技术特征：
技术总结
本发明提供一种气体传感器元件中具备的电极的检查方法。气体传感器元件中具备的电极的检查方法包括如下工序：预先制作表示Au稠化度与规定的替代稠化度指标的关系的校准线的工序，其中，上述Au稠化度根据由以检查对象电极为对象的XPS或AES分析的结果算出的、贵金属粒子表面的Au露出的部分的面积的比率进行定义，上述规定的替代稠化度指标与Au稠化度有相关性且由利用加热器加热到规定温度的气体传感器元件以非破坏方式取得；以将作为检查对象的气体传感器元件加热到上述温度的状态取得该气体传感器元件的检查对象电极的替代稠化度指标的值作为检查值的工序；根据制作的校准线和取得的检查值来判定检查对象电极中的Au稠化度是否满足规定标准的工序。
技术研发人员：冈本拓;中山裕葵;吉田宗一郎
受保护的技术使用者：日本碍子株式会社
技术研发日：2018.06.07
技术公布日：2018.12.18