校准装置和包括该校准装置的气体组分分析设备的制作方法

本发明涉及校准装置和包括该校准装置的气体组分分析设备，并且更具体地，涉及能够简单且快速地执行用于提高气体组分分析设备的测量值的准确性和可靠性的校准工作的校准装置和包括该校准装置的气体组分分析设备。

背景技术：

校准表示将关于气体组分分析设备的输入的输出信号的绝对值与标准信号进行匹配的量化处理。

通过使用气体传感器来测量气体的浓度或组分的气体组分分析设备被配置为通过气体传感器来测量气体的浓度或组分。

气体传感器是诸如化学电阻式传感器这样的通过使用化学方法来测量气体的浓度或组分的元件。由于在传感器制造期间产生的灵敏度偏差，所以在使用气体组分分析设备分析组分之前，需要对设置在气体组分分析设备中的气体传感器进行校准工作。通过该校准工作，可以校正气体传感器的测量值，以提高测量值的准确性和可靠性。

一般地，执行校准工作，使得可以制备具有不同浓度的多种标准气体，并且将标准气体依次注入到气体组分分析设备中，以测量信号并将所测量的信号与标准值进行对比，如图1所示。

例如，针对每种浓度的标准气体，重复执行上述处理，通过这种方式，存储所测量的信号，由工作人员计算关于输入信号的输出信号以产生校准式，并且基于所产生的校准式来校准气体组分分析设备。

具体地，可以将浓度为x1的校准气体注入到气体组分分析设备中以获取从气体传感器输出的输出信号y1，可以将浓度为x2的校准气体注入到气体组分分析设备中以获取从气体传感器输出的输出信号y2，可以将浓度为x3的校准气体注入到气体组分分析设备中以获取从气体传感器输出的输出信号y3，可以将浓度为x4的校准气体注入到气体组分分析设备中以获取从气体传感器输出的输出信号y4，可以将浓度为x5的校准气体注入到气体组分分析设备中以获取从气体传感器输出的输出信号y5。

通过上述处理，可以获取将x和y匹配使得“x1->y1”、“x2->y2”、“x3->y3”、“x4->y4”、“x5->y5”的校准数据，并且通过该校准数据，可以产生诸如下面的数学式这样的校准式。

<数学式1>

y＝ax³+bx²+cx+d

然而，由于通过将具有不同浓度的多种标准气体重复地注入到气体组分分析设备中来获取测量信号的处理是由工作人员手动执行的，所以校准工作不方便、需要很长时间，并且难以执行准确的校准。

[现有技术文件]

韩国注册专利第10-0983827号(注册日期：2010年9月16日)

技术实现要素：

技术问题

本发明提供能够简单且快速地执行用于提高气体组分分析设备的测量值的准确性和可靠性的校准工作的校准装置和包括该校准装置的气体组分分析设备。

技术方案

根据本发明的实施方式，校准装置通过由检测器检测样气的组分来校准用于分析的气体组分分析装置，所述样气的组分通过像气相色谱柱一样的分离单元而被分离为单一组分。这里，分离单元连接至向其提供气体的供应管，并且通过调整具有一种浓度的校准气体的体积比来被调整为具有彼此不同浓度的多种校准气体通过供应管而被依次提供给分离单元。

理想地，该校准装置可以包括：一侧连接部，所述一侧连接部选择性地连接至所述供应管的一个点；另一侧连接部，所述另一侧连接部选择性地连接至所述供应管的另一个点；以及校准线部，所述校准线部包括按照彼此不同的路径将所述一侧连接部并联连接至所述另一侧连接部的多个连接管。这里，所述多个连接管具有彼此不同的体积。

理想地，所述一侧连接部可以包括设置在所述供应管上的一侧阀和通过所述一侧阀而与所述供应管选择性连通的输入管，并且所述另一侧连接部可以包括设置在所述供应管上的另一侧阀和通过所述另一侧阀而与所述供应管选择性连通的输出管。

