一种多功能自清洁探针板的制作方法

本实用新型属于半导体技术领域，涉及一种探针板，特别是一种多功能自清洁探针板。

背景技术：

在半导体集成电路行业中，在全自动测试系统上进行晶圆级的可靠性测试时，通常会使用到探针卡来进行辅助测试，现有的探针卡是将探针的一端固定在电路板上，然后再通过电路板与测试机台连接，探针的另一端则与晶圆上的每一块测试单元的探点接触，从而形成一个完整的测试系统。探针卡的作用是通过扎针焊垫，从而使测试机台和被测试结构实现连通。

在半导体工厂内，探针板是晶圆芯片可靠性测试中所需的一个重要部件，为了保证探针板的探针具有一个良好的状态，需要时刻保持探针板及其上的探针的清洁干净。现有的探针板的清洁刷多是是采用生活中普通的带硬质刷毛的刷子。清洁探针板的时候，先在刷毛上蘸上一点清洁剂，然后，用硬质刷毛正向擦洗探针板，接着，再在硬质刷毛上蘸上一点清洁剂，最后再用硬质刷毛反向擦洗探针板，最终将探针板擦洗干净。然而，这种刷子及其清洗探针板的方法，经常会有刷毛的纤维落到探针板上。而且由于刷毛上存在清洁剂，以致刷洗完毕后，探针板上经常有清洁剂残留。因此，需要提供一种多功能、可靠的清洁探针装置。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种多功能自清洁探针板，该探针板设计合理、结构简单，不仅具有良好地自清洁功能，而且还具有测试点多和便于维修的功能，具有极高的使用价值。

本实用新型的目的是这样实现的：一种多功能自清洁探针板，包括布线基板、支撑板、探针，所述的探针安装于布线基板，所述的布线基板通过连接柱固定安装于支撑板，所述的布线基板上安装三个插槽，所述的的插槽口部两侧设置连接扣件，所述的插槽内设置接线柱，所述的接线柱通过布线基板上的电路连接相应位置处的探针；所述的布线基板与支撑板的相应位置处设置通孔，所述的通孔内安装压风管道，所述的压风管道的出气端连接横向管道，所述的横向管道上设置气体喷嘴，所述的气体喷嘴相对探针的底部端头位置处设置。

所述的探针包括探针外壳、探针头，所述的探针外壳为铜质外壳，所述的探针外壳的一端设置探针头，所述的探针头位于探针外壳内部的一端通过弹片连接于探针外壳的另一端。

所述的探针外壳和探针头均为圆柱形结构，且所述的探针头的外径等于探针外壳的内径。

所述的弹片为锡青铜材质。

所述的探针每六个设置为一组，且每组探针分为前后两排，每排设置为三个。

所述每组探针处均设置一个气体喷嘴，所述的气体喷嘴与水平面夹角为20°~30°。

所述的插槽两端设置扣件挡板。

本实用新型产生的有益效果是：

1、本实用新型的每组探针处均设置了一个气体喷嘴，通过压风管道向喷嘴处输送高压干燥的气体，通过高压气体将探针头部的污物吹走，从而实现探针的清洁目的；另外，为了更好地达到对探针的清洁效果，将气体喷嘴设置为与水平面呈20°~30°的倾斜状态，通过斜向吹风能够更加有效地带走探针头上的污物。

2、本实用新型的探针头通过弹片安装于探针外壳上，弹片的存在使探针头就具有了一定的弹性作用，在进行测试时能够保证探针头与测试元件之间紧密接触，防止出现探针头与测试元件之间由于接触不良导致的测试结果的不准确。

3、本实用新型设置了三个插槽，一方面增加了接线柱的数量，从而增加了测试点的个数，使本实用新型能够一次测试很多个测试单元；另一方面，当其中某一个插槽损坏时，只需要更换这一个插槽即可，维修和更换十分方便。

4、本实用新型设置的扣件挡板能够避免在使用过程中连接扣件在闭合时损坏到接线柱。

附图说明

图1为本实用新型的正视结构示意图。

图2为本实用新型的右侧视结构示意图。

图3为本实用新型的后视结构示意图。

图4为本实用新型的俯视结构示意图。

图5为本实用新型安装压风管道后的右侧视结构示意图。

图6为本实用新型安装压风管道后横截面结构示意图。

图7为探针的纵剖面结构示意图。

图8为弹片的立体结构示意图。

图中：1、布线基板 2、支撑板 3、探针 4、连接柱 5、插槽 6、连接扣件 7、接线柱 8、通孔 9、压风管道 10、横向管道 11、气体喷嘴 12、探针外壳 13、探针头 14、弹片 15、扣件挡板。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施例进一步的说明。

