用于晶圆装卸台的检测工具的制作方法

本实用新型涉及半导体制造装备领域，特别涉及一种用于晶圆装卸台的检测工具。

背景技术：

晶圆生产线通常包括用于晶圆加工的晶圆处理系统、用于在晶圆处理系统中传输晶圆的物料搬运系统、用于连接物料搬运系统与晶圆处理系统的设备前端装置(Equipment Front End Module，EFEM)、以及用于存储晶圆的前开式晶圆盒(Front Opening Unified Pod，Foup)。通常Foup中存储有晶圆，由物料搬运系统将所述Foup搬运并放置在对应的设备前端装置处。之后，设备前端装置先对Foup进行定位，后取出所述Foup中的晶圆，再将晶圆输送至对应工序的晶圆处理系统中进行加工。待晶圆加工后，设备前端装置将晶圆放回至Foup中。随后，物料搬运系统将所述Foup搬运至与下一工序对应的设备前端装置处。如此，实现晶圆在生产线上不同工位之间的传输和加工。

设备前端装置至少包括晶圆装卸台(Load Port)和操作机械手。其中，晶圆装卸台用于承载Foup、以及锁定和解锁Foup的盒盖，操作机械手用于将晶圆从Foup中取出，并将所述晶圆传输至相应机台中进行加工，待晶圆加工完后，将晶圆从机台中取出，并放置到Foup中。

目前，晶圆生产线在锁定和解锁Foup的盒盖时易出现故障，如所述盒盖不能正常锁定和解锁，以及设备前端装置卡死在Foup中。此外，还易出现操作机械手抓取或收纳晶圆至Foup时，损伤晶圆的问题。究其原因，一般是晶圆装卸台用于承载Foup的面相对于参考面倾斜。为保证晶圆装卸台用于承载Foup的面与参考面平行，工作人员多采用目测的方式进行检测和调试，这种检测和调试方式需耗费大量的人力和时间，且准确度低。因此，有必要开发一种便于检测晶圆装卸台水平度的检测工具。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种能节省检测人力和调试时间，且检测和调试准确度高的用于晶圆装卸台的检测工具。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于晶圆装卸台的检测工具，所述晶圆装卸台具有用于承载前开式晶圆盒的水平测量面，所述检测工具包括水平检测块和用于检测所述水平测量面相对于一参考面是否平行的水平仪，所述水平检测块与所述水平测量面相贴合，所述水平仪设置在所述水平检测块上。

可选的，所述水平检测块与所述水平测量面相贴合的面为水平安装面，所述水平仪设置在所述水平检测块与所述水平安装面平行的面上。

可选的，所述前开式晶圆盒具有一锁孔安装面，所述检测工具还包括具有一垂直安装面的垂直检测块，所述垂直检测块设置在所述水平检测块上，所述垂直安装面与承载于晶圆装卸台上的前开式晶圆盒的锁孔安装面平行。

可选的，所述晶圆装卸台包括锁定或解锁所述前开式晶圆盒的钥匙，所述锁孔安装面上设置有与所述钥匙相对应的锁孔，所述钥匙的径向截面形状与所述锁孔的径向截面形状相匹配，且所述垂直安装面上垂直设置有用于容纳所述钥匙的校准通孔。

可选的，所述校准通孔的径向截面形状与所述钥匙的径向截面形状相匹配。

可选的，所述垂直检测块与所述垂直安装面相平行的面上设置有刻度线，且所述刻度线设置在所述校准通孔处并用于指示所述钥匙转动的起始位置；或者，所述晶圆装卸台具有一垂直测量面，所述垂直测量面或所述晶圆装卸台与所述垂直测量面相平行的面上设置有刻度线，所述刻度线设置在与所述校准通孔相对应的位置处并用于指示所述钥匙转动的起始位置。

