一种温度及磁场薄膜传感器及其数据采集分析系统的制作方法

文档序号:12593462阅读:来源:国知局

技术特征:

1.基于温度及磁场薄膜传感器的数据采集分析系统,包括薄膜传感器2和数据采集分析模块,其特征在于:所述薄膜传感器2包括石英衬底7,所述石英衬底7上镀有锰氧化物薄膜9,所述锰氧化物薄膜9上镀有金属电极Ⅰ8和金属电极Ⅱ10,所述金属电极Ⅰ8和金属电极Ⅱ10通过焊盘分别连接一金属引线,所述锰氧化物薄膜9上覆盖有钝化保护层13;

所述数据采集分析模块包括恒流源1、电压放大电路3、数据采集器4和计算机5,所述恒流源1的两端分别与薄膜传感器2通过焊接在金属电极Ⅰ8和金属电极Ⅱ10上的金属引线相连接,所述电压放大电路3的两个输入端分别与薄膜传感器2通过焊接在金属电极Ⅰ8和金属电极Ⅱ10上的金属引线相连接,所述薄膜传感器2上的电压信号经由电压放大电路3进行放大,所述电压放大电路3与数据采集器4相连,数据采集器4采集电压信号并传送到计算机5。

2.根据权利要求1所述的基于温度及磁场薄膜传感器的数据采集分析系统,其特征在于:所述的锰氧化物薄膜9由具有庞磁电阻效应的锰氧化物材料La2/3(Ca0.6Ba0.4)1/3MnO3成型。

3.根据权利要求1所述的基于温度及磁场薄膜传感器的数据采集分析系统,其特征在于:所述的锰氧化物薄膜9通过脉冲激光沉积或磁控溅射的方法沉积在石英衬底7上,所述石英衬底7为矩形衬底,其尺寸为3mm×5mm。

4.根据权利要求3所述的基于温度及磁场薄膜传感器的数据采集分析系统,其特征在于:所述的锰氧化物薄膜9的沉积厚度为500nm。

5.根据权利要求1所述的温度磁场薄膜传感器及其数据采集分析系统,其特征在于:所述的金属电极Ⅰ8和金属电极Ⅱ10通过脉冲激光沉积或磁控溅射的方法对称地镀在锰氧化物薄膜9上,所述金属电极Ⅰ8和金属电极Ⅱ10上分别焊接有金属引线Ⅰ11和金属引线Ⅱ12。

6.根据权利要求1所述的基于温度及磁场薄膜传感器的数据采集分析系统,其特征在于:所述的锰氧化物薄膜9及金属电极Ⅰ8和金属电极Ⅱ10完全被钝化保护层13所覆盖,所述钝化保护层13由SiO2成型。

7.根据权利要求1所述的温度磁场薄膜传感器及其数据采集分析系统,其特征在于:所述的电压放大电路3的主控芯片为AD623。

8.根据权利要求1所述的温度磁场薄膜传感器及其数据采集分析系统,其特征在于:所述的数据采集器4为16位的USB-6002数据采集卡,所述USB-6002数据采集卡通过USB通讯方式与计算机5连接。

9.根据权利要求1所述的温度磁场薄膜传感器及其数据采集分析系统,其特征在于:所述的计算机5对数据的接收以及分析处理功能在虚拟仪器开发软件LabVIEW中完成。

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