技术总结
本发明公开了一种用于自由面形子孔径拼接测量的方法和系统，能够避免长时间子孔径面形测量时环境温度的漂移，减小测量误差，提高测量的精确度。该系统中，移动平台在上位机的控制下沿着一个或者多个方向带动待测自由面形反射镜移动至多个位置；子孔径面形测量干涉仪根据相干光之间因待测自由面形反射镜镜面导致的光程差来获取每一位置的子孔径面形数据；角度测量仪包括至少两个测量单元，每个测量单元分别用于测量移动平台在每个位置处第一方向和第二方向上的角度值；所述上位机基于每个位置的角度值对所有子孔径面形数据进行校正，根据校正之后的子孔径面形数据完成整个待测自由面形反射镜镜面的子孔径干涉拼接。 1
技术研发人员：薛俊鹏;王齐明
受保护的技术使用者：四川大学
技术研发日：2018.02.07
技术公布日：2018.06.15