可选的，所述水平检测块为一平板件，所述水平检测块上设置有用于避位的槽孔；所述垂直检测块为一平板件，所述垂直检测块上设置有用于避位的槽孔。

可选的，所述晶圆装卸台上设置有定位柱，所述水平检测块和所述前开式晶圆盒上各自设置有与所述定位柱相配合的定位孔。

可选的，所述定位孔的数量为三个。

可选的，所述水平仪为气泡水平仪，所述气泡水平仪的数量至少为两个，至少两个所述气泡水平仪呈一定角度设置。

本实用新型提供的一种用于晶圆装卸台的检测工具具有如下有益效果：

首先，所述检测工具包括水平检测块和用于检测水平测量面相对于一参考面是否平行的水平仪，所述水平检测块与所述水平测量面相贴合，所述水平仪设置在所述水平检测块上，由此通过查看设置在水平检测块上水平仪的输出状态即可知晓该水平测量面相对于参考面是否平行，如此，节省了检测时间和人力，且检测结果准确性高。

进一步的，所述前开式晶圆盒具有一锁孔安装面，所述检测工具还包括具有一垂直安装面的垂直检测块，所述垂直检测块设置在所述水平检测块上，所述垂直安装面与承载于晶圆装卸台上的前开式晶圆盒的锁孔安装面平行，可通过所述垂直检测块的所述垂直安装面检测晶圆装卸台相对于所述垂直安装面是否平行，进一步节省了检测时间和人力。

更进一步的，所述晶圆装卸台上设置有定位柱，所述水平检测块和Foup上各自设置有与所述定位柱相配合的定位孔，使得水平检测块在晶圆装卸台上的位置唯一，继而使得水平检测块在每次测量时，具有相同的定位基准，有效保证了水平检测块的检测结果可再现性，使得工作人员再根据该检测结果进行调试时准确度提高，且调试方便。

附图说明

图1是一种前开式晶圆盒的结构示意图；

图2是一种晶圆装卸台的部分结构示意图；

图3是本实用新型一实施例中用于晶圆装卸台的检测工具放置在晶圆装卸台上的结构示意图；

图4是本实用新型一实施例中用于晶圆装卸台的检测工具的侧视图。

附图标记说明如下：

10-前开式晶圆盒；

11-盒体；

12-盒盖；

13-锁孔；

14-锁孔安装面；

20-晶圆装卸台；

21-装载台；

22-钥匙；

23-水平测量面；

24-垂直测量面；

25-定位柱；

30-水平检测块；

31-水平安装面；

32-水平仪；

33-支撑面；

34-定位孔；

40-垂直检测块；

41-垂直安装面；

42-第一读数面；

43-校准通孔；

50-槽孔。

具体实施方式

本实用新型的核心思想在于提供一种检测工具，该检测工具可通过水平检测块和水平仪来测量晶圆装卸台用于承载Foup的水平测量面相对于参考面是否平行，以克服现有技术中由目测推断晶圆装卸台的水平测量面与参考面是否平行所带来的问题。另外，该检测工具还可包括垂直检测块，可通过垂直检测块的垂直安装面检测晶圆装卸台相对于垂直安装面是否平行。此外，该检测工具的水平检测块和Foup上可设置有与晶圆装卸台的定位柱相配合的定位孔，使得水平检测块在每次测量时具有相同的定位基准。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的用于晶圆装卸台的检测工具作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

参考图1，一种前开式晶圆盒(Foup)10，用于存储晶圆，例如是存储300mm晶圆。所述Foup通常包括盒体11、盒盖12和锁紧装置(图1中未示出)。所述盒体11用于存储晶圆并与所述盒盖12连接。通过所述锁紧装置可锁定和解锁所述前开式晶圆盒10。具体的，可通过所述锁紧装置使所述盒盖12固定在所述盒体11上，即锁定盒盖12；还可通过所述锁紧装置使固定连接的所述盒体11和所述盒盖12活动连接，即解锁盒盖12。

其中，所述盒盖12具有锁孔安装面14，所述锁紧装置包括锁孔13，所述锁孔13设置在所述锁孔安装面14上。并且，所述锁孔13具有一旋转轴，以下为叙述方便将所述锁孔13的旋转轴称之为第一旋转轴，所述第一旋转轴垂直于所述锁孔安装面14。此外，所述Foup具有底部支撑面(图中未示出)，所述锁孔安装面14垂直于所述底部支撑面。所述Foup还具有定位孔，所述定位孔垂直穿过所述底部支撑面设置。