实施例1

如附图1-6所示，一种多功能自清洁探针板，包括布线基板1、支撑板2、探针3，所述的探针3安装于布线基板1，所述的布线基板1通过连接柱4固定安装于支撑板2，所述的布线基板1上安装三个插槽5，所述的的插槽5口部两侧设置连接扣件6，所述的插槽5内设置接线柱7，所述的接线柱7通过布线基板1上的电路连接相应位置处的探针3；所述的布线基板1与支撑板2的相应位置处设置通孔8，所述的通孔8内安装压风管道9，所述的压风管道9的出气端连接横向管道10，所述的横向管道10上设置气体喷嘴11，所述的气体喷嘴11相对探针3的底部端头位置处设置。

所述的插槽5两端设置扣件挡板15。

本实用新型在使用时：一种多功能自清洁探针板，包括布线基板、支撑板、探针，布线基板通过连接柱固定于支撑板上，布线基板上安装三个插槽，每个插槽的内部均设置有多个接线柱，接线柱通过布线基板上的电路与探针连接。探针上端安装于布线基板上，下端穿过支撑板并且固定于支撑板上。布线基板和支撑板中部区域的相对位置处设置通孔，压风管道通过通孔并固定于支撑板上，压风管道的进气端连接压风机，由压风机提供干燥、高压的压风，压风管道的出气端口上连接一个和支撑板平行的横向管道，横向管道上安装多个气体喷嘴，且每个气体喷嘴均对准探针的探针头，由气体喷嘴喷出的压风对探针进行清洁。

实施例2

如附图1-8所示，一种多功能自清洁探针板，包括布线基板1、支撑板2、探针3，所述的探针3安装于布线基板1，所述的布线基板1通过连接柱4固定安装于支撑板2，所述的布线基板1上安装三个插槽5，所述的的插槽5口部两侧设置连接扣件6，所述的插槽5内设置接线柱7，所述的接线柱7通过布线基板1上的电路连接相应位置处的探针3；所述的布线基板1与支撑板2的相应位置处设置通孔8，所述的通孔8内安装压风管道9，所述的压风管道9的出气端连接横向管道10，所述的横向管道10上设置气体喷嘴11，所述的气体喷嘴11相对探针3的底部端头位置处设置。

所述的探针3包括探针外壳12、探针头13，所述的探针外壳12为铜质外壳，所述的探针外壳12的一端设置探针头13，所述的探针头13位于探针外壳12内部的一端通过弹片14连接于探针外壳12的另一端。

所述的探针外壳12和探针头13均为圆柱形结构，且所述的探针头13的外径等于探针外壳12的内径。

所述的弹片14为锡青铜材质。

所述的探针3每六个设置为一组，且每组探针3分为前后两排，每排设置为三个。

所述每组探针3处均设置一个气体喷嘴11，所述的气体喷嘴11与水平面夹角为25°。

所述的插槽5两端设置扣件挡板15。

本实用新型在使用时：一种多功能自清洁探针板，包括布线基板、支撑板、探针，布线基板通过连接柱固定于支撑板上，布线基板上安装三个插槽，每个插槽的内部均设置有多个接线柱，接线柱通过布线基板上的电路与探针连接。在布线基板与支撑板之间设置多组探针，探针每六个设置为一组，且每组探针分为前后两排，每排设置为三个；探针包括有一个探针外壳和探针头，探针外壳固定安装于布线基板与支撑板之间，为了使探针头具有一定的伸缩功能，在探针头的上端设置弹片，同时为了保证探针头处的密封性，将探针头的外径设置为等于探针外壳的内径。布线基板和支撑板中部区域的相对位置处设置通孔，压风管道通过通孔并固定于支撑板上，压风管道的进气端连接压风机，由压风机提供干燥、高压的压风，压风管道的出气端口上连接一个和支撑板平行的横向管道，横向管道上安装多个气体喷嘴，且每个气体喷嘴均对准探针的探针头，由气体喷嘴喷出的压风对探针进行清洁，为了更好地达到对探针的清洁效果，将气体喷嘴设置为与水平面呈25°的倾斜状态。

总体上，本实用新型具有与测试元件接触良好、测试效率高、自清洁效果好的优点。