一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法与流程

文档序号:11431413阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法,通过电化学反应使金属丝一端形成尖锐的针尖;阻止已形成的针尖继续被腐蚀;使金属丝其他部分形成特殊几何形貌的轮廓;其制备装置包括底座、支撑立柱、钨丝定位装置、安装基板和电解槽定位装置,在底座上垂直固定有两个相互平行的支撑立柱和电解槽定位装置,两个支撑立柱的上部固定有安装基板,在安装基板上装有金属丝定位装置;还配备有电解电源和控制装置。实现了精确地控制用于制备探针的金属丝的位移;对电化学反应状态和终点进行准确的探测与控制。具有低成本、高精度地批量制作各类具有特殊形貌轮廓的优点。

技术研发人员:高思田;徐靖涛;黄鹭;施玉书;李琪
受保护的技术使用者:中国计量科学研究院
技术研发日:2017.05.16
技术公布日:2017.08.29
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