参考图2，一种晶圆装卸台(Load port)20，用于承载、定位和固定所述Foup，并用于锁定和解锁所述Foup。具体的，所述晶圆装卸台20可包括装载台21和开锁装置(图2中未示出)。其中，所述装载台21用于承载、定位和固定Foup，所述开锁装置用于锁定和解锁Foup的盒盖12。所述装载台21与开锁装置可选为独立的功能模块，且所述装载台21和所述开锁装置可相对运动，例如，所述装载台21可远离和靠近开锁装置，所述装载台21还可进行升降或者左右移动。本实施例中，所述开锁装置具有钥匙22，且所述钥匙22与所述锁孔13相配合，通过所述钥匙22可驱动所述锁紧装置锁定和解锁所述盒盖12。所述钥匙22具有旋转轴，所述钥匙22用于以所述旋转轴为轴心旋转，以下为叙述方便将所述钥匙22的旋转轴称之为第二旋转轴。

继续参考图2，所述装载台21具有水平测量面23，所述Foup的底部支撑面与所述水平测量面23相贴合，实现Foup在装载台21上的放置。优选的，所述装载台21上设置有定位柱25，所述定位柱25垂直于水平测量面23，且所述定位柱25与所述Foup上的定位孔对应设置，通过定位柱25和定位孔的配合，实现Foup在装载台21上的定位。于一实施例中，所述定位柱25设置在水平测量面23上，所述Foup的所述定位孔设置在所述Foup的所述底部支撑面上。

本实施例中，所述晶圆装卸台20上还具有垂直于钥匙22的第二旋转轴的垂直测量面24。可选的，所述垂直测量面24为所述开锁装置的一外表面，且所述钥匙22穿过所述外表面(即穿过所述垂直测量面24)。实际过程中，所述Foup放置在水平测量面23上后，通过装载台21上的定位柱25与Foup上的定位孔相配合实现Foup的定位，并通过装载台21进行固定，继而通过所述装载台21和所述钥匙22的相对移动，将所述钥匙22插入所述锁孔13中，之后，通过所述装载台21和所述钥匙22的相对旋转，使所述钥匙22在所述锁孔13中旋转，以驱动所述锁紧装置运动，当所述钥匙22在锁孔13中旋转到位后可锁定或者解锁盒盖12。

申请人研究发现，由于Foup承载在装载台21的水平测量面23上，因此装载台21的水平测量面23相对于参考面是否平行会影响Foup摆放位置的准确性。若水平测量面23的位置不当(即相对于参考面有所倾斜)，晶圆在取出和放置到Foup中时易被损伤。进而，为了检测装载台21的水平测量面23相对于参考面是否平行，参考图3和图4，本实施例提供了一种用于晶圆装卸台的检测工具，所述检测工具包括水平检测块30和水平仪32，所述水平检测块30具有与所述水平测量面23相贴合的水平安装面31，所述水平仪32设置在所述水平检测块30上，且所述水平仪32用于检测所述水平测量面23相对于参考面是否平行。为了便于叙述，本文以所述参考面为水平面作为示意，但不应以此作为对本实用新型的限定。

实际检测时，将检测工具放置在晶圆装卸台20上，使其水平检测块30的水平安装面31与晶圆装卸台20之装载台21的水平测量面23相贴合；之后，查看水平仪32的输出状态，即可知晓所述水平测量面23相对于水平面的倾斜程度，例如，知晓水平测量面23倾斜的方向和角度；据此调整晶圆装卸台，使水平测量面23与水平面平行。所述水平仪32可采用现有的气泡水平仪、电子式水平仪等测量仪器，本领域技术人员在本申请公开的内容基础上，应当知晓如何利用水平仪32检测水平测量面23与参考面是否平行。相较于采用目测或者实验的方式推测或推导水平测量面23相对于水平面是否平行，这种检测工具既节省了检测时间和检测人力，且使得检验结果准确性高，进一步地，使得与之相关的设备，例如包括晶圆装卸台20的设备前端装置，以及安装在晶圆装卸台20上的Foup的故障率降低，稳定性提高，并且避免了取出和放置晶圆时损伤晶圆，特别地，还使得晶圆装卸台20的利用率增加，而且减少了因人为操作导致设备故障的风险，此外，由于调试和维护方便，进而提高了生产效率。

