致动传感模块的制作方法

本案关于一种致动传感模块，尤指一种组配于薄型可携式装置应用进行气体监测的致动传感模块。

背景技术：

现代人对于生活周遭的气体品质的要求愈来愈重视，例如一氧化碳、二氧化碳、挥发性有机物(volatileorganiccompound，voc)、pm2.5、一氧化氮、一氧化硫等等气体，环境中这些气体暴露会影响人体健康，严重的甚至危害到生命。因此环境气体品质好坏纷纷引起各国重视，为目前急需要去重视的课题。

如何确认气体品质的好坏，利用一种气体传感器来监测周围环境气体是可行的，若又能即时提供监测信息，警示处在环境中的人，能够即时预防或逃离，避免遭受环境中的气体暴露造成人体健康影响及伤害，利用气体传感器来监测周围环境可说是非常好的应用。

目前气体传感器的感测监测气体是依据环境气流而导送到气体传感器表面做反应监测，若无致动器来导引气体，增加气体流速时，气体移动至气体传感器的时间过长，感测效率不彰；然而若加设致动器组成一致动传感模块，又会因为致动器作动时，因其高速及持续的振动，因而产生热能，这热能将会不断的传递至感测气体传感器周边，如此热能进而导致传感器周遭的待测气体与致动传感模块感测的外围气体有所差异，影响气体传感器的监测结果。此外，当致动传感模块应用于一装置(如可携式电子装置)上结合后，装置内电子元件(如电路板、处理器等)运作后，导致产生装置内一些气体污染、热源等干扰物质，这些干扰物质导入致动传感模块内与待测气体混合皆会影响到气体传感器的监测品质，无法测量到致动传感模块的外围待测气体真正特性与成份，造成测量结果产生误差。

有鉴于此，要如何提升感测效率的同时，又要达到致动传感模块真正监测到所需待测气体，降低其他外在因素对于气体传感器气体传感器所造成的影响，实为目前迫切需要解决的问题

技术实现要素：

本案的主要目的是提供一种致动传感模块，可组配于薄型可携式装置应用进行气体监测，致动传感模块包含一主体、一致动器及一气体传感器，致动器的设置不仅加快气体导送到气体传感器的表面进行监测，提升气体传感器感测效率，且主体具备有单向开口监测腔室，以提供一单向气体导入导出的监测，共振片再透过致动器致动导送气体，达到致动传感模块真正导入薄型可携式装置外气体进行监测，这致动传感模块内所需监测气体特性等同于薄型可携式装置外的气体特性。

本案的一广义实施态样为一种致动传感模块，包含：一主体，由多个隔腔结合组成，该多个隔腔包括:一第一隔腔，内部由一第一隔板区隔出一第一隔室及一第二隔室，且设有一第一进气口，连通该第一隔室，设有一第一出气口，连通该第二隔室，以及该第一隔板具有一第一连通口，以连通该第一隔室及该第二隔室；一第二隔腔，供与第一隔腔结合成一体，内部由一承载隔板隔出一第三隔室及一第四隔室，且设有一第二进气口，连通该第三隔室，设有一第二出气口，连通该第四隔室，以及该承载隔板具有一第二连通口，以连通该第三隔室及该第四隔室；一微粒监测基座，设置于该第二隔腔的该第三隔室、该承载隔板之间，具有一监测通道，且该监测通道一端具有一承置槽，与该监测通道连通；多个致动器，包括:一第一致动器，设置于该第二隔室及该第一隔板之间，以控制气体由该第一进气口导入该第一隔室，并透过该第一连通口连通而导送于该第二隔室中，再由该第一出气口排出，构成该第一隔室的单一方向气体导送；一第二致动器，设置于该微粒监测基座的该承置槽中，封闭该监测通道的一端，以控制气体由该第二进气口导入该第三隔室再导入该监测通道，并透过该第二连通口连通而导送于该第四隔室中，再由该第二出气口排出，构成该第二隔室的单一方向气体导送；多个传感器，包括：一第一传感器，设置于该第一隔室中，并与该第一致动器保持相互隔离，并对流通于表面的气体进行监测；一第二传感器，设置于该第三隔室中，以对导入该第三隔室中的气体监测；以及一第三传感器，承载于该承载隔板上，并位于该微粒监测基座的该监测通道中，以对导入该监测通道的气体监测。

