用于透射电镜样品杆的纳米定位器的制作方法

文档序号:13444776阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
用于透射电镜样品杆的纳米定位器,包括用于装载样品的定位器头部和驱动样品位移的定位器身部,定位器身部为压电陶瓷管,压电陶瓷管的外周壁和内周壁分别设置导电区域,外周壁的导电区域有多对,每对导电区域以压电陶瓷管的轴线对称,外周壁的每个导电区域之间相互独立并均匀设置,压电陶瓷管的头端固定关节球;定位器头部主要由上压件,下压件和弹性连接组件组成,关节球位于上压件和下压件之间,上压件和下压件分别具有与关节球匹配的凹窝。本发明具有在重复使用中性能表现稳定的优点。

技术研发人员:王宏涛;张奕志
受保护的技术使用者:浙江大学
技术研发日:2017.09.05
技术公布日:2018.01.12
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