所述水平检测块30例如为一平板件，所述水平检测块30上平行相对的两平面分别为支撑面33和所述水平安装面31，所述水平仪32具有底座(图中未示出)，所述底座的底面(图中未示出)与所述支撑面33贴合并固定。明显地，由于支撑面33和水平安装面31平行，故而，所述支撑面33上水平仪32之底座的水平度即可反应水平测量面23的水平度。

所述水平仪32例如为气泡水平仪，以根据气泡水平仪中气泡的移动获知水平测量面23相对于水平面是否平行。所述气泡水平仪的数量至少为两个，且两个所述气泡水平仪呈一定角度设置，根据两个所述气泡水平仪即可检测水平测量面23相对于水平面是否平行。

详细的，所述水平检测块30具有两个相互垂直的侧边，所述气泡水平仪为长条形，且至少其中一个所述气泡水平仪的长边与一条所述侧边平行。举例来说，所述支撑面33具有第一侧边以及与所述第一侧边垂直的第二侧边，至少其中一个气泡水平仪的长边与所述第一侧边或第二侧边平行。

在一个实施例中，所述两个气泡水平仪呈90°设置，用于检测水平测量面23在两个相互垂直方向上的水平度，便于检测和调试。例如所述气泡水平仪的形状为长条形，且所述水平检测块30还具有两个相互垂直的侧边，当两个所述气泡水平仪相互垂直时，两个所述气泡水平仪的长边各自与一条所述侧边平行。具体的，所述支撑面33具有第一侧边以及与所述第一侧边垂直的第二侧边，其中一个气泡水平仪的长边与所述第一侧边平行，而另一个气泡水平仪的长边与所述第二侧边平行。

在另一个实施例中，所述两个气泡水平仪呈45°设置，用于检测水平测量面23在两个呈45°方向上的水平度，以便于工作人员检测和调试水平测量面23之对角线的水平度。

所述水平检测块30的所述水平安装面31上设置有定位孔34，所述定位孔34与设置在Foup上的所述定位孔一一对应，并与所述装载台21上的定位柱25相配合，实现所述检测工具在所述晶圆装卸台上的定位。显然，检测时，借助定位柱25与定位孔34的配合，可将水平检测块30的水平位置调整到位。

所述定位孔34的数量例如为三个。显然，所述定位柱25和定位孔34的配合，使得水平检测块30相对于装载台21的位置唯一。此处可以理解为，利用水平检测块30模拟Foup放置在装载台21上的位置状态，而所述定位孔34的设置保证了水平检测块30在每次检测时，具有相同的检测基准，有效保证了水平检测块30检测结果的可再现性，使得工作人员再根据该检测结果进行调试时准确度提高，且调试方便。例如，所述定位柱25为棱柱，所述定位孔34为与该棱柱配合的孔，该孔的内壁为棱柱面；或者所述定位柱25为锥台，所述定位孔34为与该锥台配合的孔，该孔的内壁为锥台面。

申请人进一步研究发现，Foup承载在装载台21的水平测量面23后，通过所述开锁装置上的所述钥匙22实现Foup的盒盖12的锁定和解锁，当钥匙22相对于水平测量面的位置不当时，即所述锁孔13的第一旋转轴和所述钥匙22的第二旋转轴不重合时，易使得Foup的盒盖12锁定和解锁出现故障，严重的导致钥匙22卡死在锁孔13中。申请人由此得知，要实现所述锁孔13的第一旋转轴和所述钥匙22的第二旋转轴重合，首先需要使钥匙22的第二旋转轴相对于锁孔13的第一旋转轴平行，其次需要使第二旋转轴相对于第一旋转轴的位置重合。

由于所述钥匙22在装配时，其第二旋转轴通常与开锁装置的其他部分具有较好的装配关系，也就是说，所述钥匙22的第二旋转轴通常与垂直测量面24具有较好的垂直度。此外，所述锁孔13的第一旋转轴垂直于锁孔安装面14，且所述锁孔安装面14垂直于Foup的底部支撑面。并且，通过将所述Foup放置到装载台21上，且经过定位柱25与定位孔34的配合定位后，所述Foup的锁孔13的位置与所述钥匙22的位置是确定的，或者说所述锁孔安装面14与所述水平测量面23的位置关系是确定的。由前述可知，所述钥匙22的第二旋转轴与锁孔13的第一旋转轴不平行的原因是垂直测量面24与锁孔13的第一旋转轴不垂直，或者说垂直测量面24相对于锁孔安装面14倾斜。因此，可以通过调整使垂直测量面24相对于锁孔安装面14平行，使锁孔13的第一旋转轴相对于钥匙22的第二旋转轴平行。

