气体检测装置的制作方法

本公开涉及气体检测装置。

背景技术：

可以在半导体生产线和工业现场中使用各种气体，并且可以操作气体检测装置以防止由于气体泄漏引起的大规模事故。气体检测装置可用来对执行半导体处理的室或连接至该室的气体管或阀中的气体进行检测。替代性地，气体检测装置可用来检测工业现场的气体泄漏。通常，会在现场使用各种类型的气体，因此，对能够检测各种类型的气体的气体检测装置的需求日益增加。

技术实现要素：

本公开的方面提供了一种气体检测装置，该气体检测装置能够同时地检测不同的气体并且允许以下述方式进行的有效维护：即，使对气体进行检测的传感器和确定流入气体检测装置中的空气的流量的泵被模块化以使其能够在不需要附加设备的情况下被简单地更换。

根据本公开的方面，气体检测装置包括：用于吸入空气的泵模块；传感器模块，该传感器模块包括对该空气中所包含的气体进行检测的多个单元传感器；驱动模块，该驱动模块对泵模块和传感器模块进行驱动；以及壳体，该壳体包括主体和盖，泵模块、传感器模块和驱动模块中的至少一者被安装在主体中且安装成能够拆卸，并且盖连接至主体而允许泵模块、传感器模块和驱动模块中的所述至少一者被暴露。

根据本公开的方面，气体检测装置包括：壳体，该壳体包括主体和盖，主体具有第一容置空间和第二容置空间，盖以可旋转的方式连接至主体而允许第一容置空间和第二容置空间被敞开及封闭；泵模块，该泵模块被安装在第一容置空间中并安装成能够以可滑动的方式拆卸及插入，并且泵模块吸入空气；传感器模块，该传感器模块安装在第二容置空间中并安装成能够以可滑动的方式拆卸及插入，并且传感器模块检测空气中所包含的气体；以及驱动模块，该驱动模块设置在第一容置空间和第二容置空间的后部上，并且驱动模块对泵模块和传感器模块进行驱动。

附图说明

通过结合附图进行的以下详细描述，本公开的上述及其他方面、特征和优点将会被更清楚地理解，在附图中：

图1a和图1b是包括有根据示例性实施方式的气体检测装置的处理设备的示意图；

图2是根据示例性实施方式的气体检测装置的示意性框图；

图3至图5是示出了根据示例性实施方式的气体检测装置的外部的立体图；

图6a和图6b是示出了根据示例性实施方式的气体检测装置的视图；

图7是根据示例性实施方式的气体检测装置的分解视图；

图8和图9是示出了根据示例性实施方式的气体检测装置的视图；

图10a至图10c是示出了更换根据示例性实施方式的气体检测装置中的传感器模块的方法的视图；

图11a至图11c是示出了更换根据示例性实施方式的气体检测装置中的泵模块的方法的视图；

图12a和图12b是示出了包括在根据示例性实施方式的气体检测装置中的传感器模块的外部的视图；

图13是示出了包括在根据示例性实施方式的气体检测装置中的传感器模块的分解视图；

图14a和图14b是示出了根据示例性实施方式的传感器模块中的空气流的视图；以及

图15是示出了包括在根据示例性实施方式的气体检测装置中的泵模块的视图。

具体实施方式

在下文中，将参照附图描述本公开内容中的示例性实施方式。

下面描述的本公开的内容可以具有各种构型，并且仅提出了文中所需的构型，但本公开的内容不限于此。

图1a和图1b为包括根据示例性实施方式的气体检测装置的处理设备的示意图。

参照图1a，根据本公开内容中的示例性实施方式的处理设备1a可以包括气体供给源10、阀20、腔30和气体检测装置40a。在示例性实施方式中，腔30可以被提供为半导体处理设备，在该半导体处理设备中执行比如蚀刻处理、沉积处理、光刻或清洁处理的半导体处理。腔30可以连接至输送执行半导体处理的基底的输送路径31和32，并且腔30可以从气体供给源10接收处理所需的气体。

气体供给源10可以包括储存不同的气体的第一气体罐11至第四气体罐14。在图1a中所示的示例性实施方式中是以气体供给源10中包括总共四个气体罐11至14的情况作为示例的；然而，这仅是示例性实施方式。气体供给源10中可以包括更多或更少的数目的气体罐。存储在第一气体罐11至第四气体罐14中的气体可以利用阀20的操作被供给至腔30。