【附图说明】

图1为本案致动传感模块的第一隔腔剖面示意图。

图2为本案致动传感模块的第二隔腔剖面示意图。

图3为本案致动传感模块应用于薄型可携式装置示意图。

图4为图3的致动传感模块应用于薄型可携式装置的第一隔腔剖面示意图。

图5为图3的致动传感模块应用于薄型可携式装置的第二隔腔剖面示意图。

图6a为本案致动传感模块的第一致动器分解示意图。

图6b为本案致动传感模块的第一致动器另一角度分解示意图。

图7a为本案致动传感模块的第一致动器剖面示意图。

图7b至图7d为本案致动传感模块的第一致动器作动示意图。

图8为本案致动传感模块的第二致动器分解示意图。

图9a为本案致动传感模块的第二致动器组设于微粒监测基座上剖面示意图。

图9b及图9c为本案致动传感模块的第二致动器组设于微粒监测基座上作动示意图。

图10为本案致动传感模块的第一隔腔另一实施例剖面示意图

图11a为本案致动传感模块另一实施例的阀示意图。

图11b为本案致动传感模块另一实施例的阀作动示意图。

图12为本案致动传感模块的第三隔腔另一实施例剖面示意图。

图13为本案致动传感模块的第三隔腔另一实施例应用于薄型可携式装置所对应第四通孔示意图。

图14为本案致动传感模块的第三隔腔另一实施例应用于薄型可携式装置剖面示意图。

【符号说明】

10：薄型可携式装置

10a：第一通孔

10b：第二通孔

10c：第三通孔

10d：第四通孔

1：主体

1a：第一隔腔

11a：第一本体

11b：第二本体

11c：隔板

11d：第一隔室

11e：第二隔室

11f：第一进气口

11g：第一出气口

11h：第一流通口

11i：第一连接穿孔

11j：第二连接穿孔

1b：第二隔腔

12a：第三主体

12b：第四主拟

12c：承载隔板

12d：第三隔室

12e：第四隔室

12f：第二进气口

12g：第二出气口

12h：第二流通口

12i：第三连接穿孔

13j：第四连接穿孔

13k：连接器

2：微粒监测基座

21：监测通道

22：承置槽

31：第一致动器

311：进气板

311a：进气孔

311b：汇流排孔

311c：汇流腔室

312：共振板

312a：中空孔

312b：可动部

312c：固定部

313：压电致动器

313a：悬浮板

3131a：第一表面

3132a：第二表面

313b：外框

3131b：组配表面

3132b：下表面

313c：连接部

313d：压电元件

313e：间隙

313f：凸部

314：绝缘片

315：导电片

316：腔室空间

32：第二致动器

321：喷气孔片

321a：支架

321b：悬浮片

321c：中空孔洞

322：腔体框架

323：致动体

323a：压电载板

323b：调整共振板

323c：压电片

324：绝缘框架

325：导电框架

326：共振腔室

327：气流腔室

41：第一传感器

42：第二传感器

43：第三传感器

5：电路软板

6：阀

61：保持件

62：密封件

63：位移件

g：腔室间距

【具体实施方式】

体现本案特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。

应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上当作说明之用，而非用以限制本案。

本案提供一种致动传感模块，请同时参阅图1至图5，致动传感模块包含一主体1、一微粒监测基座2、多个致动器及多个传感器，请先参阅图3至图5，主体1由多个隔腔结合组成，多个隔腔包括了一第一隔腔1a、一第二隔腔1b，第二隔腔1b与第一隔腔1a结合成一体；多个致动器包含有一第一致动器31及一第二致动器32；多个传感器包含有一第一传感器41、一第二传感器42及第三传感器43。

