技术特征：
技术总结
本申请提供一种形状测量装置，其能够在宽的测量范围内，高速、高精度地测量测量对象的表面形状，同时使形状测量装置配置得紧凑。可移动部(141)和平衡部(142)由支撑部(125)支撑，并且通过驱动单元(150)相对于支撑部(125)沿彼此相反的方向往复运动。分束器和反光镜附接至可移动部(141)。测量光和参考光通过分束器分别被引导到测量对象(S)和反光镜，且通过测量对象(S)反射的测量光和通过反光镜反射的参考光被引导到光接收部。可移动部(141)往复运动，由此测量光的光程与参考光的光程之差改变。基于可移动部(141)相对于支撑部(125)的相对位置和光接收部的多个像素的光接收量，来获取测量对象(S)的多个部分的表面形状。
技术研发人员：迹路隆;秋柴雄二
受保护的技术使用者：株式会社基恩士
技术研发日：2017.10.11
技术公布日：2018.04.20