理想地，所述校准线部可以包括串联布置在所述输入管上的多个输入侧校准阀和串联布置在所述输出管上的多个输出侧校准阀，并且所述多个连接管可以将所述多个输入侧校准阀彼此一对一地连接至所述多个输出侧校准阀。

理想地，该校准装置还可以包括控制单元，所述控制单元控制所述一侧阀、所述另一侧阀、所述输入侧校准阀和所述输出侧校准阀。这里，所述一侧阀、所述另一侧阀、所述输入侧校准阀和所述输出侧校准阀可以是电磁阀。

理想地，所述控制单元可以通过在将气体经由控制所述一侧阀和所述另一侧阀引入到所述校准线部中的状态下控制所述输入侧校准阀和所述输出侧校准阀来将校准气体依次填充到所述多个连接管。

理想地，该校准装置还可以包括排气管，所述排气管将所述一侧连接部的端部连接至所述另一侧连接部的端部。这里，所述控制单元可以通过所述输入管、所述排气管和所述输出管来循环空气，以在完全填充用于校准所述多个连接管的气体的状态下排出和去除除了所述多个连接管中的气体之外的气体。

理想地，所述控制单元可以通过将所述多个连接管中的气体依次传送给检测器来执行检测，以获取校准数据。

理想地，所述校准线部可以包括：一个输入端口，所述输入端口与所述输入管和具有选择性地连接至所述输入端口的多个输出端口的输入侧多向选择阀连通；一个输出端口，所述输出端口与所述输出管和具有选择性地连接至所述输出端口的多个输入端口的输出侧多向选择阀连通。这里，所述多个连接管可以将所述输入侧多向选择阀的所述多个输出端口彼此一对一地连接至所述输出侧多向选择阀的所述多个输入端口。

理想地，所述多个连接管当中的具有最大体积的连接管可以具有与设置在所述气体组分分析设备中的取样环的体积相同的体积。

理想地，所述多个连接管当中的具有最大体积的连接管可以具有比设置在所述气体组分分析设备中的取样环的体积大的体积。

根据本发明的另一实施方式，气体组分分析设备包括整体嵌入或可拆卸地设置在其中的上述校准装置。

有益效果

如上所述，本发明具有以下优点：可以简单且快速地执行用于提高气体组分分析设备的测量值的准确性和可靠性的校准工作。

而且，由于排出和去除除了在通过控制控制单元来进行校准处理之前填充校准气体的多个连接管之外的部分中的气体，所以可以增大校准的精确度。

而且，由于适当地调整了具有最大体积的连接管与取样环之间的体积比，所以可以选择性地调整可以通过使用校准气体来校准的浓度范围。例如，虽然在现有技术中无法校准比所使用的校准气体的浓度范围大的范围，但是根据本发明可以校准比所使用的浓度大的浓度。