请继续审阅图1，上述的第一隔腔1a包含有一第一本体11a、一第二本体11b及一第一隔板11c，第一本体11a与第二本体11b相互对接，第一隔板11c设置于第一本体11a与第二本体11b之间，使的第一本体11a与第二本体11b的内部空间利用第一隔板11c定义一第一隔室11d与第二隔室11e，又第一本体11a与第一隔板11c之间具有一第一进气口11f，第一隔室11d与第一进气口11f相通，第二本体11b第一隔板11c之间具有一第一出气口11g，第二隔室11e与第一出气口11g相通，此外，隔板11c具有一连通口11h，以连通第一隔室11d与第二隔室11e，使得主体1的内部由第一进气口11f、第一隔室11d、第一连通口11h、第二隔室11e、第一出气口11g构成一单向导送导出气体的气体通道(如图1箭头所指方向的路径)。第一致动器31封闭设置于第二本体11b与第一隔板11c之间，于本实施例中，第一致动器31位于第二隔室11e与第一隔板11c之间，其一端固设于第二主体11b，另一端固设于第一隔板11c，以封闭第二隔室11e，透过第一致动器31的致动导送气体的运作，得以使第一隔室11d内形成负压，让气体由第一进气口11f导入气体至第一隔室11d中，再通过第一连通口11h进入第二隔室11e中，再透过第一致动器31的致动导送气体的运作，推送第二隔室11e内导入气体由第一出气口11g排出，构成单一方向气体导送；第一传感器41设置于第一隔室11d中，并且与第一致动器31保持相互隔离，第一传感器41将对于流通于其表面的气体进行监测。上述的第一隔板11c让第一传感器41与第一致动器31保持相互隔离，因此当第一致动器31的致动导送气体的运作时，因其高速及持续的振动会产生热源，第一隔板11c就能抑制这些热源去影响第一传感器41的监测。

上述的第一传感器41可为气体传感器，包含一氧气传感器、一一氧化碳传感器、一二氧化碳传感器、一温度传感器、一臭氧传感器及一挥发性有机物传感器的至少其中之一或其组合而成的群组；或，上述的气体传感器可为监测细菌、病毒及微生物的至少其中之一或其任意组合而成的群组的气体传感器。

请继续参阅图1，第一隔腔1a的第一本体11a具有一第一连接穿孔11i，以供一电路软板5穿伸入连接第一传感器41，并连接后封胶封闭第一连接穿孔11i，避免气体导入第一隔室11d；而第二本体11b具有一第二连接穿孔11j，以供电路软板5穿伸入连接第一致动器31，并连接后封胶封闭第二连接穿孔11j，避免气体导入第二隔室11e。借此，致动传感模块构成为一单向开口监测腔室，且能单一方向气体导送监测。

请继续参阅图2，上述的第二隔腔1b包含有一第三本体12a、一第四本体12b及一承载隔板12c，第三本体12a与第四本体12b相互对接，承载隔板12c设置于第三本体12a及第四本体12b之间，使该第三本体12a与承载隔板12c之间构成一第三隔室12d，以及第四本体12b与承载隔板12c之间构成一第四隔室12e，其中，第三本体12a与承载隔板12c之间具有一第二进气口12f，第二进气口12f与第三隔室12d相通，第四本体12b与承载隔板12c之间具有一第二出气口12g，第二出气口12g与第四隔室12e相通，而第二传感器42设置于第三隔室12d内，用以对进入第三隔室12d内的气体进行监测。此外，承载隔板12c具有一第二流通口12h，第三隔室12d与第四隔室12e经由第二流通口12h相通。

上述的第三本体12a具有一第三连接穿孔12i及一第四连接孔12j，第三连接穿孔12i供电路软板5穿深入连接第二传感器42，第四连接穿孔13j供电路软板5穿伸入连接第二致动器32，并于连接后利用封胶封闭第三连接穿孔12i及第四连接穿孔12j，避免气体导入第四隔室12d，促使气体仅能由第二进气口12f导入第四隔室12d，而承载隔板12c具有一外露部分(未标示)延伸穿透至第二隔腔1b外，外露部分上具有一连接器12k，连接器12k供电路软板5穿伸入连接，并且提供承载隔板12c电性连接及信号连接。

