泄漏检测系统的制作方法

本公开涉及一种泄漏检测系统。

背景技术：

许多工业和商业应用涉及可以用于例如处理步骤、比如为掩模或刻蚀的制造功能或者温度控制中的流体的使用。一些流体可能是特别有害的或者由于有害环境或生物学影响而需要特定维护。其他流体可能是异常贵重的，比如，例如药用物质。

许多行业继续需要有效地和准确地监控有害或贵重流体的泄漏的方法。

附图说明

实施例通过举例方式示出并且非旨在受限于附图。

图1包括根据一个实施例的泄漏检测系统的透视图。

图2包括布置在联结流体管道之间的流体界面上的多个泄漏检测系统的侧视图。

图3包括根据一个实施例的传感器的示意性视图。

图4包括根据一个实施例的传感器的横截面正视图。

图5包括根据另一个实施例的传感器的横截面正视图。

图6包括根据另一个实施例的传感器的横截面正视图。

图7包括根据另一个实施例的传感器的示意性视图。

图8包括根据一个实施例的权利要求7的传感器的横截面正视图。

图9包括根据一个实施例的处于干燥状态的另一个传感器的示意性视图。

图10包括根据一个实施例的处于潮湿状态的图9的传感器的示意性视图。

图11包括根据一个实施例的处于干燥状态的另一个传感器的示意性视图。

图12包括根据一个实施例的处于潮湿状态的图11的传感器的示意性视图。

图13包括根据一个实施例的具有两个检测元件的传感器的横截面正视图。

图14包括根据一个实施例的具有联接其上的多个传感器的流体管道的透视图，每个传感器具有不同的附接元件。

图15包括根据一个实施例的泄漏检测系统的透视图。

图16包括根据一个实施例的附接元件的透视图。

图17包括根据一个实施例的泄漏检测阵列的透视图。

具体实施方式

结合附图的以下说明被提供用于帮助理解本文中公开的教导。以下讨论将集中在本教导的具体实施方式和实施例。该聚焦提供用于帮助描述本教导，而且不应被解释为对该教导的范围或适用性的限制。然而，可以基于所公开的教导使用其他实施例。

术语“包括”、“包含”、“含有”、“具有”、“带有”或其任何其他变型旨在覆盖非排他内容。例如，包括一系列特征的方法、制品或设备不一定仅限于这些特征，而可以包括对于这些方法、制品或设备未明确列出或固有的其他特征。进一步地，除非明确地相反地说明，否则“或”指代包括在内的或而非排他的或。例如，条件a或b满足以下情况中的任一种：a为真(或存在)并且b为假(或不存在)，a为假(或不存在)并且b为真(或存在)，以及a和b两者均为真(或存在)。

此外，“一种”或“一个”的使用被用于描述本文中说明的元件和部件。这仅用于方便并且对本发明的范围给予一般含义。本说明应被理解为包括一个、至少一个或单数，也包括复数，或反之亦然，除非做出明确的相反表示。例如，当本文中描述单个项目时，超过一个项目可被用于替代单个项目。类似地，在本文中说明超过一个项目的情况下，单个项目可被用于替代超过一个项目。

除非另外限定，否则本文中使用的全部科技术语具有本发明所属技术领域的普通技术人员所通常理解的相同含义。材料、方法和例子是示例性的并非旨在限制。在本文中未说明的程度上，关于特定材料和处理动作的很多细节是常规的并且可以在流体输送领域内的教科书以及其他材料中找到。

根据本文中说明的一个或多个实施例的泄漏检测系统一般可以包括传感器、联接至传感器的通信装置以及适于将泄漏检测系统操作地联接至用于监控流体泄漏的区域的附接元件。在一个实施例中，泄漏检测系统可以邻近于设备上的流体界面布置。流体界面可以包括例如管接头、接缝或焊接管线、喷嘴或喷射器、螺纹端口、取样阀、排放管线、流体进口或出口或者流体可能从设备泄漏的任何其他的相似接头。在一个实施例中，传感器可以当干燥时具有第一状态并且当潮湿时具有第二状态。通信装置可以通过无线协议或有线连接将状态(第一或第二)传送至接收元件，该接收元件适于将被监控的区域的状态传达至可以对泄漏作出响应的用户或系统。在特定实施例中，附接元件可以是可移除的、可再利用的或两者均可。即，附接元件可以与被监控的设备或区域选择性地接合以及与其选择性地分离。

如本文中说明的泄漏检测系统可以定位成监控跨越数个不同技术专业的设备的泄漏。例如，根据本文中说明的一个或多个实施例的泄漏检测系统可被用于电子装置制造，比如半导体和超导体行业；比如为流体输送管线和泵的卫生器材；比如为在油气行业、饮用水和污水管系统中发现的管接头；航天工业中的制造、维护和设计；饮食工业；以及汽车工业。本文中说明的泄漏检测系统可以通过快速且准确地检测小的流体泄漏而减少对泄漏的响应时间，从而允许操作人员在可能的泄漏具有长更大的机会之前解决可能的泄漏。

根据一个实施例，传感器可以适于感知仅仅0.0001ml、至少0.001ml、至少0.01ml、至少0.05ml或至少0.1ml的流体泄漏。在另一个实施例中，传感器可以适于在与0.0001ml、0.001ml、0.01ml、0.05ml或0.1ml接触时感知流体泄漏。

参照图1，泄漏检测系统100可以大致包括传感器102和通信装置104。传感器102和通信装置104可以联接至比如为基板106的共用载体，共用载体可以使传感器102和通信装置104在空间上保持彼此联接。在如下所述的另一个实施例中，传感器102和通信装置104可以彼此联接或联接至泄漏检测系统的另一个物体，从而允许基板106的去除。

如图2中所示，至少一个泄漏检测系统100可以操作地联接至，比如，例如位于第一流体管道116与第二流体管道118的轴向端部之间的流体界面114，用于监控其之间的流体泄漏。每个泄漏检测系统100可以监控区域108、110和112的流体泄漏。在一个实施例中，区域108、110和112可以各自为至少1cm²、至少2cm²、至少3cm²、至少4cm²、至少5cm²、至少10cm²、至少20cm²、至少30cm²、至少40cm²、至少50cm²、至少75cm²或至少100cm²。在一个实施例中，区域108、110和112的尺寸可以相等并且具有彼此相同的相对形状。在另一个实施例中，区域108、110和112不必具有相同的形状或尺寸。即，在未示出的实施例中，区域108可以大于区域110。可替代地，区域112可以具有大致圆形形状，而区域108可以为大致矩形。区域108、110和112的形状和尺寸可以取决于数个因素，比如，例如传感器102的尺寸或灵敏度、传感器102的相对位置或甚至被监控的流体的类型。例如，当流体可以在流体管道的底部处集中或聚集时，布置在流体管道的下部位置处的传感器102可以监控更大区域，而当流体可能较小可能地在上部位置处聚集时，布置在流体管道的上部位置处的传感器102可以监控仅很小的区域。在特定实施例中，单个泄漏检测系统100可以沿着流体管道定位在竖直最低的位置处。

在特定情况下，区域108、110和112可以彼此邻近，比如彼此紧邻或彼此稍微间隔开。即，区域108、110和112可以彼此不重叠。在另一种情况下，区域108、110和112中的至少两个可以至少部分地重叠。即，至少两个区域108、110和112可以共享共用区域。例如，通过非限制性实施例，区域108和110可以各自为10cm²，在其之间重叠至少2cm²。因此，有效监控区域(如由区域108和110覆盖的)为18cm²。在特定实施例中，泄漏检测系统100中的至少两个可以重叠至少1％、至少2％、至少3％、至少4％、至少5％、至少10％或至少25％。在另一个特定实施例中，至少两个泄漏检测系统100可以重叠不大于99％、不大于98％、不大于97％、不大于96％、不大于95％、不大于90％或不大于75％。使区域108、110和112中的至少两个重叠可以降低故障率，以检测如果泄漏检测系统100之一失效时可能发生的泄漏。