附图说明

图1是传统气体组分分析设备的配置图。

图2是示出用于校准气体组分分析设备的校准式的曲线图。

图3是例示根据本发明的实施方式的包括校准装置的气体组分分析设备的配置的配置图。

图4至图9是例示根据本发明的实施方式的将校准气体填充到校准装置中的处理的视图。

图10至图14是例示根据本发明的实施方式的通过校准装置来测量用于校准的信号的处理的视图。

图15是例示根据本发明的另一实施方式的包括校准装置的气体组分分析设备的配置的配置图。

图16是示出根据本发明的实施方式的通过使用包括校准装置的气体组分分析设备而获得的校准式的曲线图。

具体实施方式

在不脱离本发明的范围、技术构思和基本特征的情况下，可以以不同的形式来具体实现本发明。优选的实施方式应仅被认为具有描述性意义，而不是为了限制的目的。

将要理解的是，尽管本文使用了第一和第二的术语来描述各种元件，但是这些元件不应受这些术语的限制。

这些术语仅用于将一个组件与其它组件区分开。例如，在一个实施方式中被称为第一元件的第一元件在另一个实施方式中可以被称为第二元件。

词语“和/或”意指可以是相关构成元件中的一个或更多个或组合。

还将理解的是，当元件被称为“连接至”或“啮合”另一元件时，其可以直接连接至另一元件，或者也可以存在中间元件。

还将理解的是，当元件被称为“直接连接至”另一元件时，不存在中间元件。

在下面的描述中，技术术语仅用于说明具体示例性实施方式，而不用于限制本发明。除非相反提及，否则单数形式的术语可以包括复数形式。

“包含”或“包括”的含义在说明书中指定了性质、数量、步骤、处理、元件、组件或其组合，但是不排除其它性质、数量、步骤、处理、元件、组件或其组合。

除非本公开中使用的术语被不同地定义，否则这些术语可以被解释为本领域技术人员已知的含义。

诸如通常使用和词典中已经存在的术语这样的术语应被解释为具有与本领域中的上下文含义相匹配的含义。在本说明书中，除非明确定义，否则术语不能被理想地、过度地解释为正式含义。

以下，参照附图来描述本说明书中公开的实施方式，并且不管附图标记如何，相同或相应的组件应被给予相同的图号，并且将省略其重复描述。

此外，将排除与公知功能或配置有关的详细描述，以免不必要地使本发明的主题模糊不清。

如图1所示，气体组分分析设备包括过滤器10、取样环(samplingloop)20、像气相色谱柱一样的分离单元30、气体传感器40、泵50、第一电磁阀v1、第二电磁阀v2、第三电磁阀v3、第一管线l1、第二管线l2、第三管线l3、第四管线l4、第五管线l5、第六管线l6和第七管线l7。

过滤器10被填充有诸如硅胶和活性炭这样的吸附极性分子和非极性分子的材料，以过滤作为外部气体的载体的空气。

取样环20由难以吸附气体的材料(例如，特氟龙)制成，并且具有相对于直径足够长的长度的结构。

取样环20在收集气体的同时依次排出预先存在于其中的气体，并且在测量气体的同时将所收集的气体依次提供给分离单元30和气体传感器40。

取样环20允许以准确的体积来收集针对测量而收集的气体。在鉴于泵50的抽吸速度而计算的收集时间内，气体被移动到具有预定体积的取样环20，并且通过根据确定时间关闭的电磁阀的操作来阻止超过计划体积的气体，使得仅准确体积的气体被保留在取样环20中。

分离单元30可以被称为气相色谱柱。分离单元30用于将混合气体中的各种组分分别分离成用于色谱分析的每种单一组分。

气体传感器40是依次测量通过经过分离单元30而分离的气体的组分的传感器。

泵50用于允许气体或空气循环并流过管线。

此外，针对气体或空气的流动，设置了第一管线l1、第二管线l2、第三管线l3、第四管线l4、第五管线l5、第六管线l6和第七管线l7。

而且，为了控制气体或空气的流动方向，设置了第一电磁阀v1、第二电磁阀v2和第三电磁阀v3。

由于上述气体组分分析设备的详细配置和操作与传统气体组分分析设备的相同或相似，因此将省略详细描述。以下，将详细描述校准装置100。

根据本发明实施方式的校准装置100被整体内置或可拆卸地设置在气体组分分析设备中，并且更具体地，连接至用于向分离单元30提供用于校准的气体(以下，被称为“校准气体”)的供应管。

供应管可以是与包括向分离单元30提供校准气体的第三管线l3、第四管线l4和第五管线l5的管当中的与任何一个位置对应的管，或者可以是直接或间接连接至分离单元30以提供校准气体的管。

如图3所示，校准装置100被配置为通过供应管来依次将具有彼此不同浓度的多种校准气体提供给分离单元30。由于校准装置100可以依次提供多种校准气体，所以可以获取用于校准气体传感器40的校准数据。

具体地，校准装置100包括：选择性地连接至供应管的一个点的一侧连接部v100和l100；选择性地连接至供应管的另一点的另一侧连接部v200和l300；以及包括在彼此不同的路径中将所述一侧连接部v100和l100并联连接至另一侧连接部v200和l300的多个连接管110至150的校准线部110至150、110v1至150v1和110v2至150v2。这里，多个连接管110至150具有彼此不同的体积。此外，控制单元60被设置为通过所述一侧连接部v100和l100、另一侧连接部v200和l300以及校准线部110至150、110v1至150v1和110v2至150v2来控制校准气体或空气的流动。