前述的微粒监测基座2设置于承载隔板12c上，位于第二隔腔1b的第三隔室12d与承载隔板12c之间，且微粒监测基座2具有一监测通道21，监测通道21的一端具有承置槽22，承置槽22与监测通道21相通，第三传感器43承载于承载隔板12c上，并且位于微粒监测基座2的监测通道21中，以对导入承载通道21内的空气进行检测；其中，承载隔板12c可为一电路板，如此微粒监测基座2及第三传感器43承载于承载隔板12c上能提供电性连接及信号连接。

上述的微粒监测基座2更包含有一激光器23及一光束通道24，激光器23与承载隔板12c电性连接，光束通道24与监测通道21保持垂直且相通，使的激光器23所发射的光束通过光束通道24后照射至监测通道21中，以对监测通道21上通过气体的悬浮微粒受到光束照射后所产生的光点投射至第三传感器43，供第三传感器43监测气体。

上述的第三传感器43可为光传感器，光传感器接收悬浮微粒受到光束照射后所产生的光点，透过这些光点用以计算悬浮微粒的粒径及浓度，本实施例的光传感器为pm2.5传感器。

再请参阅图3至图5，上述致动传感模块可应用组配于一薄型可携式装置10内，薄型可携式装置10具有一第一通孔10a、一第二通孔10b及第三通孔10c，而致动传感模块配于薄型可携式装置10内，其第一隔腔1a的第一进气口11f对应到第一通孔10a，第一出气口11g对应到第二通孔10b，第二隔腔1b的第二进气口12f及第二出气口12g与第三通孔10c对应，如此薄型可携式装置10之外的气体可被导入薄型可携式装置10进行监测，透过第一致动器31的致动运作导送薄型可携式装置10之外的气体经第一隔室11d进入第二隔室11e，得以使第一隔室11d内形成负压，让气体由第一进气口11f导入至第一隔室11d中，再通过第一连通口11h进入第二隔室11e中，再透过第一致动器31的致动推送第二隔室11e内导入气体由第一出气口11g排出，构成一单向气体导送监测，而第二隔腔1b则透过第二致动器32导入气体进入第二隔腔1b内，再利用第二传感器42检测温度、湿度，第三传感器43检测悬浮微粒浓度。本案致动传感模块不仅能隔绝其他干扰因素(内部致动器热源、薄型可携式装置10内所产生一些气体污染、热源等干扰物质)对于多个传感器所造成的影响，再透过多个致动器的设置，以提供气体导入导出，且加快气体导送到多个传感器的表面进行监测，提升多个传感器感测效率，并能达到致动传感模块真正导入薄型可携式装置10外气体进行监测，致动传感模块内所需监测气体特性等同于薄型可携式装置10外的气体特性。

了解上述的致动传感模块的特点说明，以下就第一致动器31及第二致动器32的结构及作动方式作一说明:

请参阅图6a至图7a，上述的第一致动器31为一气体泵，包含有依序堆叠的一进气板311、一共振片312、一压电致动器313、一绝缘片314、一导电片315；进气板311具有至少一进气孔311a、至少一汇流排孔311b及一汇流腔室311c，上述的进气孔311a与汇流排孔311b其数量相同，于本实施例中，进气孔311a与汇流排孔311b以数量4个作举例说明，并不以此为限；4个进气孔311a分别贯通4个汇流排孔311b，且4个汇流排孔311b汇流到汇流腔室311c。

上述的共振板312，可透过贴合方式组接于进气板311上，且共振板312上具有一中空孔312a、一可动部312b及一固定部312c，中空孔312a位于共振板312的中心处，并与进气板311的汇流腔室311c对应，而设置于中空孔312a的周围且与汇流腔室311c相对的区域为可动部312b，而设置于共振板312的外周缘部分而贴固于进气板311上则为固定部312c。

