一种封闭式多点激光剥蚀样品台的制作方法

本实用新型涉及样品台领域，具体是一种封闭式多点激光剥蚀样品台。

背景技术：

激光剥蚀技术是一项可以实现微米区域分析的原位微区采样技术，与等离子体质谱仪联合使用，可以进行样品的主微量元素和同位素的组成分析。激光剥蚀-等离子体质谱仪已成为地球化学、宇宙化学和环境研究领域元素和同位素原位分析最重要的技术之一。

目前激光剥蚀系统主要由激光器、系统光路、样品台、观察系统组成，激光剥蚀系统工作时通过激光器发出高功率激光束，经过系统光路，照射到样品台的待测材料上，使样品通过吸收激光能量被加热、蒸发或升华，剥蚀出的样品离子以He/Ar等气体为载气送入质谱仪进行元素分析。激光剥蚀系统提取的样品离子数量，直接影响了激光等离子体质谱仪的测量精度。现有技术中，激光剥蚀样品台结构较为复杂，使用不便，不能很好的满足激光剥蚀系统的需要，导致样品分析效率较低，实用性不强。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种封闭式多点激光剥蚀样品台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种封闭式多点激光剥蚀样品台，包括底座、套筒、顶板、底盖、转动盘、基座、转动杆和盖体，所述底座为截面成凸字型的柱体结构；所述底座的上部外圈表面通过螺纹连接方式密封固定安装在套筒的下部内腔中；所述套筒的上部侧边分别开设有进气孔和排气孔；所述套筒的顶部通过焊接方式密封固定设置有顶板；所述顶板的表面均布加工有三个呈中心对称设置的镂空；所述镂空的上部通过粘贴方式密封固定安装有盖体；所述底座的上端内部加工有柱形空腔；所述柱形空腔的内部分别设置有驱动电机和减速器；所述底座的顶板上通过轴承转动设置有转动杆；所述转动杆的底端通过减速器与驱动电机的输出轴相连接；所述转动盘的中部下表面与转动杆的顶端通过螺栓连接方式固定连接；所述底座的顶板上表面通过焊接方式固定安装有基座，基座上加工有环形油封腔；所述转动盘的外圈下表面通过焊接方式固定安装有与环形油封腔相互滑动配合的环形滑块；所述转动盘的上表面还固定设置有三个呈中心对称设置的样品放置台；所述柱形空腔的底端内部还设有底盖；所述底座与底盖的外圈之间通过连接螺栓固定连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述驱动电机电连接PLC控制器和电源，且驱动电机采用伺服电机。

作为本实用新型进一步的方案：所述环形油封腔的内部填充有润滑油。

作为本实用新型进一步的方案：所述底座的顶板与转动杆的连接处还密封套设有密封轴套，密封轴套采用橡胶材料制成。

作为本实用新型进一步的方案：所述底盖为截面呈凸字型的圆台结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：进气孔和排气孔的位置固定且为对称设置，有效保证了气体流动路径的通畅；底座与套筒之间通过螺纹连接方式相互嵌套、环形油封腔的内部填充有润滑油以及密封轴套的设置具有良好的密封效果，有效保证了样品放置台所处空间的封闭性；驱动电机驱动转动盘相对于底座发生转动，提高了样品放置台上不同样品激光剥蚀的灵活性，提高工作效率，同时多个镂空和样品放置台的设置能够实现对不同工位样品进行同步激光剥蚀，增强了对比性，且进一步提高了样品的分析效率。综上，整个装置结构简单，设计合理，操作简单，使用灵活，分析实验效果好、效率高，实用性强。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型中顶板的结构示意图。

图3为本实用新型中顶板俯视图的结构示意图。

图4为本实用新型中转动盘俯视图的结构示意图。

图中：1-底座，2-套筒，3-顶板，4-底盖，5-柱形空腔，6-驱动电机，7-减速器，8-连接螺栓，9-进气孔，10-排气孔，11-转动盘，12-基座，13-环形油封腔，14-环形滑块，15-转动杆，16-样品放置台，17-密封轴套，18-轴承，19-盖体，20-镂空。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型实施例中，一种封闭式多点激光剥蚀样品台，包括底座1、套筒2、顶板3、底盖4、转动盘11、基座12、转动杆15和盖体19，所述底座1为截面成凸字型的柱体结构；所述底座1的上部外圈表面通过螺纹连接方式密封固定安装在套筒2的下部内腔中；所述套筒2的上部侧边分别开设有进气孔9和排气孔10；所述套筒2的顶部通过焊接方式密封固定设置有顶板3；所述顶板3的表面均布加工有三个呈中心对称设置的镂空20；所述镂空20的上部通过粘贴方式密封固定安装有对激光波长是透明的盖体19；所述底座1的上端内部加工有柱形空腔5；所述柱形空腔5的内部分别设置有驱动电机6和减速器7；所述底座1的顶板上通过轴承18转动设置有转动杆15；所述转动杆15的底端通过减速器7与驱动电机6的输出轴相连接；所述转动盘11的中部下表面与转动杆15的顶端通过螺栓连接方式固定连接；所述底座1的顶板上表面通过焊接方式固定安装有基座12，基座12上加工有环形油封腔13；所述转动盘11的外圈下表面通过焊接方式固定安装有与环形油封腔13相互滑动配合的环形滑块14；所述转动盘11的上表面还固定设置有三个呈中心对称设置的样品放置台16，三个样品放置台16分别位于三个镂空20的正下方；所述柱形空腔5的底端内部还设有底盖4；所述底座1与底盖4的外圈之间通过连接螺栓8固定连接。

本实用新型实施例中，所述驱动电机6电连接PLC控制器和电源，且驱动电机6采用伺服电机，提高控制精度。

本实用新型实施例中，所述环形油封腔13的内部填充有润滑油，润滑油的设置一方面减少环形滑块14与基座12之间的摩擦，另一方面具有良好的密封效果。

本实用新型实施例中，所述底座1的顶板与转动杆15的连接处还密封套设有密封轴套17，密封轴套17采用橡胶材料制成。

本实用新型实施例中，所述底盖4为截面呈凸字型的圆台结构。

本实用新型实施例中，所述进气孔9和排气孔10对称设置。

本实用新型的工作原理是：取放样品时，进气孔9和排气孔10与气路密封连通，进气孔9和排气孔10的位置固定且为对称设置，有效保证了气体流动路径的通畅；底座1与套筒2之间通过螺纹连接方式相互嵌套、环形油封腔13的内部填充有润滑油以及密封轴套17的设置具有良好的密封效果，有效保证了样品放置台16所处空间的封闭性；驱动电机6驱动转动盘11相对于底座1发生转动，提高了样品放置台16上不同样品激光剥蚀的灵活性，提高工作效率，同时多个镂空20和样品放置台16的设置能够实现对不同工位样品进行同步激光剥蚀，增强了对比性，且进一步提高了样品的分析效率。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。