为了检测垂直测量面24相对于锁孔安装面14是否平行，即检测锁孔13的第一旋转轴相对于钥匙22的第二旋转轴是否平行，参考图3和图4，本实施例中，所述检测工具还包括垂直检测块40。所述垂直检测块40具有与水平安装面31垂直的垂直安装面41，所述垂直安装面41与所述Foup的锁孔安装面14平行设置。

结合垂直检测块40来说，实际检测时，首先，将检测工具放置在水平测量面23上，通过定位柱25与定位孔34的配合实现检测工具在装载台21上的定位，并借助所述检测工具调整水平测量面23的位置，使水平测量面23与水平面平行，由此，便可比较垂直测量面24相对于垂直安装面41是否平行，并借助所述检测工具调整所述垂直测量面24的位置。如此，既节省了检测时间和检测人力，且使得检验结果准确性高。并且避免了当钥匙22相对于水平测量面23的位置不当时，即所述锁孔13的第一旋转轴和所述钥匙22的第二旋转轴不重合时，所述Foup的盒盖12锁定和解锁故障，以及钥匙22卡死在Foup中，进一步地，使得与之相关的设备故障率降低，稳定性提高，并且避免了损伤晶圆。

为了检测钥匙22的第二旋转轴与锁孔13的第一旋转轴的位置是否重合，参考图3和图4，所述垂直检测块40还具有恰容纳一个钥匙22的校准通孔43，所述校准通孔43与垂直安装面24垂直，本实施例中，所述校准通孔43垂直设置在垂直安装面41上。

校准通孔的使用原理如下：检测时，先将水平测量面23调整到与水平面平行；再将垂直测量面24与垂直安装面41调整平行；之后可通过比对钥匙22相对于校准通孔43的位置，得知钥匙22相对于校准通孔43偏离的状态，即偏离的方位和距离，以此调整开锁装置的位置，使得钥匙22的位置与校准通孔43的位置相对应。此时，由于钥匙22的第二旋转轴与锁孔13的第一旋转轴平行，故钥匙22可穿过所述校准通孔43，即第一旋转轴与第二旋转轴的位置重合。此处，利用校准通孔43模拟锁孔13设置在Foup中的位置，以及锁孔13之第一旋转轴的位置，如此，既节省了检测时间和检测人力，且使得检验结果准确性高。

应当可以理解，本实施例提供的检测工具，也可以先将水平测量面23调整到与水平面平行，再将钥匙22的位置调整到与锁孔13相对应，接着将钥匙22的第二旋转轴调整到与锁孔13的第一旋转轴相平行。

在本实施例中，所述校准通孔43的数目与所述钥匙22的数目均为两个。所述垂直检测块40优选为一平板件，所述垂直检测块40平行相对的两平面分别为垂直安装面41和第一读数面42。进一步地，所述检测工具为L型，所述水平检测块30和垂直检测块40一体设置。更进一步地，所述水平检测块30和垂直检测块40在连接处设置有加强筋。进一步地，所述水平检测块30和垂直检测块40上分别设置有若干槽孔50，这些槽孔50用于避开设置在晶圆装卸台20上的零部件，避免这些零部件影响检测工具的检测结果。进一步地，所述水平检测块30和垂直检测块40均为金属材质，是其在使用中不易变形。所述校准通孔贯穿所述垂直安装面41和第一读数面42。

申请人进一步发现，所述钥匙22旋转的初始位置需要与其插入锁孔13中的位置相对应，否则钥匙22将无法插入锁孔13中，影响盒盖12的锁定和解锁，甚至使钥匙22卡在Foup中，严重导致开锁装置损坏。为此，本实施例中，所述校准通孔43的径向截面形状与钥匙22的径向截面形状相匹配，使得钥匙22仅可从校准通孔43的一个位置处穿过。例如，所述钥匙22的径向截面的形状大致为长方形，此时，所述校准通孔43的径向截面形状为椭圆形，所述校准通孔43使得钥匙22仅可从所述校准通孔43的唯一位置处穿过该椭圆孔。应当可以理解，当所述校准通孔43与所述钥匙22插入锁孔13中的位置相对应时，所述校准通孔43不仅检测了钥匙22与锁孔13之间的位置，还检测了钥匙22是否与其插入锁孔13时的位置相对应。

