一种用于激光干涉仪的减震装置的制作方法

本实用新型属于机械设备领域，特别涉及一种用于激光干涉仪的减震装置。

背景技术：

激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

由于激光干涉仪对精度的要求非常高，因此在使用时需要尽量减少外界对他的影响，然而，现有激光干涉仪在使用时将其置于四角固定于弹簧上的托盘上减震(见图1)，不仅减震效果不好，而且外部的声音和温度都会对其影响，影响到检测精度。

技术实现要素：

技术问题：为了解决现有技术的缺陷，本实用新型提供了一种用于激光干涉仪的减震装置。

技术方案：本实用新型提供的一种用于激光干涉仪的减震装置，包括减震箱、减震台、支撑架、托盘；所述减震箱内设有隔音隔热层；所述减震台设于减震箱内；所述支撑架固定于减震台上；所述托盘通过细绳悬挂于支撑架上。

作为改进，还设有温度传感器和声音传感器；所述温度传感器和声音传感器设于减震箱内。

所述细绳的数量为4个。

有益效果：本实用新型提供的减震装置结构简单、成本低廉、使用方便，能够有效防止外部振动、声波、温度变化等引起的振动，大大提高了激光干涉仪的检测精度。

附图说明

图1为现有用于激光干涉仪的减震装置的俯视图；激光干涉仪放置于中部托盘上。

图2为本实用新型用于激光干涉仪的减震装置的结构示意图。

具体实施方式

下面对本实用新型用于激光干涉仪的减震装置作出进一步说明。

用于激光干涉仪的减震装置，见图2，包括减震箱1、减震台2、支撑架3、托盘4；减震箱1内设有隔音隔热层6；减震台2设于减震箱1内；支撑架3固定于减震台2上；托盘4通过细绳5悬挂于支撑架3上；减震箱1内还设有温度传感器7和声音传感器8。细绳5的数量为4个，均匀设于托盘4的边缘。

隔音隔热层6为采用一层或多层隔音隔热材料制成的隔音隔热层，或者包括一层或多层隔音层和一层或多层隔热层。