技术总结
一种增加涂布显影设备皮带使用寿命的装置，包括灯箱，所述灯箱的上部设有气体引入口，所述气体引入口上分别设有用于检测气体流量的气体流量传感器和用于控制气体流量的气体流量开关，所述灯箱的箱体上设有与气体流量传感器电连接的气体流量显示器；所述灯箱的底部连接气体采样装置，所述气体采样装置连接用于检测臭氧浓度的气体分析仪。该装置可实现对灯箱内臭氧浓度的量测监控，并根据臭氧浓度调节引入灯箱的稀释气体的流量来减少氧气的含量，从而降低臭氧的产生量，以减少EUV照射时，臭氧对传送机构齿轮之间的皮带的腐蚀，提高了皮带的使用寿命。
技术研发人员：王睿
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
文档号码：201710248943
技术研发日：2017.04.17
技术公布日：2017.06.27