参照图3，在一个实施例中，传感器102可以包括基板302和检测元件304。检测元件304可以比如例如通过粘合剂、螺纹或非螺纹紧固件、机械紧固件或另一个适当的方法附接至基板302。

在一个实施例中，检测元件304可以包括电路。更具体地，检测元件304可以包括处于干燥状态的断开电路和处于潮湿状态的闭合电路(即在流体接触时)。在特定实施例中，电路可以包括第一组多个指针306和第二组多个指针308，在此，第一组多个指针306和第二组多个指针308间隔开具有距离d的间隙314，以便彼此电气断开。距离d在指针306和308的长度之间可以是均匀的或者不均匀的(例如波动或变化)。与基板302的流体相互作用可以桥接间隙314，从而形成电流可以流过的闭合电路。当电路闭合时，电气地偏置检测元件304的电源132(以下更详细地论述)可以允许电流流过。当出现这种情况时，检测元件304可以从第一状态(表示传感器102是干燥的)转换至第二状态(表示传感器102是潮湿的)，从而使得通信装置(图1)发送中继流体泄漏发生的信号。例如可以通过由电气联接至检测元件304的适当的元件312测量的电压、电流或电阻的变化发生上述动作。

在未示出的实施例中，检测元件304可以包括导线，导线具有沿着其长度的一个或多个断开节段。在接触流体时，断开节段可被桥接，从而形成电流可以流过的闭合电路。在一个实施例中，断开节段中的至少一个可以具有通过导线的两个节段之间的最短距离测量的至少0.001英寸、至少0.01英寸、至少0.1英寸或甚至至少1英寸的长度，如果导线的两个节段桥接则将接通电路。在另一个实施例中，断开节段的长度可以不大于10英寸、不大于5英寸或甚至不大于2英寸。更短的断开节段长度可以减少闭合电路所需的时间，从而加速泄漏检测的速率。

在一个实施例中，泄漏检测元件304特别适用于被监控流体导电的应用。即，通过桥接间隙314闭合电路，桥接间隙314继而需要导电介质。示例性导电流体包括蒸馏水、盐水、醇、酸和液态金属。本领域普通技术人员将认识到该列表是示例性并且非旨在是穷举的。

在具体实施例中，基板302可以包括适于将流体从被监控表面快速传送至检测元件304的材料。例如，基板302可以包括芯吸材料或具有高流体传送速率的其他适当的材料。示例性材料包括闭孔或开孔泡沫、编织或非编织网、织物和聚合物。认为具有高流体传送率的材料的使用可以加速流体从流体界面向检测元件304的传送，从而减少感测时间并且继而加速泄漏检测。

在一个实施例中，基板302可具有在安装状态中测量的不大于10英寸、不大于5英寸、不大于1英寸、不大于0.75英寸、不大于0.5英寸、不大于0.1英寸或甚至不大于0.01英寸的厚度。在另一个实施例中，基板302可具有在安装状态中测量的至少0.001英寸的厚度。在特定情况下，基板302可以在安装期间变形。即，基板302可以从其未安装形状弹性地或塑形地变形。这种变形可以允许基板302与泄漏检测系统100安装在其上的表面的轮廓和波状弯曲更好地配合。变形可以通过例如由将泄漏检测系统100紧固至表面所需的力引起的基板的挠曲、压缩或膨胀而发生。

在一个实施例中，在安装之前，在松弛状态中，基板302可以为大致平面的。即，基板302可以在沿着其的任何位置处偏离平面不大于2英寸、1.5英寸、1英寸、0.5英寸或0.25英寸。在另一个实施例中，基板302可以充分地柔性，使得当定位在平面表面上时基板302采用大致平面形状。

在另一个实施例中，在安装之前，在松弛状态中，基板302可具有大致弧形横截面。例如，基板302可以具有至少1英寸、至少2英寸、至少3英寸、至少4英寸、至少5英寸、至少6英寸、至少12英寸、至少24英寸或甚至至少48英寸的曲率半径r。在一个实施例中，r可以不小于0.001英寸。这种弧形形状的基板302可以适用于例如与具有圆形横截面的流体管道(例如导管和管子)接合。基板302的曲率半径可被选择成最佳地配合被监控的流体管道或表面的形状和尺寸。在特定实施例中，基板302可以在松弛状态具有弧形横截面，并且在出现充分的负载状态时可以挠曲。这可以允许具有流体管道的基板302的低应变应用，同时允许挠曲适应流体管道的表面轮廓和纹理中的偏差。

在特定情况下，基板302可以具有不同于安装厚度te的初始厚度ti。ti可以大于te。例如，ti可以为至少1.01te、至少1.05te、至少1.1te、至少1.2te、至少1.3te、至少1.4te、至少1.5te、至少2.0te或至少5.0te。在一个实施例中，ti可以不大于100te、不大于50te或不大于25te。ti和te可以是在基板302的选择区域或基板302的整个区域上测量的基板302的绝对厚度(特定位置处的厚度)或平均厚度的测量值。

基板302可以限定通过基板302的厚度间隔开的相对主表面，即第一主表面316和第二主表面318。检测元件304可以沿着第一主表面316和第二主表面318之一布置。如图所示，在一个实施例中，检测元件304可以沿着主表面316或318居中地布置。该中心位置可以通过与基板302的全部边缘相等地移位检测元件304而使与检测元件304的流体相互作用的体积和速度最大。这可以减小与流体首先接触的基板302的边缘无关的检测。可替代地，通过未示出的实施例，检测元件304可以布置在基板302的外围部分处，即，更靠近边缘之一。该位置可以适用于具有包括不对称界面的特定应用的泄漏检测系统100。

在特定实施例中，检测元件304可以占据基板302的表面积的小于90％、基板302的表面积的小于80％、基板302的表面积的小于70％、基板302的表面积的小于60％、基板的表面积的小于50％、基板的表面积的小于40％、基板的表面积的小于30％、基板的表面积的小于20％、基板的表面积的小于10％或者基板的表面积的小于1％。在另一个特定实施例中，检测元件304可以占据基板302的表面积的至少0.001％。

参照图4，根据特定实施例，检测元件304可以至少部分地嵌入在基板302内。即，检测元件304的至少一部分可以布置在基板302的主表面316与318之间。在更加具体的实施例中，第一组多个指针306或第二组多个指针308中的至少一个的至少一部分可以嵌入在基板302内。在另一个实施例中，第一组多个指针306或第二组多个指针308中的至少一个的全部可以嵌入在基板302内。在仍然进一步的实施例中，第一组多个指针306和第二组多个指针308中的全部可以嵌入在基板302内。检测元件304的至少一部分在主表面316与318之间的配置可以通过减小沿垂直于主表面316和318的方向测量的距离加速泄漏检测，需要流体行进该距离以桥接间隙314(图3)并且闭合电路。

如图所示，在一个实施例中，第一组多个指针306中的至少一个可以从第二组多个指针308中的至少一个竖直地偏移(沿垂直于主表面316和318的方向)。这种定位可以通过进一步减小检测元件304与被监控的表面之间的距离加速检测定时。在另一个实施例中，第一组多个指针306和第二组多个指针308可以相对于主表面316和318布置在相同的相对位置处。

在仍然另外一个实施例中，比如如图5所示，检测元件304可以至少部分地布置在两个主表面316和318上。例如，第一检测元件502可以布置在第一主表面316上，第二检测元件504可以布置在第二主表面318上。第一检测系统502在第一主表面316上以及第二检测元件504在第二主表面318上的配置可以允许检测元件304在用于流体监控的表面上的可逆安装。在一个实施例中，泄漏检测元件502和504可以共用单个电源132。在未示出的实施例中，泄漏检测元件502和504可以各自利用单独的电源。