上述的压电致动器313，包含有一悬浮板313a、一外框313b、至少一连接部313c、一压电元件313d、至少一间隙313e及一凸部313f；其中，悬浮板313a为一正方型悬浮板，具有第一表面3131a及相对第一表面3131a的一第二表面3132a，外框313b环绕设置于悬浮板313a的周缘，且外框313b具有一组配表面3131b及一下表面3132b，并透过至少一连接部313c连接于悬浮板313a与外框313b之间，以提供弹性支撑悬浮板313a的支撑力，其中，间隙313e为悬浮板313a、外框313b与连接部313c之间的空隙，用以供空气通过。

此外，悬浮板313a的第一表面3131a具有凸部313f，凸部313f于本实施例中是将凸部313f的周缘且邻接于连接部313c的连接处透过蚀刻制程，使其下凹，来使悬浮板313a的凸部313f高于第一表面3131a来形成阶梯状结构。

又如图7a所示，本实施例的悬浮板313a采以冲压成形使其向下凹陷，其下陷距离可由至少一连接部313c成形于悬浮板313a与外框313b之间所调整，使在悬浮板313a上的凸部313f的表面与外框313b的组配表面3131b两者形成非共平面，亦即凸部313f的表面将低于外框313b的组配表面3131b，且悬浮板313a的第二表面3132a低于外框313b的下表面3132b，又压电元件313d贴附于悬浮板313a的第二表面3132a，与凸部313f相对设置，压电元件313d被施加驱动电压后由于压电效应而产生形变，进而带动悬浮板313a弯曲振动；利用于外框313b的组配表面3131b上涂布少量粘合剂，以热压方式使压电致动器313贴合于共振板312的固定部312c，进而使得压电致动器313得以与共振板312组配结合。

此外，绝缘片314及导电片315皆为框型的薄型片体，依序堆叠于压电致动器313下。于本实施例中，绝缘片314贴附于压电致动器313之外框313b的下表面3132b。

请继续参阅图7a，第一致动器31的进气板311、共振板312、压电致动器313、绝缘片314、导电片315依序堆叠结合后，其中悬浮板313a的第一表面3131a与共振板312之间形成一腔室间距g，腔室间距g将会影响第一致动器31的传输效果，故维持一固定的腔室间距g对于第一致动器31提供稳定的传输效率是十分重要。本案的第一致动器31是对悬浮板313a使用冲压方式，使其向下凹陷，让悬浮板313a的第一表面3131a与外框313b的组配表面3131b两者为非共平面，亦即悬浮板313a的第一表面3131a将低于外框313b的组配表面3131b，且悬浮板313a的第二表面3132a低于外框313b的下表面3132b，使得压电致动器313的悬浮板313a凹陷形成一空间得与共振板312构成一可调整的腔室间距g，直接透过将上述压电致动器313的悬浮板313a采以成形凹陷构成一腔室空间316的结构改良，如此一来，所需的腔室间距g得以透过调整压电致动器313的悬浮板313a成形凹陷距离来完成，有效地简化了调整腔室间距g的结构设计，同时也达成简化制程，缩短制程时间等优点。

图7b至图7d为图7a所示的第一致动器31的作动示意图，请先参阅图7b，压电致动器313的压电元件313d被施加驱动电压后产生形变带动悬浮板313a向下位移，此时腔室空间316的容积提升，于腔室空间316内形成了负压，便汲取汇流腔室311c内的空气进入腔室空间316内，同时共振片312受到共振原理的影响被同步向下位移，连带增加了汇流腔室311c的容积，且因汇流腔室311c内的空气进入腔室空间316的关系，造成汇流腔室311c内同样为负压状态，进而通过汇流排孔311b、进气口311a来吸取空气进入汇流腔室311c内；请再参阅图7c，压电元件313d带动悬浮板313c向上位移，压缩腔室空间316，迫使腔室空间316内的空气通过间隙313e向下传输，来达到传输空气的效果，同时间，共振板312同样被悬浮板313a因共振而向上位移，同步推挤汇流腔室311c内的空气往腔室空间316移动；最后请参阅图7d，当悬浮板313c被向下带动时，共振板312也同时被带动而向下位移，此时的共振板312将使压缩腔室空间316内的空气向间隙313e移动，并且提升汇流腔室311c内的容积，让空气能够持续地通过进气口311a、汇流排孔311b来汇聚于汇流腔室311c内，透过不断地重复上述步骤，使第一致动器31能够连续将空气自进气口311a进入，再由间隙313e向下传输，达成传输空气至第一传感器41的功效，以提供空气给第一传感器41感测，提升感测效率。

