技术总结
本发明公开一种基于共角干涉的层析相位显微装置和方法，包括依次布置的激光器、扫描振镜系统和第一分束器，由第一分束器将激光束分成参考光和样品光：设有沿样品光路依次布置的：照明物镜，用于使照明光变成平行光照明样品；成像物镜，用于接收样品反射的样品光；设有沿参考光路依次布置的：第一反射镜，通过周期性移动自身位置来改变参考光路光程；补偿器，用于补偿参考光路与样品光路间的光程差；第二分束器，用于将参考光和样品反射的样品光进行合束；和图像采集单元，用于记录参考光与样品光产生的干涉图像；还包括计算机，根据在第一反射镜每个周期内多次扫描样品记录得到多个干涉图像包，解出对应该周期内的样品三维折射率分布图。
技术研发人员：刘旭;刘秋兰;匡翠方;修鹏
受保护的技术使用者：浙江大学
文档号码：201710157823
技术研发日：2017.03.16
技术公布日：2017.06.20