参照图6，在一个实施例中，单个泄漏检测元件600可以布置在基板302上，使得第一组多个指针306中的至少一个邻近于第一主表面316，并且第二组多个指针308中的至少一个邻近于第二主表面318。如图所示，第一组多个指针306和第二组多个指针308可以分别布置在第一主表面316和第二主表面318上。在另一个具体实施例中，第一组多个指针306和第二组多个指针308中的至少一个可以至少部分地嵌入在分别邻近于第一主表面316和第二主表面318的基板302内。

再次参考图4，在一个实施例中，电源132可以邻近于主表面316或318之一布置。在一个具体实施例中，电源132可以布置在主表面316或318上。即，电源132可以放置在主表面316或318上。在操作中，相对的主表面316或318(即与电源相对的主表面)可以布置在被监控的表面上以允许与其齐平接触。

在另一个具体实施例中，电源132可以部分地嵌入在基板302内，以便延伸到基板内，同时部分可见。在仍然的另一个实施例中，比如在图5和图6中所示，电源132可以完全地嵌入在基板302内。电触点(未示出)可以从基板延伸，从而允许联接检测元件和通信装置(未示出)。

现在参考图7，在一个实施例中，传感器102可以包括在干燥状态下限定闭合电路并且在潮湿状态下(即在流体接触时)限定断开电路的检测元件704。检测元件704可以联接至基板702。在一个实施例中，基板702可以具有如上关于基板302所述的任何或全部特征。例如，基板702可以具有不同于安装厚度te的初始厚度ti。在另一个实施例中，基板702可以不同于基板302。例如，如下所述，检测元件704的应用可以最佳地适于与腐蚀性或有害流体一起使用，腐蚀性或有害流体可以在暴露时使连续导线706破裂或破坏。因此，可希望的是利用适于承受对腐蚀性或有害流体的破坏作用的暴露的基板。如本文中所使用的，“导线”指代具有长度和厚度的导电构件，其中长度大于厚度。示例性导线包括圆柱形导线、绕制导线、单螺线导线、带状物、频带、片材、索线以及其他类似元件。

在一个实施例中，可希望的是基板702在与腐蚀性或有害流体接触时损坏或变得毁坏。具体地，基板702可以在与流体接触时损坏，从而使得流体通过基板更加快速地前进至检测元件。

在特定情况下，导线706可以具有通过基板702上的导线706的长度测量的总长度lw，其大于通过导线706进入708和排出709基板702的位置之间的直接距离测量的导线706的有效长度le。在一个实施例中，导线706可以以非直线越过基板702。如图所示，导线706可以形成以90度角互连的多个直线段。本公开并非旨在限于具有90度角的那些实施例，而是还替代地包括线段以锐角和钝角的互连。在另一个实施例中，导线706可以具有大致弯曲形状。导线706可具有其他形状，其可以包括同心圆、同心椭圆、之字形、螺旋形以及具有大于基板702上的有效长度le的总长度lw的其他弧形或直线段形状。认为具有大于有效长度le的总长度lw的导线706可以提高流体灵敏度或甚至减少感测时间。

在一个实施例中，检测元件704可以包括至少部分地嵌入在基板702内的部分。图8示出根据一个实施例的检测元件704的横截面视图。如图所示，导线706以非直线延伸通过基板702。即，导线706以90度角互连的多个直线段延伸穿过基板。本公开并非旨在限于具有90度角的那些实施例，而是还替代地包括线段以锐角和钝角的互连。导线706在基板702内的各个竖直高度处的配置可以允许检测元件704关于被监控的表面的可逆安装。另外，导线706占据更大相对体积的基板702，这加速了接触基板702的流体将接触导线706的速率。

在未示出的实施例中，检测元件可以包括具有替代导线706或除导线706之外的二维或三维基体或准基体形状的导电结构。在特定情况下，导电结构可以具有低挠曲模数，从而允许检测元件的挠曲。材料可以围绕导电结构定位，例如通过包覆模铸或挤压成型，以保护导电结构或便于导电结构向用于监控的表面的更简易附接。

现在参考图9和图10，根据一个实施例，传感器102可以包括联接至基板902的检测元件904，基板902适于具有响应于流体接触的一个或多个变化特征。

在具体实施例中，基板902的变化特征可以为基板902的尺寸。例如，图9示出在流体接触之前看到的传感器102。基板902具有初始长度li和初始宽度wi。在接触流体之后，基板902可以改变尺寸，如图10所示，从而具有最终长度lf和最终宽度wf。在一个实施例中，li可以小于lf，wi可以小于wf。在另一个实施例中，li可以大于lf，wi可以大于wf。延伸跨越基板902的一部分的导线906可以允许检测基板902的尺寸的变化。更具体地，元件912可以测量导线906的随着由基板902施加的应变而变化的电导率或另一个适当的特征。当电导率或其他适当的特征变化时，检测系统902可以从第一状态(干燥)变化至第二状态(潮湿)，由此允许流体泄漏的报告。尽管导线906示出为具有包括多个环的环状形状，导线906还可以具有如上关于导线706所述的任何形状。

在一个实施例中，基板902可以由适于在与流体接触时膨胀的材料形成。例如，基板902可以包括以下材料或基本由以下材料组成：纤维材料、编织或非编织材料、基于基体或准基体的材料或者适于在与流体接触时膨胀的任何其他适当的材料。

导线906可以至少部分地延伸到基板902内。在一个实施例中，导线906的大部分可以嵌入在基板902中。在进一步的实施例中，全部导线906可以嵌入在基板902中。当作用在基板902上的力可以更容易地传递至与布置在基板902的主表面上的导线相反的嵌入导线606时，导线906的部分或全部嵌入可以提高流体泄漏检测的速度。

检测元件904和基板902可以包括如上分别关于检测元件304和704以及基板302和702所述的特征中的任一者或全部。

在另一个实施例中，例如在图11和图12中所示，传感器102可以包括检测元件1104，检测元件1104具有布置在基板1102的第一位置处的第一元件1106和布置在基板1102的第二位置处的第二元件1108。第一元件1106和第二元件1108可以分离在干燥状态中测量的距离dd和在潮湿状态中测量的距离dw。dd可以不同于dw。在特定情况下，dw大于dd。即，与传感器102干燥时相比，当传感器102潮湿时第一元件1106与第二元件1108间隔开更大距离。在另一种情况下，dw小于dd。即，与传感器102干燥时相比，当传感器102潮湿时第一元件1106与第二元件1108间隔开更短距离。

当第一元件1106与第二元件1108之间的距离改变时，其间的电磁力变化。在一个实施例中，当第一元件与第二元件之间的距离增大时，第一元件1106与第二元件1108之间的电磁相互作用可以减小。即，当dw相对于dd增大时，第一元件1106与第二元件1108之间的电磁相互作用减小。这种减小的相互作用能够通过随后检测潮湿状态的元件1112检测。

在一个实施例中，第一元件1106可以是导电棒。在另一个实施例中，第二元件1108可以是导电棒。在进一步的实施例中，第一元件1106和第二元件1108具有彼此相比大致相同的形状。在另一个实施例中，第一元件1106和第二元件1108具有彼此相比大致不同的形状。在特定方面中，第一元件1106和第二元件1108中的至少一个可以是柔性的。这可以例如在传感器102的安装期间或在流体接触时基板1102的膨胀或收缩期间有利于基板内的改进的挠曲。在另一个方面中，第一元件1106和第二元件1108中的至少一个可以是刚性的。这可以防止第一元件1106和第二元件1108在安装或处理期间不希望的移位或弯曲。这种移位和弯曲可以引起第一元件1106与第二元件1108之间的意外的电磁相互作用。在具体实施例中，用于第一元件1106与第二元件1108之间的电磁相互作用的基准测量可以在安装之后实现，使得基准(干燥)电磁相互作用在处理或安装期间不受第一元件1106或第二元件1108的变形的影响。

