一种多环境下片上系统的压电测试装置与测试方法与流程

文档序号:12658443阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多环境下片上系统的压电测试装置,其特征是:气管Ⅰ(14)连通气管Ⅱ(15)与气管Ⅲ(16),所述的气管Ⅱ(15)与气管Ⅲ(16)之间设置阀门Ⅰ(3),所述的气管Ⅱ(15)与气管Ⅲ(16)插入容器瓶(2)内,所述的容器瓶(2)的底部设置电热炉RS(1),所述的气管Ⅰ(14)连通腔室(13)的一侧,所述的气管Ⅰ(14)靠近腔室(13)的位置设置阀门Ⅱ(4);

所述的腔室(13)的另一侧连通气管Ⅳ(17),所述的气管Ⅳ(17)靠近腔室(13)的位置设置阀门Ⅲ(11),所述的气管Ⅳ(17)的外端连接机械泵(12);

所述的腔室(13)的外表面设置显示屏(10),所述的腔室(13)的底端设置可调节的电热阻丝RT(5),所述的显示屏(10)的下方设置进仓门(9),所述的进仓门(9)内装入样品台(6),所述的样品台(6)上均布一组接线柱(7),所述的接线柱(7)之间设置夹具(8),所述的夹具(8)与接线柱(7)间隔设置。

2.根据权利要求1所述的一种多环境下片上系统的压电测试装置,其特征是:所述的腔室(13)内装入电路板,所述的电路板包括电源AC连接头,所述的电源AC的一端并联开关S1的一端、开关S2的一端、开关S3的一端、开关S4的一端、开关S5的一端与开关S6的一端;

所述的开关S1的一端连接电热阻丝RT(5)的一端,

所述的开关S2的一端连接温度传感器T的一端,

所述的开关S3的一端连接湿度传感器H的一端,

所述的开关S4的一端连接压力传感器P的一端,

所述的开关S5的一端连接电热炉RS(1)的一端,

所述的开关S6的一端连接机械泵(12)的一端,

所述的电源AC的另一端并联电热阻丝RT的另一端、温度传感器T的另一端、湿度传感器H的另一端、压力传感器P的另一端、电热炉RS(1)的另一端与机械泵的另一端。

3.利用权利要求1所述的一种多环境下片上系统的压电测试装置的测试方法,其特征是:包含以下步骤:

步骤一:打开仓门(9),将样品放置于样品台(6)上,并用夹具(8)夹住样品;

步骤二:样品通过导线与接线柱(7)的仓内部分连接后关闭仓门(9);

步骤三:接线柱(7)的仓外部分与电测设备相接;

步骤四:关闭阀门Ⅱ(4),打开阀门Ⅲ(11),运转机械泵(12),抽离腔室(13)内的气体,使腔室(13)内达到真空级,关闭阀门Ⅲ(11),保持腔室(13)内气压为真空级;

步骤五:保持腔室(13)内气压为真空级的情况下,给电热阻丝RT(5)通电,调节腔室(13)内的温度;

步骤六:保持腔室(13)内气压为真空级的情况下,打开阀门Ⅱ(4),关闭阀门Ⅰ(3)给电热炉RS(1)通电,使容器瓶(2)内的液体沸腾,向腔室(13)充气,当容器瓶(2)内的液体为水时,气流可携带水蒸气进入腔室(13)内,通过控制阀门Ⅰ(3)的开关可控制进入腔室(13)内水蒸气的量,当到达需要的压力值与湿度值时关闭阀门Ⅱ(4);

步骤七:打开阀门Ⅰ(3)与阀门Ⅱ(4),向腔室(13)内充入不同的气体,实现腔室(13)内不同气体作用下不同的气压环境,关闭阀门Ⅱ(4),实现腔室(13)内干燥环境下的保压;

步骤八:在进行不同气体腔室(13)内干燥环境下的保压的前提下,给电热阻丝RT(5)通电,调节腔室(13)内的温度;

步骤九:当腔室(13)内的压力值与湿度值达到规定时,调节电热阻丝RT(5)的阻值实现腔室(13)内温度的有序变化,并测量样品的各项数值;

步骤十:测量结束后打开阀门Ⅲ(11),运转机械泵(12),将腔室(13)内气体排出,使腔室(13)内的压强变为标准大气压,关闭电源AC。

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