首先，将描述所述一侧连接部v100和l100。

所述一侧连接部v100和l100可以包括设置在供应管上的一侧阀v100以及通过所述一侧阀v100来选择性地与供应管连通的输入管l100。

例如，如图3所示，所述一侧阀v100可以包括连接第三管线l3的后端、取样环20的前端和输入管l100中的每一个的三通电磁阀。

所述一侧阀v100选择性地执行开-关操作，使得通过第三管线l3提供的校准气体和空气被提供给取样环20或输入管l100。

之后，将描述另一侧连接部v200和l300。

另一侧连接部v200和l300可以包括设置在供应管上的另一侧阀v200和通过另一侧阀v200来选择性地与供应管连通的输出管l300。

例如，如图3所示，另一侧阀v200可以包括连接取样环20的后端、第四管线l4和输出管l300中的每一个的三通电磁阀。

另一侧阀v200选择性地执行开-关操作，使得通过取样环20或输出管l300的后端提供的校准气体和空气被提供给第四管线l4。

之后，将描述校准线部110至150、110v1至150v1和110v2至150v2。

校准线部110至150、110v1至150v1和110v2至150v2包括：串联布置在输入管l100上的多个输入侧校准阀110v1至150v1；串联布置在输出管l300上的多个输出侧校准阀110v2至150v2；以及将多个输入侧校准阀110v1至150v1彼此并联地一对一连接至多个输出侧校准阀110v2至150v2的多个连接管110至150。

例如，如图3所示，多个输入侧校准阀110v1至150v1可以包括串联布置在输入管l100上的三通电磁阀，并且该三通电磁阀可以具有分别通过多个连接管110至150来连接至多个输出侧校准阀110v2至150v2的三个端口当中的一个端口。

而且，多个输出侧校准阀110v2至150v2可以包括串联布置在输出管l300上的三通电磁阀，并且该三通电磁阀可以具有分别通过多个连接管110至150来连接至多个输入侧校准阀110v1至150v1的三个端口当中的一个端口。

此外，将多个输入侧校准阀110v1至150v1彼此并联地一对一连接至多个输出侧校准阀110v2至150v2的多个连接管110至150可以具有彼此不同的体积。例如，由于具有相同直径的管具有彼此不同的长度，所以多个连接管可以具有彼此不同的体积。

当标准体积是v时，多个连接管中的每一个均可以具有以下比例。

第一连接管110：1/16×v

第二连接管120：1/8×v

第三连接管130：1/4×v

第四连接管140：1/2×v

第五连接管150：1×v

如上所述，连接管110至150各自均具有彼此不同的体积，以通过使用具有单一浓度的校准气体来生成具有多个浓度的校准气体。具体地，根据每个体积分数注入的每种校准气体的浓度被生成为预期浓度。

例如，当取样环20具有体积v并且通过使用与体积v对应的量来执行测量时，使用具有1000ppb的浓度的校准气体，并且第五连接管150具有与取样环20的体积相同的体积v，第五连接管150生成具有1000ppb的浓度的校准气体，第四连接管140生成具有500ppb(1000ppb的一半)的浓度的校准气体，第三连接管130生成具有250ppb(1000ppb的四分之一)的浓度的校准气体，第二连接管120生成具有125ppb(1000ppb的八分之一)的浓度的校准气体，并且第一连接管110生成具有62.5ppb(1000ppb的十六分之一)的浓度的校准气体。因此，如在图16a中，可以计算对应于1000ppb范围内的校准式。

然而，在现有技术中，一般基于每种校准气体的浓度的稀释率而不是所使用的校准气体的恒定体积来制备具有各种浓度的校准气体，但是在本发明中，尽管校准气体的稀释率彼此相同，但是由于调整了所使用的校准气体的体积，结果，可以实现各自均具有不同浓度的校准气体，以获得与现有技术中使用稀释的校准气体时相同的结果。