在特定情况下，第一元件1106和第二元件1108两者沿着基板1102的主表面316或318布置。在更具体的情况下，第一元件1106和第二元件1108两者沿着同一主表面316或318布置。在另一个情况下，第一元件1106和第二元件1108中的至少一个至少部分地嵌入在基板1102内。在仍然的其他情况下，第一元件1106和第二元件1108中的至少一个完全嵌入在基板1102内。在另一个情况下，第一元件1106和第二元件1108可以相对于基板1102相等地布置。即，第一元件1106和第二元件1108两者可以完全嵌入在基板1102内；第一元件1106和第二元件1108两者可以部分地嵌入在基板1102内；或者第一元件1106和第二元件1108可以沿着基板1102的同一主表面316和318布置。

预期在其他实施例中，传感器可以包括适于产生冷光、荧光、白炽光、温度的变化、由于接触流体而引起的压力的变化或响应于接触流体的任何其他适当的变化特征的基板。检测元件因此可以选择为检测基板的变化状态。例如，检测元件可以包括光学传感器、热电偶或压力变换器。当基板由于接触流体而改变状态(冷光、荧光、白炽光、温度或压力)时，检测元件可以感测到改变的状态并且产生发送至通信装置104的信号，以便产生泄漏的警报。

参照图13，并且根据实施例，传感器102可以包括布置在一个或多个基板1302上的至少两个检测元件1304和1306。在具体实施例中，检测元件1304和1306可以布置在同一基板1302上。在另一个具体实施例中，检测元件1304和1306可以布置在邻接基板(共同地称为“基板”)上。检测元件1304和1306可以布置在基板1302的相同或不同的主表面316或318上。如图所示，根据另一个实施例，检测元件1304和1306还可以至少部分地嵌入在基板1302内。

在一个实施例中，检测元件1304和1306可以彼此不同。即，至少两个检测元件1304和1306中的每一个可以适于检测基板1302的不同状态。例如，如图所示，检测元件1304可以类似于如上所述的检测元件304，而检测元件1306可以类似于检测元件1104。在具体实施例中，检测元件1304和1306可以在基板1302上间隔开。这可以便于传感器102的更简易组装并且允许破裂或不适合的检测元件的更简易拆除。在另一个实施例中，检测元件1304和1306可以竖直地或水平地重叠。竖直或水平重叠可以减小传感器的尺寸，由此减小安装传感器所需的空间。

尽管未示出，但是如上所述的检测元件中的任一者还可以包括电子元器件，比如：电阻器、电容器、感应器、晶体管、另一个类似元器件或其任何组合。这种电子元器件对于开发用于如上所述的检测元件的完整电路可能是必要的。

再次参考图1，通信装置104可以操作地联接至传感器102。在具体实施例中，通信装置104可以无线地连接至传感器102。这种无线通信可以例如通过蓝牙或通过另一种近程无线协议发生。在另一个具体实施例中，通信装置104通过导线连接至传感器102。应当注意确保导线对被监控的流体不敏感。即，导线不应该由在流体接触时将被破坏的材料构造。可替代地，导线可以通过布置在导线与用于在泄漏检测系统100中行进的流体的推测通道之间的外层或防护层被绝缘或者被保护免受破坏性流体相互作用。在进一步的实施例中，通信装置104可以与传感器102一体。

在一个实施例中，通信装置104可以联接至基板106。在另一个实施例中，通信装置可以联接至传感器102。

通信装置104可以是无线或有线通信装置。即，通信装置104可以利用无线协议操作，无线协议比如html或htmls；局域网(lan)；或比如为导线的有线协议。通信装置104可以适于接收来自传感器102的输入信号，并且当传感器102感测到流体泄漏时向接收装置发送输出信号。

在一个实施例中，通信装置104可以连续地操作。如本文所使用的，“连续地操作”指的是信号从通信装置向例如接收装置的连续或不间断的传送。在一个实施例中，通信装置104可以被动地操作。如本文中所使用的，“被动操作”指的是仅在出现阈值条件—即流体泄漏时例如向接收装置传送信号。例如，通信装置104可以由电源132提供电力。仅当传感器102感测到泄漏时通信装置104可以接收功率以便向接收装置发送信号。这可以通过减小从电源132提取的电流增加泄漏检测系统100的可操作寿命，由此允许泄漏检测系统100的更远程定位。

如图所示，在一个实施例中，通信装置104可以暴露为使得其延伸超过基板106的外表面。因此，通信装置104可接近，使得用户可以调整或更换通信装置104。在未示出的实施例中，通信装置104可以至少部分地比如完全地嵌入在基板106内。这可以保护通信装置104免于暴露于有害流体，否则有害流体如果布置在基板106的表面上则可以接触通信装置104。

在一个实施例中，通信装置104可以从基板106移除。在另一个实施例中，通信装置104可以是可替换的。电气接口(未示出)可以允许通信装置104的快速更换。例如，电气接口可以由具有电连接点的一个或多个端口组成，所述电连接点匹配通信装置104上的电连接点。各个通信装置104可以具有相同布置的电连接点，由此实现其之间的快速更换和互换。

仍然参考图1，泄漏检测系统100还可以包括附接元件120，附接元件120适于将泄漏检测系统100附接至邻近于流体界面114的表面(图2)。

在一个实施例中，附接元件120可以包括一体式本体。即，附接元件120可以由单件形成。在另一个实施例中，附接元件120可以包括多件结构。例如，附接元件120可以包括能够接合在一起或者接合至基板106或布置其上的一个或多个部件的至少两个部件，以形成单件。

在一个实施例中，附接元件120可以直接联接至基板106。在未示出的实施例中，附接元件120可以通过传感器102、通信装置104或一些其他适当的中间目标间接地联接至基板106。

附接元件120可以可释放地联接至泄漏检测系统100，联接至用于监控流体泄漏的表面。即，在一个实施例中，附接元件120可以从泄漏检测系统100去除。这可以允许附接元件120相对于泄漏检测系统100的更换或调整。在延长的使用周期(特别是在高温下或在湿度条件下)期间，附接元件120有可能降解或磨损，这是可以通过定期更换附接元件120大大减轻的问题。在另一个实施例中，附接元件120可以与泄漏检测系统100一体。例如，附接元件120可以模铸或者制造成基板106、传感器102或通信装置104，以便与其不分离，由此在安装期间或延伸使用之后防止意外的分离。

如图1所示，在一个实施例中，附接元件120可以包括带122、从带122延伸的接合元件124以及适于容纳接合元件124的开口126。为了将泄漏检测系统100安装在流体管道上，带122可以围绕流体管道定位，直到接合元件124可以与开口126接合。接合元件124然后可以插入开口126内，以相对于流体管道保持泄漏检测系统100。对于需要更安全附接方案的应用，一个或多个另外的附接元件(例如附接元件128和130)可以比如如上所述地沿着基板106或以另一种适当的方式配置。附接元件122、128和130可以各自包括彼此相同或类似的附接方案。例如，附接元件128可以包括接合元件124和接合元件124能够插入其内的开口126。在一个实施例中，附接元件122、128和130可以沿着泄漏检测系统100的表面间隔开，以加强与表面的接合并且在基板106上散布加载状态。图14示出具有带122、接合元件124和围绕流体管道1400安装的开口126的已安装泄漏检测系统1402。

在一个实施例中，带122可以是柔性的或者能够弹性地变形。带122可以适于围绕流体管道伸展，从而提供作用为将基板106推入流体管道内的向内定向的保持力。示例性材料包括编织织物、非编织织物和聚合物。适当的聚合物可以包括例如弹性体，比如为橡胶。在一个实施例中，附接元件120可以具有在静止时测量的卸载尺寸su和在负载状态下测量的负载尺寸sl，其中，sl可以为至少1.01su、至少1.1su、至少1.5su、至少2.0su、至少5.0su、至少10.0su或至少20.0su。在另一个实施例中，sl可以不大于200su。卸载尺寸和负载尺寸可以分别是卸载和负载状态中的附接元件120的长度，即带122的长度。

