技术总结
本发明公开了一种基于微区再溶解反应的湿度传感器薄膜及其制备方法，属于复合材料和湿度传感器领域，其目的在于提出一种基于微区再溶解反应的湿度传感器薄膜及其制备方法，提升薄膜整体湿敏性能。本发明基于气喷等雾化工艺的技术及特点，将均匀溶液离解为微米级微滴，通过气体输运至成膜基底，在先导层薄膜中形成微米级再溶解反应微区，在微区中两种或多种材料进行反应并完成薄膜沉积过程。本发明克服了传统薄膜制备工艺中由于材料间反应沉淀或生成对溶液分散态造成不良影响导致的两种或多种材料无法成膜的问题，通过本发明方法制备的湿敏薄膜由于材料间的键合、静电吸附等物理化学作用，其湿滞性能等传感器特性参数均有显著提高。
技术研发人员：太惠玲;袁震;叶学亮;谢光忠;杜晓松;蒋亚东
受保护的技术使用者：电子科技大学
文档号码：201710133791
技术研发日：2017.03.08
技术公布日：2017.06.30