此外，当取样环20具有体积v并且通过使用与体积v对应的量来执行测量时，使用具有1000ppb的浓度的校准气体，并且第五连接管150具有为采样环20的体积的两倍的2×v的体积，第五连接管150生成具有2000ppb的浓度的校准气体，第四连接管140生成具有1000ppb(2000ppb的一半)的浓度的校准气体，第三连接管130生成具有500ppb(2000ppb的四分之一)的浓度的校准气体，第二连接管120生成具有250ppb(2000ppb的八分之一)的浓度的校准气体，并且第一连接管110生成具有125ppb(2000ppb的十六分之一)的浓度的校准气体。因此，如在图16b中，可以计算对应于2000ppb范围内的校准式，并且该校准式具有比上述校准式的范围宽两倍的范围。

鉴于以上描述，可以通过使用具有低浓度的校准气体来计算与宽范围对应的校准式。例如，当取样环20具有体积v并且通过使用与体积v对应的量、具有500ppb的浓度的校准气体来执行测量时，并且当第五连接管150具有2×v的体积、通过使用与体积v对应的量、具有500ppb的浓度的校准气体来执行测量并且第五连接管150具有为取样环20的体积的两倍的2×v的体积时，可以通过使用具有低浓度的校准气体来计算与图16a的范围相同的范围内的校准式。

鉴于连接管的直径和校准气体的浓度，取样环20与第五连接管150之间的体积比可以是1：0.1至1：10，理想地，1：1至1：3。

此外，连接管110至150可以被理想地配置为依次排出校准气体，使得首先排出首先引入的校准气体。为此，与连接管的总长度相比，连接管110至150可以具有足够小的直径。例如，连接管110至150中的每一个可以具有等于或小于10mm的直径，并且可以具有为其直径的十倍或更大的长度。

如上所述，当连接管110至150被配置为以首先排出首先引入的校准气体的方法依次排出校准气体时，多个连接管110至150的体积可以由各种形状形成，使得具有相同长度的管被形成为具有彼此不同的直径，或者与管具有不同体积的扩张部可以被形成在具有相同长度和相同直径的管的中间。

此外，多个连接管110至150的体积可以由各种形状形成，使得具有相同长度的管被形成为具有彼此不同的直径，或者与管具有不同体积的扩张部可以被形成在具有相同长度和相同直径的管的中间。

此外，还可以设置连接形成一侧连接部v100和l100的输入管l100的端部和形成另一侧连接部v200和l300的输出管l300的端部的排气管l200。具体地，排气管l200可以迂回以连接至第五输入侧校准阀150v1和第五输出侧校准阀150v2。

此外，根据另一实施方式，如图15所示，校准线部可以包括：具有与输入管l100连通的一个输入端口p1和选择性地连接至输入端口p1的多个输出端口p2的输入侧多向选择阀100v1；具有与输出管l300连通的一个输出端口p3和选择性地连接至输出端口p3的多个输入端口p4的输出侧多向选择阀100v2；以及将输入侧多向选择阀100v1的多个输出端口p2彼此并联地一对一连接至输出侧多向选择阀100v2的多个输入端口p4的多个连接管110'至150'。

输入侧多向选择阀100v1可以选择性地打开多个输出端口p2当中的一个输出端口p2，输出侧多向选择阀100v2可以选择性地打开多个输入端口p4当中的一个输入端口p4。

将一起描述校准线部的详细操作和稍后将描述的控制单元60的控制操作。

之后，将描述控制单元60。

控制单元60用于通过上述一侧连接部v100和l100、另一侧连接部v200和l300以及校准线部110至150、110v1至150v1和110v2至150v2来控制气体或空气的流动，具体地，控制一侧阀v100、另一侧阀v200、输入侧校准阀110v1至150v1和输出侧校准阀110v2至150v2中的每一个的流动方向。