在图1a中所示的示例性实施方式中，气体检测装置40a可以包括第一气体检测装置41a和第二气体检测装置42a。第一气体检测装置41a可以连接至阀20以判断从第一气体罐11至第四气体罐14供给到阀20的气体是否泄漏。同时，第二气体检测装置42a可以连接至腔30以检测腔30中存在的不同气体中的每种气体的浓度，或者判断气体是否从腔30向外泄漏。换言之，在示例性实施方式中，第一气体检测装置41a和第二气体检测装置41b两者可以感测不同气体中的每种气体的泄漏。

与之相比，在图1b中所示的示例性实施方式中，处理设备1b可以包括连接至阀20的第一气体检测装置41b至第四气体检测装置44b，并且第五气体检测装置45b至第八气体检测装置48b可以感测腔30中的气体的泄漏。第一气体检测装置41b至第八气体检测装置48b中的每一者可以感测气体中的仅一种类型的气体。例如，第一气体检测装置41b和第五气体检测装置45b可以感测存储在第一气体罐11中并通过阀20供给至腔30的同一类型的气体。

处理设备1b可能比处理设备1a包括更多数目的气体检测装置，因此，维护和维修可能需要大量的人力、时间和成本。在示例性实施方式中，气体检测装置41a和42a中的每一者可以感测不同类型的气体，因此，可以节省维护和维修所需的人力、时间和成本等。

图2为根据示例性实施方式的气体检测装置的示意性框图。

参照图2，根据示例性实施方式的气体检测装置50可以包括泵模块60、传感器模块70、驱动模块80等。泵模块60可以包括用于吸入要被供给至传感器模块70的空气的泵以及用于测量所引入的空气的量的流量传感器。泵模块60可以连接至设置在气体检测装置50的壳体中的端口并且可以吸入及排出空气。另外，泵模块60可以通过设置在气体检测装置50中的路径向传感器模块70供给空气。为了便于理解，空气的路径和电信号的路径在图2中被分开示出。

传感器模块70可以包括用于检测由泵模块60吸入并供给的空气中所包含的气体的多个单元传感器71至74。在示例性实施方式中，传感器模块70可以包括第一单元传感器71至第四单元传感器74，而单元传感器71至74的数目可以不同地改变。单元传感器71至74中的每一者可以检测一氧化碳、氢气、氨气、磷酸氢盐等。换句话说，单元传感器71至74中的每一者可以检测不同的气体。

驱动模块80可以供应泵模块60和传感器模块70的操作所需的动力，并且驱动模块80可以控制泵模块60和传感器模块70的操作。驱动模块80可以包括控制器81和动力供应单元82等。驱动模块80可以将由传感器模块70检测到的气体的类型和浓度显示在显示器91上，或者可以监测泵模块60和传感器模块70的操作状态以将泵模块60和传感器模块70是否故障显示在显示器91上。同时，用户可以通过输入部分92将用以控制气体检测装置50的操作的命令发送至驱动模块80。

根据示例性实施方式，气体检测装置50可以包括已经被模块化的泵模块60、传感器模块70、驱动模块80等。相比于驱动模块80，需要相对频繁地更换和检查的泵模块60和传感器模块70可以邻近于能够以铰接的方式或以滑动的方式移动的盖设置。用户可以打开气体检测装置50的盖并移除泵模块60和传感器模块70以用于检查，或者可以容易地用新的产品代替泵模块60和传感器模块70。因此，可以支持气体检测装置50的有效维护。

图3至图5为示出了根据示例性实施方式的气体检测装置的外部的立体图。

参照图3，根据示例性实施方式的气体检测装置100可以包括壳体110、显示器150、输入部分160等。吸入及排出空气以检测气体的泵模块、检测吸入的空气中所包含的气体的传感器模块、以及驱动气体检测装置100的驱动模块可以容置在壳体110中。

壳体110可以包括主体111和联接至主体111的盖112。盖112可以设置在壳体110的前表面上。在示例性实施方式中，显示器150和输入部分160可以设置在盖112中。输入部分160可以包括多个机械输入键、或者可以包括设置成与显示器150成一体的触摸屏。盖112可以通过铰接部分113联接至主体111，并且盖112可以通过绕铰接部分113旋转而允许主体111的内部暴露。