请继续参阅图7a，第一致动器31其另一实施方式可透过微机电的方式使第一致动器31为一微机电系统气体泵，其中，进气板311、共振片312、压电致动器313、绝缘片314、导电片315皆可透过面型微加工技术制成，以缩小第一致动器31的体积。

请参阅图8图8，前述的第二致动器32包含有依序堆叠的喷气孔片321、腔体框架322、致动体323、绝缘框架324及导电框架325；喷气孔片321包含了多个支架321a、一悬浮片321b及一中空孔洞321c，悬浮片321b可弯曲振动，多个支架321a邻接于悬浮片321b的周缘，本实施例中，支架321a其数量为4个，分别邻接于悬浮片321b的4个角落，但不此以为限，而中空孔洞321c形成于悬浮片321b的中心位置；腔体框架322承载叠置于悬浮片321b上，致动体323承载叠置于腔体框架322上，并包含了一压电载板323a、一调整共振板323b、一压电片323c，其中，压电载板323a承载叠置于腔体框架322上，调整共振板323b承载叠置于压电载板323a上，压电板323c承载叠置于调整共振板323b上，供施加电压后发生形变以带动压电载板323a及调整共振板323b进行往复式弯曲振动；绝缘框架324则是承载叠置于致动体323的压电载板323a上，导电框架325承载叠置于绝缘框架324上，其中，致动体323、腔体框架322及该悬浮片321b之间形成一共振腔室326，其中，调整共振板323b的厚度大于压电载板323a的厚度，调整共振片323b位于压电片323c与压电载板323a之间，做为两者之间的缓冲物，来调整压电载板323a的振动频率，且调整共振片323b的厚度大于压电载板323a的厚度，可利用不同的调整共振片的厚度来调整第二致动器32的振动频率，使第二致动器32的振动频率控制能与喷气孔片321的振动频率达成共振匹配，而第二致动器32的振动频率在10k至30k赫兹(hz)为最佳。

请参阅图9a至图9c，图9b、图9c为图9a所示的本案的第二致动器32的作动示意图。请先参阅图9a，第二致动器32透过支架321a使第二致动器32设置于微粒监测基座2的承置槽22上方，喷气孔片321与承置槽22的底面间隔设置，并于两者之间形成气流腔室327；请再参阅图9b，当施加电压于致动体323的压电板323c时，压电板323c因压电效应开始产生形变并同部带动调整共振板323b与压电载板323a，此时，喷气孔片321会因亥姆霍兹共振(helmholtzresonance)原理一起被带动，使得致动体323向上移动，由于致动体323向上位移，使得喷气孔片321与承置槽22的底面之间的气流腔室327的容积增加，其内部气压形成负压，于第二致动器32外的空气将因为压力梯度由喷气孔片321的支架321a与承置槽22的侧壁之间的空隙进入气流腔室327并进行集压；最后请参阅图9c，气体不断地进入气流腔室326内，使气流腔室327内的气压形成正压，此时，致动体323受电压驱动向下移动，将压缩气流腔室327的容积，并且推挤气流腔室327内空气，使气体进入气流通道21内，并将气体提供给第三传感器43，以透过第三传感器43检测气体内的悬浮微粒浓度。

