技术特征：
技术总结
本发明公开了一种多层复合薄膜结构的力学参数测量方法，属于微机电系统(Micro‑Electro‑Mechanical System，简称MEMS)材料参数在线测试技术领域。本发明方法基于多层复合双端固支梁和多层复合悬臂梁的一阶谐振频率与材料特性、结构尺寸等参数之间的关系，利用求解方程组的形式一次性得到多层复合薄膜结构各层的等效杨氏模量和各层的等效残余应力，可满足多层薄膜材料的在线测试，且测试结构、计算方法简单，准确性更高。本发明还公开了一种多层复合薄膜结构的力学参数测量装置。
技术研发人员：周再发;孙超;郭欣格;黄庆安
受保护的技术使用者：东南大学
技术研发日：2017.04.28
技术公布日：2017.08.18