在另一个实施例中，附接元件120可以包括细长形物体1404，比如绞索、绳索、弦线或其他类似装置。细长形物体1404可以围绕流体管道1400的表面捆扎，以将其紧固至泄漏检测系统100。图14中示出具有作为附接元件120的细长形物体1404的已安装泄漏检测系统1406。如图所示，细长形物体1404的端部以结点捆扎在一起。在未示出的实施例中，泄漏检测系统100可以通过多个细长形物体1404紧固至流体管道1400。细长形物体1404的纵向端部可以沿着流体管道在相同的相对圆周位置处捆扎在一起。可替代地，纵向端部可以围绕流体管道的圆周交错。在未示出的实施例中，细长形物体1404可以在其纵向端部处具有接合机构。例如，细长形物体1404可以以扣环、棘齿、孔眼、棘齿拉紧系统、电缆扎匝、螺纹或非螺纹紧固件或者允许连接细长形物体1404的相对的纵向端部的任何其他适当的接合元件终止。

在仍然另一个实施例中，附接元件120可以包括钩环接合系统。类似于如上关于细长形物体1404所述的泄漏检测系统100，预期附接元件120可以包括具有钩环接合的材料带1408。带1408可以是弹性或非弹性的，并且可以围绕流体管道1400缠绕，使得带1408的具有钩的第一部分联接至带1408的具有环的第二部分。这种接合可快速去除并且不可能随着长期使用而退化。图14中示出具有作为附接元件120的钩环接合的已安装泄漏检测系统1410。

仍然参照图14，在一个实施例中，附接元件120可以包括不围绕流体管道1400的整个圆周延伸的系统。

例如，泄漏检测系统100可以通过背粘(adhesive-backed)材料1412紧固至流体管道。在特定实施例中，背粘材料1412可以与泄漏检测系统100一体。在另一个具体实施例中，背粘材料1412可以是附接至泄漏检测系统100的分离元件。如本文所使用的，“分离元件”指的是在施加标准力时或之前能够与其他物体分离的不同部件。图14中示出具有作为附接元件120的背粘材料1412的已安装泄漏检测系统1414。

在另一个实施例中，附接元件120可以包括布置在泄漏检测系统100与流体管道1400之间的紧固层(未示出)。紧固层可以包括糊剂、凝胶、腻子、具有高塑性的材料、环氧树脂、溶液或可以施加于流体管道1400或泄漏检测系统100中的一者或两者的任何其他物质。在固化时，紧固层可以防止泄漏检测系统100的去除。图14中示出具有作为附接元件120的紧固层的已安装泄漏检测系统1416。

在一个实施例中，紧固层可以放松，以便允许去除泄漏检测系统100。例如，在引入特定温度、压力、流体相互作用或光型(lighttype)时，紧固层可被软化或失去其粘结性能。因此，用户可以使泄漏检测系统100与流体管道1400选择性地分离。

在仍然的另一个实施例中，附接元件120可以包括夹具1418。夹具1418可以至少部分地延伸超过或部分地延伸通过泄漏检测系统100，从而相对于其提供径向向内压缩力。在一个实施例中，夹具1418可以包括两个半部—第一半部1420和第二半部1422—两个半部适于联接在一起以相对于流体管道1400紧固泄漏检测系统100。图14中示出具有作为附接元件120的夹具1418的已安装泄漏检测系统1424。

现在参考图15，根据一个实施例，附接元件120可以形成传感器102和通信装置104布置其上的基板。即，根据一个实施例的泄漏检测系统1500可以包括直接联接至附接元件120的传感器102和通信装置104。在具体实施例中，传感器102和通信装置104与附接元件120的直接联接与前述泄漏检测系统100相比可以减轻泄漏检测系统1500的重量。另外，与泄漏检测系统100相比，泄漏检测系统1500可以使传感器102更靠近流体界面114(图2)定位。在特定实施例中，附接元件120可以包括如上关于基板302所述的具有高流体传送速率的材料。这可以加速向传感器102的流体传送，由此减少从出现泄漏直到告知然后可以设法校正泄漏的用户或系统的延迟时间。

如图所示，泄漏检测系统1500可以沿着附接元件120的表面布置。在另一个实施例中，泄漏检测系统1500可以至少部分地嵌入在附接元件120中。在又一个实施例中，泄漏检测系统1500可以完全地嵌入在附接元件120中，使得传感器102不可见。在具体实施例中，传感器102和通信装置104中的至少一个可以通过附接元件120至少部分地可见。

图16示出具有多个易碎部分1622的附接元件1620。易碎部分1622可以允许附接元件1620重定尺寸。即，易碎部分可以选择性地破裂，以调整附接元件1620的长度。这样，附接元件1620可以具有在使用之前测量的初始长度和在附接之前测量的操作长度，在此操作长度不大于初始长度，比如小于初始长度。

在未示出的实施例中，附接元件可以包括仅一个易碎部分。在其他实施例中，附接元件可以包括至少2个易碎部分、至少3个易碎部分、至少4个易碎部分、至少5个易碎部分、至少6个易碎部分、至少7个易碎部分、至少8个易碎部分、至少9个易碎部分或至少10个易碎部分。在一个实施例中，附接元件可以包括不大于1000个易碎部分。

每个易碎部分可以包括附接元件的结构削弱部分。例如，易碎部分可以由穿过附接元件的一个或多个孔限定。孔可以至少部分地延伸通过附接元件的厚度。在更具体的实施例中，孔可以完全地延伸通过附接元件的厚度。孔可以横穿附接元件，例如通过附接元件的部分隔开。易碎部分可以在沿相对于附接元件的横向或大致横向方向产生足够的力时破裂。

再次参考图1，泄漏检测系统100可以包括联接至传感器102、通信装置104、基板106或附接元件120中的至少一个的电源132。在具体实施例中，电源132可以包括电池或其他电荷储存装置。在更具体实施例中，电源132可以例如通过120v电源可再充电。可以从泄漏检测系统100去除电源132以允许更换电源132。

在一个实施例中，泄漏检测系统100可以从电源插座接收电力。泄漏检测系统100可以包括从泄漏检测系统100上的元件延伸和在适于插入墙壁插座内的插头终止的导线。这样，泄漏检测系统100可以接收恒定电流，从而消除了对泄漏检测系统100的充电或监控电供给的需求。

图17包括具有布置在材料1710的长度上的多个泄漏检测系统1702的泄漏检测阵列1700。材料1710可以包括比如为编织或非编织织物的织物、薄膜或由纺织品、聚合物、金属、合金或其他适当的材料形成的另一种适当的基板。在具体实施例中，材料1710可以是柔性的，从而允许泄漏检测阵列1700弯曲。

每个泄漏检测系统1702可以包括来自前述泄漏检测系统100、1402、1406、1410、1414、1416、1424和1500的一个或多个特征。具体地，每个泄漏检测系统1702包括传感器1704和通信装置1706。在一个实施例中，泄漏检测系统1702可以彼此相同。例如，泄漏检测系统1702的第一泄漏检测系统和第二泄漏检测系统可以彼此相同。在一个实施例中，泄漏检测系统1702可以彼此不同。例如，泄漏检测系统1702的第一泄漏检测系统可以不同于泄漏检测系统1702的第三泄漏检测系统。在另一个实施例中，泄漏检测系统1702中的至少两个可以包括本文中之前所述的不同的泄漏检测系统。即，泄漏检测阵列1700的泄漏检测系统1702可以彼此不同地操作。例如，泄漏检测阵列1700的第一泄漏检测系统可以类似于图4中示出的泄漏检测系统，而泄漏检测阵列1700的第二泄漏检测系统可以类似于图11和图12中示出的泄漏检测系统。