请参阅图10，致动传感模块中第一隔腔1a的另一实施例，可更包含有至少一阀6，于本实施例中，阀6的数量为2个，分别设置于进气口11f及出气口11g，且利用阀6开启及关闭进气口11f及出气口11g，特别是检测挥发性有机物时，由于挥发性有机物的沸点较低，容易受外在环境因素影响，所以在检测挥发性有机物时，利用阀6关闭进气口11f与出气口11g，再经由第一本体11a、第二本体11b隔离外在因素对于第一隔腔1a内部的影响，最后由第一隔板11c阻隔该第一致动器31对于第一传感器41的干扰，使得第一传感器41能够不受到环境因素的影响来检测第一隔腔1a内部中空气所具有的挥发性有机物的含量。

请参阅图11a及图11b，阀6为包含一保持件61、一密封件62以及一位移件63。位移件63设置于保持件61及密封件62之间并于两者间位移，保持件61上分别具有多个通孔611，而位移件63对应保持件61上通孔611位置也设通孔631，保持件61的通孔611及位移件63的通孔631，其位置为相互对准，以及密封件62上设有多个通孔621，且密封件62的通孔621与保持件61的通孔611的位置形成错位而不对准。阀6的保持件61、密封件62以及位移件63透过电路软板5连接一处理器(未图示)来控制，以控制位移件63朝保持件61靠近，构成阀6的开启。

前述的阀6的第一实施例态样中，位移件63为一带电荷的材料，保持件61为一两极性的导电材料，保持件61电性连接电路软板5的处理器，用以控制保持件61的极性(正电极性或负电极性)。若位移件63为一带负电荷的材料，当阀6须受控开启时，控制保持件61形成一正电极，此时位移件63与保持件61维持不同极性，如此会使位移件63朝保持件61靠近，构成阀6的开启(如图11b所示)。反之，若位移件63为一带负电荷的材料，当阀6须受控关闭时，控制保持件61形成一负电极，此时位移件63与保持件61维持相同极性，使位移件63朝密封件62靠近，构成阀6的关闭(如图11a所示)。

上述的阀6的第二实施例态样中，位移件63为一带磁性的材料，而保持件61为一可受控变换极性的磁性材料。保持件61电性连接电路软板5的处理器，用以控制保持件61的极性(正极或负极)。若位移件63为一带负极的磁性材料，当阀6须受控开启时，保持件61形成一正极的磁性，此时控制位移件63与保持件61维持不同极性，使位移件63朝保持件61靠近，构成阀6开启(如图11b所示)。反之，若位移件63为一带负极的磁性材料，当阀6须受控关闭时，控制保持件61形成一负极的磁性，此时控制位移件63与保持件61维持相同极性，使位移件63朝密封件62靠近，构成阀6的关闭(如图11a所示)。

请参阅图12，本案致动传感模块的第二隔腔1b的另一实施例，其中，第二进气口12f直接对应监测通道21的位置，如此监测通道21垂直方向位置的通气路径形成最短，尽可能使通气路径上减少气流阻力，使得第二致动器32致动时，空气由第二进气口12f进入后能够直接进入监测通道21内，以形成气体直接对流，提升气体输送的效率。

请参阅图13及图14所示，上述第二隔腔1b的另一实施例的致动传感模块组配于薄型可携式装置10时，薄型可携式装置10更包含一第四通孔10d，其中，薄型可携式装置10的第三通孔10c直接对应于第二隔腔1b的第二出气口12g，第四通孔10d直接对应于第二隔腔1b的第二进气口12f，使气体能够直接对流进出第二隔腔1b，提升气体传输的效果。

综上所述，本案所提供的致动传感模块，利用致动器的悬浮板下凹来使得致动器得以快速、稳定地将气体导入致动传感模块内，提升感测效率，又透过多个隔腔将各传感器相互隔开，于多个传感器同时检测时，能够避免彼此干扰，且也阻隔其他致动器的影响，可以避免当致动传感模块真正导入薄型可携式装置外气体进行监测时，能够不被薄型可携式装置内的处理器或其他元件影响，达到致动传感模块真正导入薄型可携式装置以达到可随时、随地检测的目的。

本案得由熟知此技术的人士任施匠思而为诸般修饰，然皆不脱如附申请专利范围所欲保护者。