一种基于旋转照明的表面波成像系统的制作方法

文档序号:16678717发布日期:2019-01-19 00:11阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种基于旋转照明的表面波成像系统,包括:油浸显微物镜(1)、分束镜(2)、成像管镜(3)、像面探测器(4)、物镜后焦面扫描振镜系统(5)、偏振调制器件(6)、偏振分离器件(7)和表面波成像基底(8);表面波如表面等离激元共振或布洛赫表面波,能够被有效约束在基片表面,且对环境变化非常灵敏。利用物镜使激光激发表面波与表面样品相互作用。通过偏振分离器件提高信噪比,通过振镜扫描系统消除了表面波作用于样品后在成像时带来的拖尾。该装置首次利用旋转照明提高了表面波显微成像的信噪比和分辨率,并首次利用多层介质膜光子带隙结构进行表面波显微成像。

技术研发人员:蒯雁;张斗国
受保护的技术使用者:中国科学技术大学
技术研发日:2018.09.17
技术公布日:2019.01.18
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