参照图4，根据示例性实施方式的气体检测装置100可以包括设置在壳体110的后表面上的固定部分fx。固定部分fx可以包括以预定深度形成在壳体110的后表面中的孔。用户可以将暴露于外的环等安装在设置气体检测装置100的空间或设备的壁上，从而将环插入到固定部分fx中以固定气体检测装置100。

参照图5，根据示例性实施方式的主体111和盖112可以通过连接部分112a联接。连接部分112a可以形成在盖112的一个侧部上以允许主体111连接并联接至盖112并且防止盖112在气体检测装置100的操作期间被打开。

同时，壳体110的底表面上可以设置有多个端口p1至p3。在示例性实施方式中，第一端口p1可以被提供为供空气被引入的入口端口，而第二端口p2可以被提供为供空气被排出的排出端口。引入至第一端口p1的空气可以经过安装在壳体110中的传感器模块从第二端口p2排出。引入至第一端口p1并从第二端口p2排出的空气的量可以由安装在壳体110中的泵模块确定。

同时，第三端口p3可以被提供为线缆密封套，并且可以被设置成用于从外部设备接收动力或从外部控制器接收信号。第四端口p4可以是以太网供电(poe)端口。例如，气体检测装置100可以与外部控制器通信、以及/或者通过第四端口p4接收用于操作的动力。根据示例性实施方式，除了第一端口p1至第四端口p4以外，还可以在壳体110的外部上设置附加端口。

图6a和图6b为示出了根据示例性实施方式的气体检测装置的视图。

在图6a中所示的示例性实施方式中，气体检测装置200a可以包括壳体210a、安装在壳体210a中的泵模块220、传感器模块230、驱动模块240等。同时，壳体210a的底表面上可以设置有被提供为线缆密封套的第三端口p3。

壳体210a可以包括主体211a、盖212a、以及将主体211a连接至盖212a的铰接部分213a。盖212a可以通过铰接部分213a以可旋转的方式连接至主体211a。当盖212a移动时，泵模块220、传感器模块230等可以暴露于外。泵模块220和传感器模块230可以在主体211a中安装成能够从主体211a拆卸。因此，用户可以打开盖212a并且可以将泵模块220或传感器模块230从主体211a移除以将其取出。

当盖212a打开时，泵模块220和传感器模块230的前表面可以暴露于外。为了使用户容易地将泵模块220和传感器模块230从主体211a移除，可以利用具有弹性的构件将泵模块220和传感器模块230固定至主体211a。用户可以通过在泵模块220或传感器模块230上的仅轻微的压力而将泵模块220或传感器模块230从主体211a移除。同时，泵模块220的体积可以大于传感器模块230的体积。

在图6b所示的示例性实施方式中，气体检测装置200b可以包括安装在壳体210b中的泵模块220、传感器模块230、驱动模块240等。壳体210b的底表面上可以设置有被提供为线缆密封套的第三端口p3。

壳体210b可以包括主体211b并且可以包括联接至主体211b的盖212b，其中，主体211b提供了安装泵模块220、传感器模块230和驱动模块240的空间。盖212b可以联接至主体211b并且联接成能够以滑动的方式移动，并且盖212b可以包括滑动部分213b，使得盖212b可以联接至主体211b且联接成能够以滑动的方式移动。在示例性实施方式中，盖212b可以沿主体211b的上部部分的方向可滑动地移动以允许泵模块220或传感器模块230暴露于外。

图7为根据示例性实施方式的气体检测装置的分解图。

参照图7，根据示例性实施方式的气体检测装置300可以包括壳体310、泵模块320、传感器模块330、驱动模块340等。

壳体310可以包括具有第一框架311a和第二框架311b的主体311、以及盖312。第一框架311a与盖312可以通过连接构件、比如铰接部分连接至彼此。第一框架311a的内部可以通过盖312的打开及关闭操作被覆盖或暴露。第二框架311b可以通过联接构件、比如螺钉联接至第一框架311a，并且第二框架311b可以提供主体311的后表面和底表面。

