用于模收缩和高灵敏度的具有锚定件的压力传感器装置的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明公开用于模收缩和高灵敏度的具有锚定件的压力传感器装置。通过减薄膜片并且使所述膜片形成为包括锚定件，增加来自MEMS压力传感器的电压输出跨度和灵敏度并且降低压力非线性，其中所述锚定件不被连接到膜片加劲梁或膜片的加厚区，或者不被接到膜片加劲梁或膜片的加厚区上。

技术研发人员：J-H.A.邱;S-H.S.陈
受保护的技术使用者：大陆汽车系统公司
技术研发日：2017.05.12
技术公布日：2017.12.01