首先，控制单元60通过在能够经由控制所述一侧阀v100和另一侧阀v200来将气体引入到校准线部110至150、110v1至150v1以及110v2至150v2中的状态下通过控制输入侧校准阀110v1至150v1和输出侧校准阀110v2至150v2而控制将用于依次校准的校准气体填充至多个连接管110至150。

具体地，控制所述一侧阀v100和另一侧阀v200中的每一个的流动方向，使得第三管线l3与输入管l100连通，并且输出管l300连接至第四管线l4，以允许气体被引入到校准线部110至150、110v1至150v1以及110v2至150v2。

在上述状态下，如图4所示，当校准气体通过控制输入侧校准阀110v1和输出侧校准阀110v2通过第一连接管110彼此连通而流过第一连接管110时，校准气体被填充在第一连接管110中。

之后，如图5所示，当第二输入侧校准阀120v1通过第一输入侧校准阀110v1连接、第二输出侧校准阀120v2通过第一输出侧校准阀110v2连接并且第二输入侧校准阀120v1和第二输出侧校准阀120v2通过第二连接管120彼此连通时，校准气体流过第二连接管120，以将校准气体填充到第二连接管120中。

之后，如图6所示，当第三输入侧校准阀130v1通过第一输入侧校准阀110v1和第二输入侧校准阀120v1连接、第三输出侧校准阀130v2通过第一输出侧校准阀110v2和第二输出侧校准阀120v2连接并且第三输入侧校准阀130v1和第三输出侧校准阀130v2通过第三连接管130彼此连通时，校准气体流过第三连接管130，以将校准气体填充到第三连接管130中。

之后，如图7所示，当第四输入侧校准阀140v1通过第一输入侧校准阀110v1、第二输入侧校准阀120v1和第三输入侧校准阀130v1连接，第四输出侧校准阀140v2通过第一输出侧校准阀110v2、第二输出侧校准阀120v2和第三输出侧校准阀130v2连接并且第四输入侧校准阀140v1和第四输出侧校准阀140v2通过第四连接管140彼此连通时，校准气体流过第四连接管140，以将校准气体填充到第四连接管140中。

之后，如图8所示，当第五输入侧校准阀150v1通过第一输入侧校准阀110v1、第二输入侧校准阀120v1、第三输入侧校准阀130v1和第四输入侧校准阀140v1连接，第五输出侧校准阀150v2通过第一输出侧校准阀110v2、第二输出侧校准阀120v2、第三输出侧校准阀130v2和第四输出侧校准阀140v2连接并且第五输入侧校准阀150v1和第五输出侧校准阀150v2通过第五连接管150彼此连通时，校准气体流过第五连接管150，以将校准气体填充到第五连接管150中。

当完成上述处理时，第一连接管110、第二连接管120、第三连接管130、第四连接管140和第五连接管150被填充有校准气体。

在上述状态下，如图9所示，空气被控制为通过第一输入侧校准阀110v1、第二输入侧校准阀120v1、第三输入侧校准阀130v1、第四输入侧校准阀140v1和第五输入侧校准阀150v1以及第一输出侧校准阀110v2、第二输出侧校准阀120v2、第三输出侧校准阀130v2、第四输出侧校准阀140v2和第五输出侧校准阀150v2来循环到排气管l200，可以排出除了第一连接管110、第二连接管120、第三连接管130、第四连接管140和第五连接管150中的校准气体之外的校准气体。

当完成上述处理时，校准气体仅被填充在第一连接管110、第二连接管120、第三连接管130、第四连接管140和第五连接管150中。

在上述状态下，如图10所示，当第一输入侧校准阀110v1和第一输出侧校准阀110v2被控制为通过第一连接管110彼此连通时，空气可以被提供给第一连接管110，因此，可以使用第一连接管110中的校准气体来进行测量。通过使用第一连接管110中的校准气体所测量的值被发送给控制单元60并被保存为y1。