在另一种实施例中，所述校准通孔43可以为圆形。可以在垂直检测块40的校准通孔43处设置刻度线，以此来校准所述钥匙22旋转的初始位置。所述刻度线可以设置在第一读数面42上，也可以设置在与晶圆装卸台的垂直测量面24相平行的第二读数面(图中未标号)上，也还可以设置在垂直测量面24上。上述刻度线的使用原理为：检测时，将水平测量面23调整到与水平面平行，将垂直测量面24与垂直安装面41调整平行，以及将钥匙22的位置调整到与锁孔13相对应后，可通过比较钥匙22与第一读数面42上的刻度线的位置对应关系，调整钥匙22插入锁孔13时的位置，且便于观察钥匙22旋转设定角度后，其是否旋转到相应位置，以便于调整相关位置。例如，检测钥匙22旋转90°以后，所述钥匙22上某一部分的结构与刻度线上的对应位置相对应，或者所述钥匙22上设置有用于标记钥匙22插入锁孔13时的位置的标记与刻度线的对应位置相对应。

本实施例提供的用于晶圆装卸台的检测工具的工作过程如下：

步骤一、将检测工具放置在晶圆装卸台20上，使其水平检测块30的水平安装面31与晶圆装卸台20之装载台21的水平测量面23相贴合；之后，查看水平仪32的输出状态，即可知晓所述水平测量面23相对于水平面的倾斜程度，据此调整晶圆装卸台，使水平测量面23与参考面平行。

步骤二、借助晶圆装卸台20上的定位柱25与检测工具上的定位孔34的配合，将水平检测块30的水平位置调整到位。

步骤三、当借助检测工具使水平测量面23调整至与参考面平行后，且检测工具在晶圆装卸台20上定位后，比较垂直测量面24相对于垂直安装面41是否平行，并借助检测工具调整垂直测量面24的位置，使垂直测量面24与垂直安装面41平行。

步骤四、当借助检测工具使垂直测量面24与垂直安装面41调整平行后，通过比对钥匙22相对于校准通孔43的位置，得知钥匙22相对于校准通孔43偏离的状态，即偏离的方位和距离，以此调整开锁装置的位置，使得钥匙22的位置与校准通孔43的位置相对应。

步骤五、当钥匙22相对于校准通孔43的位置调整到位后，可通过校准通孔43(校准通孔43的径向截面形状与钥匙22的径向截面形状相匹配，且钥匙22仅可从校准通孔43的一个位置处穿过)检测钥匙22相对于钥匙22插入锁孔13时的位置的偏差，并进行调整，直至钥匙22相对于钥匙22插入锁孔13时的位置重合。

另外，在检测时可将步骤三和步骤四的顺序调换。在步骤一和步骤二中可先将检测工具放置在晶圆装卸台20上，在水平安装面31与水平测量面23相贴合的同时，将检测工具上的定位孔34与定位柱25调整到位，即可在步骤一中放置检测工具后即可进行步骤二中的定位动作，再根据检测工具的检测结果进行调整。

在另一种实施例中，步骤五时可借助刻度线，检测和调整钥匙22相对于钥匙22插入锁孔13时的位置的偏差。

本实用新型提供的用于晶圆装卸台21的检测工具尤其适用于300mm Load port的检测与调试。且本实用新型提供的这种用于晶圆装卸台21的检测工具可适用于不同厂家生产的Load Port的检测，适用性好。

此外，本实用新型较佳实施例如上所述，但并不局限于上述实施例所公开的范围，例如所述检测工具和晶圆装卸台不限于通过定位柱与定位孔的方式实现定位，其他定位方式也可。

综上所述，本实用新型提供的用于晶圆装卸台21的检测工具，采用模拟前开式晶圆盒10放置在晶圆装卸台20上的状态，以及开锁装置相对于前开式晶圆放置盒的运动状态，分步检测和调整装载台21的位置，以及开锁装置上钥匙22的位置状态，实现晶圆装卸台20的位置调整，节省了检测时间和人力，且检测结果准确性高。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。