玻璃基板宏观检查系统的制作方法

文档序号:11560443阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种玻璃基板宏观检查系统,其特征在于,包括照明装置和用于固定该照明装置的安装机架,其中,所述照明装置一侧通过旋转轴(6)连接到所述安装机架,另一侧通过第一驱动机构连接到所述安装机架,所述第一驱动机构可驱动所述照明装置围绕所述旋转轴(6)转动。

2.根据权利要求1所述的宏观检查系统,其特征在于,所述第一驱动机构包括移动件(8)和驱动该移动件(8)在所述安装机架上往复运动的驱动件(7),所述照明装置的另一侧上安装有用于连接所述移动件(8)的连接杆(9)。

3.根据权利要求2所述的宏观检查系统,其特征在于,所述第一驱动机构为电动缸。

4.根据权利要求2所述的宏观检查系统,其特征在于,所述照明装置包括照明箱(10)以及容纳在该照明箱(10)内部的照明单元,所述照明单元包括向外输出照明光的发射器(15),用于将输出的照明光反射的反射镜,以及用于将反射出的照明光聚集到玻璃基板(16)的菲涅尔透镜(13)。

5.根据权利要求4所述的宏观检查系统,其特征在于,所述照明单元为两个,所述照明箱(10)形成有用于分别容纳两个所述照明单元的第一照明区(101)和第二照明区(102),所述两个照明单元的聚焦点一致。

6.根据权利要求5所述的宏观检查系统,其特征在于,所述第一照明区(101)和所述第二照明区(102)之间一侧连接有所述旋转轴(6),另一侧连接有所述连接杆(9)。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的宏观检查系统,其特征在于,所述安装机架包括安装座(3)和可滑动地安装到所述安装座(3)上的滑移座,以及驱动所述滑移座沿平行于所述旋转轴(6)的方向滑动的第二驱动机构,所述旋转轴(6)可转动地连接到所述滑移座,所述第一驱动机构一端连接到所述滑移座,另一端连接到所述照明装置。

8.根据权利要求7所述的宏观检查系统,其特征在于,所述安装座(3)包括平行间隔设置的第一梁(31)和第二梁(32),所述滑移座包括连接架(5)和固定架(4),所述连接架(5)可滑动地架设在所述第一梁(31)和所述第二梁(32)之间,所述固定架(4)一端固定连接到所述第一驱动机构,另一端连接到所述连接架(5)位于所述第二梁(32)的一侧。

9.根据权利要求8所述的宏观检查系统,其特征在于,所述连接架(5)形成为三角形架,该三角形架的其中一个夹角(52)可滑动地连接在所述第二梁(32)上,与所述夹角(52)相对的侧边(51)与所述第一梁(31)平行设置并可滑动地连接在所述第一梁(31)上。

10.根据权利要求9所述的宏观检查系统,其特征在于,所述第一梁(31)和所述第二梁(32)上分别设置有滑轨(1),所述连接架(5)上设置有分别配合在该滑轨(1)上的滑块(11)。

11.根据权利要求9所述的宏观检查系统,其特征在于,所述三角形架的内部还设置有与所述侧边(51)相平行的连接边(53),所述旋转轴(6)通过轴承(61)连接到所述连接边(53)。

12.根据权利要求7所述的宏观检查系统,其特征在于,所述第二驱动机构包括驱动电机(22)和丝杆机构,该丝杆机构包括与所述驱动电机(22)传动相连的丝杆(2)和配合在该丝杆(2)上的螺母(21),所述螺母(21)固定在所述滑移座上。

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