在一个实施例中，泄漏检测阵列1700可被分成n个可分割部分，其中n是泄漏检测阵列1700中的泄漏检测系统1702的数目。因此，例如，具有四个泄漏检测系统1702(如图17所示)的泄漏检测阵列1700包括4个可分割部分。在特定情况中，泄漏检测阵列1700可以包括至少2个泄漏检测系统、至少3个泄漏检测系统、至少4个泄漏检测系统、至少5个泄漏检测系统、至少10个泄漏检测系统、至少20个泄漏检测系统、至少50个泄漏检测系统或至少100个泄漏检测系统。在一个实施例中，泄漏检测阵列1700可以包括不大于10,000个泄漏检测系统1702。

布置在相邻的泄漏检测系统1702之间的易碎部分1708可以便于相邻的泄漏检测系统1702和1702的更简易分隔。即，易碎部分1708可以允许用户从泄漏检测阵列1700选择性地撕下分离的泄漏检测系统1702。在一个实施例中，易碎部分1708可以在施加至少1n、至少2n、至少5n、至少10n或至少100n的力时破裂。在另一个实施例中，易碎部分1708可以在施加不大于10,000n、不大于1000n或不大于125n时破裂。

泄漏检测系统1702中的每一个可以适于独立于泄漏检测阵列1700的其他泄漏检测系统1702操作。即，每个泄漏检测系统1702可以自身维持和自身足够的—从而不需要用于有效操作的另外的外部部件。在一个实施例中，泄漏检测系统1702可以彼此独立地操作或者以较小组的泄漏检测阵列1700操作，比如，例如连接在一起的两个泄漏检测系统1702。

在一个实施例中，泄漏检测系统1702中的至少一个还可以包括联接至传感器1704和通信装置1706中的至少一个的电源1712。在具体实施例中，电源1712可以在相邻的易碎部分1708破裂时自触发(即产生电流)。这可以保护电源1712，直到准备安装至少一个泄漏检测系统1702。

预期泄漏检测阵列1700可以卷拢并且存储在壳体中，可通过其中的开口接近。用户可以抓住泄漏检测阵列的暴露部分以展开卷辊。在展开适当数目的泄漏检测系统1702时，用户可以撕开相应的易碎部分1708，从而使适当的泄漏检测系统1702与其余泄漏检测阵列1700分离。

如本文中说明的泄漏检测系统和阵列可以被用于用来监控流体泄漏的各种设备上。可以在电子装置制造中发现示例性设备，比如在半导体和超导体行业中；比如为流体输送管线和泵的卫生器材中；比如为在油气行业、饮用水系统和污水管中发现的那些的管接头中；在航天工业中；在饮食工业中；以及在汽车工业中。

很多不同的方面和实施例是可能的。这些方面和实施例中的一些如下所述。在阅读该说明书之后，本领域技术人员将理解的是这些方面和实施例仅是说明性的并且不限制本发明的范围。实施例可以根据以下列出的实施例中的任一个或多个。

实施例1.一种泄漏检测系统，包括：

传感器，传感器当干燥时具有第一状态并且当潮湿时具有第二状态；

通信装置，该通信装置操作地联接至传感器；以及

附接元件，该附接元件适于将所述泄漏检测系统附接至用于监控流体泄漏的区域，其中，所述附接元件是可移除的、可再利用的或者两者均可。

实施例2.一种泄漏检测系统，包括：

传感器，传感器包括：

基板，基板适于响应于流体接触发生变化；

元件，该元件与基板通信并且适于当基板干燥时具有第一状态并且当基板潮湿时具有第二状态；

通信装置，该通信装置操作地联接至传感器并且适于在元件处于第一状态、处于第二状态或处于两者时向接收装置发送信号；以及

附接元件，该附接元件适于将泄漏检测系统附接至用于监控流体泄漏的区域。

实施例3.一种泄漏检测系统，包括：

传感器，传感器包括：

适于在当干燥时的第一尺寸与当潮湿时的第二尺寸之间变化的基板，第一尺寸和第二尺寸彼此不同；以及

检测系统，该检测系统与基板通信并且适于监控用于在第一尺寸与第二尺寸之间变化的基板；

通信装置，该通信装置操作地联接至传感器并且适于当检测系统检测第一尺寸、第二尺寸或两者时向接收装置发送信号；以及

附接元件，该附接元件适于将泄漏检测系统附接至用于监控流体泄漏的区域。

实施例4.一种泄漏检测系统，包括：

传感器，传感器包括：

适于当干燥时具有第一尺寸和当潮湿时具有第二尺寸的基板，第一尺寸和第二尺寸彼此不同；

布置在基板的第一位置处的第一元件；以及

布置在基板的第二位置处的第二元件，第二位置不同于第一位置；

通信装置，该通信装置操作地联接至传感器并且适于当第一元件与第二元件之间的距离变化时向接收装置发送信号；以及

附接元件，该附接元件适于将泄漏检测系统附接至用于监控流体泄漏的区域。

实施例5.一种泄漏检测阵列，包括：

一段材料，该段材料具有多个泄漏检测系统，每个泄漏检测系统包括：

传感器；以及

通信装置，该通信装置操作地联接至传感器，

其中，该段材料能够被分成n个可分割部分，其中，n是泄漏检测阵列中的泄漏检测系统的数目。

实施例6.一种泄漏检测阵列，包括布置在一段材料上的多个泄漏检测系统，其中，泄漏检测系统中的至少一个能够从泄漏检测阵列移除并且能够与流体系统接合。

实施例7.一种流体系统，包括：

具有流体的设备；以及

附接至该设备的泄漏检测系统，泄漏检测系统包括：

传感器，其当干燥时具有第一状态并且当潮湿时具有第二状态；

通信装置，该通信装置操作地联接至传感器并且适于当传感器感测到流体泄漏时向接收装置发送信号；以及

附接元件，该附接元件适于将泄漏检测系统附接至用于监控流体泄漏的区域。

实施例8.一种用于制造电子装置的设备，该设备包括：

适于接收用于制造电子装置的流体的设备；以及

附接至所述设备的泄漏检测系统，该泄漏检测系统包括：

传感器，该传感器当干燥时具有第一状态并且当潮湿时具有第二状态；

通信装置，该通信装置操作地联接至传感器并且适于当传感器感测到流体泄漏时向接收装置发送信号；以及

附接元件，该附接元件适于将泄漏检测系统附接至用于监控流体泄漏的区域。

实施例9.一种管接头，包括：

第一管路；

在接口处联接至第一管路的第二管路；以及

泄漏检测系统，其附接至第一导管和第二导管中的至少一个并且邻近于接口布置，其中，泄漏检测系统包括：

传感器，该传感器当干燥时具有第一状态并且当潮湿时具有第二状态；

通信装置，所述通信装置操作地联接至所述传感器并且适于当所述传感器感测到流体泄漏时向接收装置发送信号；以及

附接元件，该附接元件适于将泄漏检测系统附接至第一管路和第二管路中的至少一个，以监控接口处的流体泄漏。

实施例10.根据前述实施例中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，所述传感器包括：

基板；以及

检测元件，所述检测元件与所述基板通信。

实施例11.根据实施例10所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，基板适于响应于流体接触发生变化。

实施例12.根据实施例10和11中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，基板适于在当干燥时的第一尺寸与当潮湿时的第二尺寸之间变化，第一尺寸和第二尺寸彼此不同。

实施例13.根据实施例12所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，第一尺寸小于第二尺寸。

实施例14.根据实施例10-13中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，基板的至少一部分包括适于在与流体接触时膨胀的膨胀性材料。

实施例15.根据实施例10-14中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，基板的至少一部分包括适于在与流体接触时改变温度的温度反应材料。

实施例16.根据实施例10-15中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，所述基板的至少一部分包括适于在与流体接触时发生冷光改变的冷光反应材料。

实施例17.根据实施例10-16中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，所述基板的至少一部分包括适于在与流体接触时发生荧光改变的荧光反应材料。

实施例18.根据实施例10-17中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，所述基板的至少一部分包括适于在与流体接触时发生白炽光改变的白炽光反应材料。

实施例19.根据实施例10-18中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件适于检测基板状态的改变。

