种用于旋转模块中心的测校系统，包括：

旋转模块；以及

上述方案中任一种用于旋转模块中心的测校工具。

本实用新型的有益效果是：本实用新型中由固定底座、连接机构以及记录机构组装成的测校工具能够方便地测校旋转模块的中心，有效省去人力、物力，简化操作。

附图说明

图1是本实用新型用于旋转模块中心的测校工具一实施例的结构示意图；

图2是本实用新型用于旋转模块中心的测校工具另一实施例中连接杆的结构示意图；

图3是本实用新型用于旋转模块中心的测校工具另一实施例中连接杆的结构示意图；

图4是本实用新型用于旋转模块中心的测校工具另一实施例的结构示意；

图5是用图4中测校工具测校旋转模块中心的工作示意图；

图6是图5中圆片被取下后的示意图；

图7是本实用新型用于旋转模块中心的测校系统一实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型进行详细的说明。

请参阅图1，图1是本实用新型用于旋转模块中心的测校工具一实施例的结构示意图，所述工具包括：

固定底座11，所述固定底座可以是重量块、真空吸盘中的任一个。

记录机构12，用于在所述旋转模块旋转时于其上的圆片表面留下痕迹，所述记录机构12可以是书写笔、喷嘴以及激光发射器中的任一个，只要能够在圆片表面留下清晰的痕迹即可。

连接机构13，包括固定件131和至少两件连接杆132、132，用于连接固定所述固定底座11和所述记录机构12，所述连接结构13能够在所述旋转模块旋转时使记录机构12与所述旋转模块之间的距离保持不变。

所述连接杆132呈长条形，所述连接杆133中间弯折成一定角度，所述连接杆133的一端和所述固定底座11配合连接固定，另一端通过固定件131和所述连接杆132的一端连接固定。

所述固定件131可以是螺丝组件、磁性体、真空吸盘、绑带中的任一个，便于所述工具的安装、调节和拆卸，同时通过松开所述固定件131，所述连接杆132与所述连接杆133之间的角度可调。可以理解的是，所述固定件131还可以集成于所述连接杆132或连接杆133中，使得所述连接杆132、连接杆133无需外物也能连接固定。

所述工具还包括锁紧机构14，用于将所述记录机构12锁紧在所述连接结构13的连接杆132上。所述锁紧机构包括底板141、夹持件142以及锁紧件143，所述底板141和夹持件142将所述连接杆132夹持在中间，所述夹持件142一端固定与所述底板141一端，所述夹持件142的另一端通过所述锁紧件143固定于所述底板141的另一端。所述紧锁件143可以是螺丝组件，松开所述螺丝组件，可上下移动锁紧机构14的位置，同时也可以旋转记录机构12的角度，移动位置或旋转角度的不同，所述记录机构12与所述固定底座11之间的距离或角度不同。

所述连接杆132与连接杆133可以是塑料杆，也可以是金属杆。

在其他实施例中，所述连接杆133和所述连接杆132上可设有滑动套管，再通过所述固定件131连接固定。请参阅图2，图2是本发明测校工具另一实施例中连接杆133的结构示意图。

参阅图2，在本实施例中，所述连接杆133上设有一滑动套管1331和所述滑动套管1331耦合的螺栓1332，当松开所述螺栓1332时，所述滑动套管1331可在所述连接杆133上滑动，当拧紧所述螺栓1332时，所述滑动套管1331固定在所述连接杆133上。

请参阅图3，在本实施例中，所述连接杆132上也设有一滑动套管1321和所述滑动套管1321耦合的螺栓1322，当松开所述螺栓1322时，所述滑动套管1321可在所述连接杆132上滑动，当拧紧所述螺栓1322时，所述滑动套管1321固定在所述连接杆132上。

