技术总结
本发明公开了一种超精密测量平台，包括机架组件、锁死螺母、地脚调节螺钉、支架、电位器式传感器、磁悬浮组件、花岗岩平台、X轴气浮导轨组件、第一立柱、第二立柱、横梁、Y轴气浮导轨组件、高精度传感器、磁吸装置、调节杆、测微仪和中央处理器，其中，所述地脚调节螺钉设置在所述机架组件底部，所述锁死螺母设置在地脚调节螺钉上且靠近机架组件底部；本发明第二立柱底部的气浮块直接和花岗岩平台接触，并且采用黄铜塞红宝石节流，气浮面设置均压卸荷槽，有效防止气震的发生，较易实现高精度运动和测量。
技术研发人员：张霞峰;刘强;刘浩;姚建华;喻里程;卢诗毅;林剑;王哲
受保护的技术使用者：广东工业大学
文档号码：201710173538
技术研发日：2017.03.22
技术公布日：2017.06.27