实施例20.根据实施例10-19中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件适于检测基板的冷光改变、基板的荧光改变、基板的白炽光改变、基板的温度改变、基板的尺寸改变或基板的压力改变。

实施例21.根据实施例10-20中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件附接至基板。

实施例22.根据实施例10-21中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件通过胶粘剂附接至基板。

实施例23.根据实施例10-22中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件通过机械紧固件或者螺纹或非螺纹紧固件附接至基板。

实施例24.根据实施例10-23中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件包括光传感器、热电偶和压力变换器中的至少一者。

实施例25.根据实施例10-24中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件包括至少两个检测元件。

实施例26.根据实施例25所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，至少两个检测元件中的每一个适于检测基板的不同状态。

实施例27.根据实施例10-26中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，所述检测元件包括电路。

实施例28.根据实施例10-27中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件在干燥状态中包括开式电路，以及其中，所述开式电路在与流体接触时闭合。

实施例29.根据实施例28所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，流体是导电的。

实施例30.根据实施例10-27中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件在干燥状态中包括闭合电路，以及其中，所述闭合电路在与流体接触时被破坏或打断。

实施例31.根据实施例30所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，流体是腐蚀性的。

实施例32.根据实施例10-31中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件包括材料，其中，所述材料具有在干燥状态中测量的有效长度ld以及在潮湿状态中测量的有效长度lw，以及其中，ld不同于lw。

实施例33.根据实施例32所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，lw大于ld。

实施例34.根据实施例32和33中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，lw为至少1.01ld、至少1.05ld、至少1.1ld、至少1.2ld、至少1.3ld、至少1.4ld、至少1.5ld、至少1.6ld、至少1.7ld、至少1.8ld、至少1.9ld、或甚至至少2.0ld。

实施例35.根据实施例32-34中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，lw不大于100ld、不大于50ld、不大于25ld、不大于10ld或甚至不大于5ld。

实施例36.根据实施例32-35中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，所述材料包括电气导电材料，比如导线。

实施例37.根据实施例32-36中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，材料的电阻率响应于其变化的有效长度而改变。

实施例38.根据实施例32-37中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，材料的电阻率随着有效长度的增加而增大。

实施例39.根据实施例32-38中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，材料的有效长度取决于基板的尺寸。

实施例40.根据实施例27-39中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，电路还包括电阻器、电容器、感应器、晶体管或其任何组合。

实施例41.根据实施例10-40中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件还包括布置在基板的第一位置处的第一元件和布置在基板的第二位置处的第二元件，其中，第一元件和第二元件分离在干燥状态中测量的距离dd和在潮湿状态中测量的距离dw，以及其中，dd不同于dw。

实施例42.根据实施例41所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，dw大于dd。

实施例43.根据实施例41和42中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，当第一和第二元件分离dd时测量的检测元件的电磁力不同于当第一和第二元件分离dw时测量的检测元件的电磁力。

实施例44.根据实施例41-43中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，第一与第二元件之间的电磁相互作用适于在第一与第二元件之间的距离增大时减小。

实施例45.根据实施例41-44中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，第一元件包括导电棒。

实施例46.根据实施例41-45中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，第二元件包括导电棒。

实施例47.根据实施例41-46中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，第一棒与第二棒彼此相比具有大致相同的形状。

实施例48.根据实施例41-46中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，第一棒与第二棒彼此相比具有不同的形状。

实施例49.根据实施例10-48中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，基板包括由基板的厚度ts分开的第一主表面和第二主表面。

实施例50.根据实施例49所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，ts为至少0.01英寸、至少0.1英寸、至少0.2英寸或甚至至少0.3英寸。

实施例51.根据实施例10-50中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件沿着基板的主表面布置。

实施例52.根据实施例10-51中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件布置在基板的中心位置处。

实施例53.根据实施例10-51中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件布置在基板的外围部分处。

实施例54.根据实施例10-53中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，基板的由检测元件占据的表面积小于基板的总表面积的50％、小于基板的总表面积的40％、小于基板的总表面积的30％、小于基板的总表面积的20％、小于基板的总表面积的10％或小于基板的总表面积的1％。

实施例55.根据实施例10-54中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件至少部分地嵌入在基板内。

实施例56.根据实施例10-55中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，检测元件完全地嵌入在基板内。

实施例57.根据实施例10-56中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，所述检测元件的至少一部分从所述基板的外表面是不可见的。

实施例58.根据实施例10-57中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，所述检测元件的至少一部分从所述基板的外表面是可见的。

实施例59.根据实施例10-58中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，传感器适于布置在表面上，使得基板位于检测元件与所述表面之间。

实施例60.根据实施例10-58中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，传感器适于布置在表面上，使得检测元件位于基板与所述表面之间。

实施例61.根据实施例10-60中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，所述基板是柔性的。

实施例62.根据实施例10-61中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，基板在松弛状态下为大致平面的。

实施例63.根据实施例10-61中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，基板具有大致弧形横截面。

实施例64.根据实施例63所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，基板具有至少1英寸、至少2英寸、至少3英寸、至少4英寸、至少5英寸、至少6英寸、至少12英寸、至少24英寸或甚至至少48英寸的曲率半径r。

实施例65.根据实施例10-64中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，传感器适于感知至少0.0001ml、至少0.001ml、至少0.01ml、至少0.05ml或至少0.1ml的流体泄漏。

实施例66.根据实施例10-65中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，传感器适于在与0.0001ml、0.001ml、0.01ml、0.05ml或0.1ml接触时认别流体泄漏。

实施例67.根据前述实施例中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测系统包括操作地联接至传感器的通信装置。

实施例68.根据实施例67所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，通信装置联接至传感器。

实施例69.根据实施例67和68中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，通信装置联接至基板。

实施例70.根据实施例67-69中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，所述通信装置适于利用无线协议操作。

实施例71.根据实施例67-69中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，所述通信装置适于利用有线协议操作。

实施例72.根据实施例71所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，通信装置适于利用局域网(lan)操作。

实施例73.根据实施例71和72中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，通信装置适于利用html或htmls协议操作。

实施例74.根据实施例67-73中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，通信装置适于当传感器感测到流体泄漏时向接收装置发送信号。

实施例75.根据实施例67-74中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，通信装置无线连接至传感器。

实施例76.根据实施例67-75中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，通信装置通过导线连接至传感器。

实施例77.根据实施例67-76中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，通信装置具有连续操作。

实施例78.根据实施例67-76中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，通信装置具有选择性操作。

实施例79.根据实施例67-78中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，通信装置沿着泄漏检测系统暴露。

实施例80.根据实施例67-79中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，通信装置能够从泄漏检测系统移除。

实施例81.根据实施例67-80中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，通信装置是可替换的。

实施例82.根据前述实施例中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，所述泄漏检测系统还包括：

适于将泄漏检测系统附接至用于监控流体泄漏的区域的附接元件。

实施例83.根据实施例82所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件与传感器和通信装置联接。

实施例84.根据实施例82和83中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件与传感器、通信装置或两者可解除地联接。

实施例85.根据实施例82-84中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，所述附接元件与用于监控流体泄漏的所述区域可移除地接合。

实施例86.根据实施例82-85中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件包括多件结构。

实施例87.根据实施例82-86中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件包括至少两个部件，以及其中，两个部件能够彼此接合，以便接合用于监控流体泄漏的区域。

实施例88.根据实施例82-87中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件包括胶粘剂。

实施例89.根据实施例81-88中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件包括粘合带。

实施例90.根据实施例81-89中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件包括织物，比如编织织物或非编织织物。

实施例91.根据实施例81-90中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件包括绞索、绳索、弦线或任何其他类似的细长形物体。

实施例92.根据实施例81-91中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件包括钩环接合系统。

实施例93.根据实施例92所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件是具有第一部分和第二部分的细长形物体，第一部分包括多个钩，第二部分包括适于与多个钩接合的多个环。

实施例94.根据实施例81-93中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件包括棘齿拉紧系统，比如缆线拉紧装置。