一起参阅图2和图3，所述滑动套管1321可通过固定件131和所述滑动套管1331连接固定，所述固定件131可以为螺丝组件、磁性体、真空吸盘、绑带中的任一个。当通过松开所述固定件131时，所述滑动套管1321和所述滑动套管1331的角度可调，所述连接杆132与所述连接杆133之间的角度不同，从而记录机构12与所述旋转模块之间的角度不同。当需要调节所述记录机构12与所述旋转模块之间的距离时，松开所述螺栓1332，滑动所述滑动套管1331，从而调节所述记录机构12与所述旋转模块之间的水平距离，同时也可以松开螺栓1322，调节连接杆132，调节所述记录机构12与所述旋转模块之间的垂直距离。

参阅图4，图4是本实用新型用于旋转模块中心的测校工具另一实施例的结构示意图，该工具包括：固定底座21、记录机构22、连接机构23以及锁紧机构24。

所述固定底座21、记录机构22及锁紧结构24与上述实施例中的固定底座11、记录机构12及锁紧机构14的结构相同或相似，在此不再赘述。

所述连接机构23包括固定件231、固定件232、连接杆233、连接杆234及连接杆235。

所述固定件231、固定件232可以是螺丝组件、磁性体、真空吸盘及绑带中的任一种。

所述连接杆233、连接杆234以及连接杆235均为长条形，所述连接杆233的一端通过紧锁机构24和所述记录机构22紧锁在一起，另一端通过固定件231和所述连接杆234的一端连接固定在一起，所述连接杆234的另一端通过固定件232和所述连接杆235的一端连接固定在一起，所述连接机构235的另一端和所述固定底座21配合连接固定。

所述固定件可以为螺丝组件、磁性体、真空吸盘、绑带中的任一个。

其他实施例中，所述连接杆233、连接杆234及连接杆235上均可设有滑动套管和所述滑动套管相耦合的螺栓，再通过固定件231和固定件232固定连接，所述连接杆233、连接杆234、连接杆235与上述实施例中连接杆132、连接杆133的结构相同或相似，在此不再赘述。

通过滑动套管的设置，所述记录机构22、连接杆233、连接杆234及连接杆235锁紧相对位置均可相对移动，且相对角度可调，通过之间相对位置或角度的调节，调整所述测校工具与所述旋转模块之间的距离或角度。

请参阅图5，图5是用本实施例中的工具测校旋转模块的中心时的工作示意图。本实施例中以书写笔作为记录机构22进行说明。

当使用本实施例中的测校工具测校旋转模块的中心时，将圆片26置于所述旋转模块25之上，配合调节所述连接杆233、连接杆234、连接杆235及记录机构22，使得记录机构22的书写端轻碰所述圆片26的表面，按顺时针或逆时针方向旋转所述圆片26一周，所述记录机构22便会在所述圆片26的表面留下一圈痕迹27，待所述圆片26旋转结束后，取出圆片26。

请参阅图6，图6是从所述旋转模块25上取出的圆片26的示意图。

痕迹27为所述记录机构22在所述圆片26表面留下的痕迹，可利用游标卡尺测量所述痕迹27与所述圆片26的相对位置：测量同一水平直线上所述痕迹27相对所述圆片26左边缘的距离a和所述痕迹27相对所述圆片26右边缘的距离c，以及同一水平直线上所述痕迹27相对所述圆片上边缘的距离b和所述痕迹27相对所述圆片26下边缘的距离d，当测出所述a、b、c、d的值后，假设a>c，b>d，则所述旋转模块实际的中心272与理论上的中心271在x方向上的偏移量为：(a-c)/2，y方向上的偏移量为：(b-d)/2，根据所述计算的x方向和所述y方向的偏移量校准所述旋转模块25的实际中心272。

参阅图7，图7是本实用新型用于旋转模块中心校测的系统一实施例的结构示意图，该系统包括：

旋转模块32，所述旋转模块32上可安放圆片；以及

上述任一项实施例中所述的用于旋转模块中心校测的工具31，所述工具31安装在所述旋转模块32的适当位置，便于校测所述旋转模块32的中心，校测所述旋转模块32中心的方法与上述实施例中的方法相同，在此不再赘述。

区别于现有技术，本实用新型中由固定底座、连接机构以及记录机构组装成的测校工具能够方便地测校旋转模块的中心，有效省去人力、物力，简化操作。

以上所述仅为本实用新型的实施方式，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。