一种软性薄膜压力传感器的制作方法

文档序号:14450390阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种压力传感器的设计,具体为一种软性薄膜压力传感器可通过新型纳米压敏材料的电阻率变化及两压敏层接触面积改变的协同作用来进一步提高传感器灵敏度,再辅以合适杨氏模量的超薄薄膜衬底从而解决了迟滞效应、测试重复性差异的问题,包括第一软性衬底、第一电极层、第一压敏层、支撑层、第二软性衬底、第二电极层和第二压敏层,所述第一压敏层、第一电极层和第一软性衬底依次连接,所述第二压敏层、第二电极层和第二软性衬底依次连接;还包括支撑层,所述支撑层位于第一软性衬底和第二软性衬底之间且将第一压敏层和第二压敏层固定,所述第一压敏层和第二压敏层之间存在间隙。

技术研发人员:熊作平;张珽;谷文;井华;王冉
受保护的技术使用者:苏州能斯达电子科技有限公司
文档号码:201720785285
技术研发日:2017.07.01
技术公布日:2018.05.15

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