实施例95.根据实施例81-94中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件包括螺纹紧固件，比如螺纹螺母。

实施例96.根据实施例81-95中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件包括具有高塑性的材料，比如腻子。

实施例97.根据实施例96所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，所述材料是环氧树脂。

实施例98.根据实施例81-97中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件包括夹具。

实施例99.根据实施例98所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，夹具包括第一半部和第二半部，第一半部和第二半部适于联接在一起以将附接元件紧固至用于监控流体泄漏的区域。

实施例100.根据实施例81-99中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件能够弹性地变形。

实施例101.根据实施例81-100中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件具有在静止时测量的卸载尺寸su和在负载状态下测量的负载尺寸sl，以及其中，sl为至少1.01su、至少1.1su、至少1.5su、至少2.0su、至少5.0su、至少10.0su或甚至至少25su。

实施例102.根据实施例81-101中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，传感器的至少一部分嵌入在附接元件内。

实施例103.根据实施例81-102中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，整个传感器嵌入在附接元件内。

实施例104.根据实施例81-103中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，传感器的至少一部分通过附接元件是可见的。

实施例105.根据实施例81-103中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，传感器通过附接元件是不可见的。

实施例106.根据实施例81-105中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件是可再利用的、可再接合的或可再附接的。

实施例107.根据实施例81-106中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件具有在使用之前测量的初始长度和在附接之前测量的操作长度，以及其中，操作长度不大于初始长度。

实施例108.根据实施例107所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，操作长度小于初始长度。

实施例109.根据实施例81-108中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件能够重新定尺寸。

实施例110.根据实施例81-109中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件包括允许对其进行重新定尺寸的易碎部分。

实施例111.根据实施例81-110中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件具有沿着其长度测量的均匀宽度。

实施例112.根据实施例81-111中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，附接元件包括通过附接元件的最长尺寸测量的长度l、通过附接元件的最短尺寸测量的厚度t以及通过附接方法的中间尺寸测量的宽度w，以及其中，l为至少1.5w、至少2.0w、至少5.0w、至少10.0w、至少50.0w或甚至至少100.0w。

实施例113.根据实施例81-112中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，传感器包括检测元件，以及其中，检测元件至少部分地嵌入在附接元件内。

实施例114.根据前述实施例中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测系统还包括电源。

实施例115.根据实施例114所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，电源包括电池。

实施例116.根据实施例114和115中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，电源是可再充电的。

实施例117.根据实施例114-116中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，电源能够从泄漏检测系统移除。

实施例118.根据实施例114-117中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，电源联接至传感器。

实施例119.根据实施例114-118中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，电源联接至通信装置。

实施例120.根据前述实施例中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测系统是泄漏检测阵列的一部分。

实施例121.根据实施例120所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测阵列包括多个泄漏检测系统。

实施例122.根据实施例120和121中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测阵列能够被分成n个可分割部分，其中，n是泄漏检测阵列中的泄漏检测系统的数目。

实施例123.根据实施例120-122中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测阵列包括至少2个泄漏检测系统、至少3个泄漏检测系统、至少4个泄漏检测系统、至少5个泄漏检测系统、至少10个泄漏检测系统、至少20个泄漏检测系统、至少50个泄漏检测系统或至少100个泄漏检测系统。

实施例124.根据实施例120-123中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测阵列包括一段材料，以及其中，泄漏检测系统布置在该段材料上。

实施例125.根据实施例124所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，该段材料包括编织或非编织织物或者薄膜。

实施例126.根据实施例124和125中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，该段材料包括布置在相邻的泄漏检测系统之间的易碎部分。

实施例127.根据实施例126所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，易碎部分适于在施加至少1n、至少2n、至少5n、至少10n或至少100n的压力时破裂。

实施例128.根据实施例120-127中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测阵列包括：

第一泄漏检测系统，其包括：

传感器，其当干燥时具有第一状态并且当潮湿时具有第二状态；

通信装置，其操作地联接至所述传感器；以及

附接元件，其适于将泄漏检测系统附接至用于监控流体泄漏的区域；以及

第二泄漏检测系统，其包括：

传感器，其当干燥时具有第一状态并且当潮湿时具有第二状态；

通信装置，其操作地联接至所述传感器；以及

附接元件，其适于将泄漏检测系统附接至用于监控流体泄漏的区域，

其中，第一泄漏检测系统和第二泄漏检测系统附接在一起，以及其中，第一泄漏检测系统和第二泄漏检测系统适于彼此独立地使用。

实施例129.根据实施例120-128中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测阵列包括第一泄漏检测系统和第二泄漏检测系统，以及其中，第一和第二泄漏检测系统彼此相同。

实施例130.根据实施例120-128中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测阵列包括第一泄漏检测系统和第三泄漏检测系统，以及其中，第一和第三泄漏检测系统彼此不同。

实施例131.根据实施例120-130中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测阵列的每个泄漏检测系统包括电气接口，电气接口适于将泄漏检测系统联接至电源、逻辑元件或其组合。

实施例132.一种使用泄漏检测系统的方法，包括：

提供包括至少两个泄漏检测系统的泄漏检测阵列；

从泄漏检测阵列分离第一泄漏检测系统，第一泄漏检测系统包括：传感器；

通信装置，其联接至传感器；以及

附接元件；以及

将第一泄漏检测系统附接至用于监控流体泄漏的区域。

实施例133.根据实施例132所述的方法，其中，至少两个泄漏检测系统相同。

实施例134.根据实施例132和133中的任一项所述的方法，其中，第一泄漏检测系统包括在实施例1-131中的任一项所述的泄漏检测系统。

实施例135.根据前述实施例中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测系统适于在设备上邻近于流体界面布置。

实施例136.根据实施例135所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，设备用于制造电子器件，比如用于制造半导体。

实施例137.根据实施例135和136中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，流体界面是相邻的管材之间的接头。

实施例138.根据实施例135-137中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测系统布置在流体界面的一部分上。

实施例139.根据实施例135-137中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测系统布置在整个流体界面上。

实施例140.根据实施例135-139中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，流体界面为大致环形的。

实施例141.根据实施例135-140中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，流体界面具有至少1psi、至少2psi、至少3psi、至少4psi、至少5psi、至少10psi、至少20psi、至少50psi或至少100psi的内部流体压力。

实施例142.根据实施例135-141中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，流体界面具有不大于1000psi的内部流体压力。

实施例143.根据实施例135-142中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列、流体系统、设备或管接头，其中，泄漏检测系统与设备可移除地接合。

注意到，并非如上所述的所有特征都是必须的，具体特征中的一部分可能是不必要的，除所说明的特征之外可以提供一个或多个特征。仍然进一步地，说明特征的顺序不一定是安装特征的顺序。

为了清楚起见在单独的实施例的上下文中在本文中说明的某些特征也可以组合地提供于单个实施例中。相反地，为了简洁起见，在单个实施例的上下文中说明的各个特征还可以单独地或以任何子组合提供。

如上已经关于具体实施例说明了有益效果、其他优势以及问题的解决方案。然而，有益效果、优势、问题的解决方案以及可以使得任何有益效果、优势或解决方案出现或变得更加显著的任何特征不被解释为任一或全部权利要求的关键、必要或重要特征。

本文中说明的实施例的说明和例示旨在提供对各个实施例的结构的一般理解。说明书和例示并非旨在用作使用本文中说明的结构或方法的设备和系统的全部元件和特征的穷举和全面说明。单独的实施例也可以组合地提供在单个实施例中，以及相反地，为简便起见单个实施例的情况下说明的各个特征也可以单独地或以任何子组合提供。此外，对以范围声明的值的参照包括该范围内的每一个值。仅在阅读本说明书之后本领域技术人员可以容易想到许多其他实施例。其他实施例可被用于本发明并且来源于本发明，使得在不脱离本发明的范围的情况下可以做出结构替换、逻辑替换或任何改变。因此，本发明被视为说明性而非限制性的。