技术特征：
技术总结
接触探针电路包括具有响应于接触探针触针位移的传感器信号的位移传感器、偏移补偿控制器和差分放大器。偏移补偿控制器提供变化的偏移补偿信号以补偿传感器信号的静止状态信号分量中的漂移。差分放大器输入偏移补偿信号和传感器信号并放大它们之间的差值以提供偏移补偿位移信号，其被输出到当触针接触工件时提供触摸信号的触摸触发信号生成电路，并且还被输出到偏移补偿控制器。偏移补偿控制器部分提供反馈回路，其输入偏移补偿位移信号并将响应低通滤波偏移补偿信号输出给差分放大器，以便提供偏移补偿位移信号。
技术研发人员：B.E.B.扬松
受保护的技术使用者：株式会社三丰
技术研发日：2016.12.21
技术公布日：2018.07.17