技术总结
提供三维测量装置，当利用相移法进行三维测量时，能够显著地提高测量精度。基板检查装置(10)包括：运送印刷基板(1)的输送机(13)；向印刷基板(1)的表面从斜上方照射预定的光的照明装置(14)；以及拍摄被照射了该光的印刷基板(1)的相机(15)。并且，当获取通过相移法进行三维测量时所需的四组图像数据中的一个图像数据时，向被连续运送的印刷基板(1)照射具有矩形波状或梯形波状的光强度分布的条纹图案。并且，将每当印刷基板(1)被运送预定量时被拍摄的多次的图像数据的亮度值针对印刷基板(1)的各坐标位置进行相加，算出其平均值。
技术研发人员：梅村信行;大山刚;坂井田宪彦;二村伊久雄
受保护的技术使用者：CKD株式会社
技术研发日：2016.08.31
技术公布日：2018.06.08