之后，如图11所示，当校准装置被控制为使得第二输入侧校准阀120v1通过第一输入侧校准阀110v1连接，第二输出侧校准阀120v2通过第一输出侧校准阀110v2连接并且第二输入侧校准阀120v1和第二输出侧校准阀120v2通过第二连接管120彼此连通时，空气可以被提供给第二连接管120，因此，可以使用第二连接管120中的校准气体来进行测量。通过使用第二连接管120中的校准气体所测量的值被发送给控制单元60并被保存为y2。

之后，如图12所示，当校准装置被控制为使得第三输入侧校准阀130v1通过第一输入侧校准阀110v1和第二输入侧校准阀120v1连接，第三输出侧校准阀130v2通过第一输出侧校准阀110v2和第二输出侧校准阀120v2连接并且第三输入侧校准阀130v1和第三输出侧校准阀130v2通过第三连接管130彼此连通时，空气可以被提供给第三连接管130，因此，可以使用第三连接管130中的校准气体来进行测量。通过使用第三连接管130中的校准气体所测量的值被发送给控制单元60并被保存为y3。

之后，如图13所示，当校准装置被控制为使得第四输入侧校准阀140v1通过第一输入侧校准阀110v1、第二输入侧校准阀120v1和第三输入侧校准阀130v1连接，第四输出侧校准阀140v2通过第一输出侧校准阀110v2、第二输出侧校准阀120v2和第三输出侧校准阀130v2来连接并且第四输入侧校准阀140v1和第四输出侧校准阀140v2通过第四连接管140彼此连通时，空气可以被提供给第四连接管140，因此，可以使用第四连接管140中的校准气体来进行测量。通过使用第四连接管140中的校准气体所测量的值被发送给控制单元60并被保存为y4。

之后，如图14所示，当校准装置被控制为使得第五输入侧校准阀150v1通过第一输入侧校准阀110v1、第二输入侧校准阀120v1、第三输入侧校准阀130v1和第四输入侧校准阀140v1连接，第五输出侧校准阀150v2通过第一输出侧校准阀110v2、第二输出侧校准阀120v2、第三输出侧校准阀130v2和第四输出侧校准阀140v2连接并且第五输入侧校准阀150v1和第五输出侧校准阀150v2通过第五连接管150彼此连通时，空气可以被提供给第五连接管150，因此可以使用第五连接管150中的校准气体来进行测量。通过使用第五连接管150中的校准气体所测量的值被发送给控制单元60并被保存为y5。

当完成上述处理时，填充在第一连接管110、第二连接管120、第三连接管130、第四连接管140和第五连接管150中的具有彼此不同浓度的校准气体被依次传送给检测器，以执行检测来获取与五次检测对应的包括y1、y2、y3、y4和y5的五种校准数据，如图16所示。

此外，当设置了输入侧多向选择阀(图15中的100v1)和输出侧多向选择阀(图15中的100v2)时，可以按照诸如以下这样的方式来获取与五次检测对应的五种校准数据：将校准气体依次填充在第一连接管110'、第二连接管120'、第三连接管130'、第四连接管140'和第五连接管150'中，然后依次传送第一连接管110'、第二连接管120'、第三连接管130'、第四连接管140'和第五连接管150'中的校准气体。

此外，尽管示例性地描述了使用五个连接管110至150和110'至150'的情况，但是可以根据校准数据的期望数量来增大连接管的数量。

如上所述，通过使用经由五次检测获取的五种校准数据来校准气体组分分析设备的处理例如可以包括将五种校准数据存储在气体组分分析设备中所设置的存储器中，通过设置在气体组分分析设备中的控制单元来计算存储在存储器中的数据以产生校准式，映射所产生的校准式以通过设置在气体组分分析设备中的控制单元来生成新固件，并且更新新生成的固件以进行更新。

如上所述，可以通过控制单元60来执行使用经由五次检测获取的五种校准数据来校准气体组分分析设备的处理。

虽然已经根据示例性实施方式并参照附图具体示出和描述了本发明，但是本领域普通技术人员将理解，可以在不脱离由所附权利要求所限定的本发明的精神和范围的情况下对其进行各种形式和细节上的改变。