第二框架311b的下表面上可以设置有多个端口p1至p3。在示例性实施方式中，第一端口p1和第二端口p2可以分别被提供为空气的入口端口和排出端口。第二框架311b中可以设置有连接至泵模块320的泵管370。泵模块320可以通过泵管370吸入空气，使得空气可以被供给至传感器模块330。泵325可以通过弹性构件、例如弹簧固定在泵模块320中。泵325中可以包括永磁体，并且泵325可以通过流过邻近于永磁体设置的线圈的电信号而被操作。

同时，驱动模块340可以安装在第二框架311b中。驱动模块340可以通过联接构件、比如螺钉等联接至第二框架311b，并且驱动模块340可以通过具有多个销的端子345连接至泵模块320或传感器模块330。驱动模块340可以向泵模块320和传感器模块330供应驱动动力，并且驱动模块340可以控制泵模块320和传感器模块330的操作。在示例性实施方式中，驱动模块340可以控制泵模块320以调节流入传感器模块330中的空气的量，同时驱动模块340可以将由传感器模块330检测到的气体的类型和浓度输出至显示装置350。用户可以通过连接至气体检测装置300的输入部分360或外部控制器向驱动模块340发送各种命令。

泵模块320和传感器模块330可以在主体311中安装成能够拆卸。泵模块320和传感器模块330可以分别安装在设置于主体311中的第一容置空间s1和第二容置空间s2中。在示例性实施方式中，驱动模块340可以设置在第一容置空间s1和第二容置空间s2的后部上。泵模块320和传感器模块330可以分别在第一容置空间s1和第二容置空间s2中电连接至驱动模块340。

泵模块320和传感器模块330可以以滑动的方式沿第一方向分别安装在第一容置空间s1和第二容置空间s2中。另外，泵模块320和传感器模块330可以从主体311沿第一方向被可滑动地移除以被取出。当气体检测装置300未正常操作时，或者在需要定期管理作业时，用户可以打开盖312以容易地将泵模块320和传感器模块330从主体311移除。因此，可以有效地管理气体检测装置300。当泵模块320或传感器模块330故障时，可以仅更换发生故障的模块，从而减少了维修的成本和时间。

图8和9为示出了根据示例性实施方式的气体检测装置的视图。

参照图8，根据示例性实施方式的气体检测装置400可以包括壳体410、泵模块420、传感器模块430等。如图8中所示，壳体410可以包括主体411和盖412，而盖412可以联接至主体411且联接成绕主体411移动。在图8中所示的示例性实施方式中，当盖412被打开时，安装在主体411中的泵模块420和传感器模块430可以暴露于外。

接着，参照图9，泵模块420和传感器模块430可以是能够以滑动的方式从主体411拆卸的。主体411中可以设置有使泵模块420或传感器模块430能够以滑动的方式移动的滑动构件sl。例如，用户可以通过利用泵模块420的前表面上的突出部或孔拉动泵模块420而将泵模块420从主体411移除。因此，在没有附加设备的情况下，用户可以通过用手将泵模块420或传感器模块430与主体411分离而容易地更换或维修泵模块420或传感器模块430。

向传感器模块430供给空气的入口inp和将在传感器模块430中流通的空气排出的出口outp可以连接至传感器模块430并且设置在主体411中。入口inp和出口outp可以分别连接至设置在传感器模块430的后部上的入口和出口。

同时，主体411中可以设置有连接至泵模块420的管475。泵模块420可以包括泵425，泵425连接至管475以将外部空气吸入到气体检测装置400中。通过泵模块420的操作吸入的空气可以通过入口inp流入到传感器模块430中，并且可以在传感器模块430中流通而从出口outp排出。

图10a至图10c为示出了更换根据示例性实施方式的气体检测装置中的传感器模块的方法的视图。

参照图10a，可以打开盖512以更换传感器模块530。在图10a中所示的示例性实施方式中，盖512被示出为正在通过设置于主体511的上表面上的铰接部分而被打开，但本公开不限于此。在另一示例性实施方式中，盖512可以通过设置在主体511的侧表面或下表面上的铰接部分而被打开，或者可以通过被可滑动地移动而被打开。

接着，参照图10b和图10c，在盖512被打开的状态下，用户可以从主体511移除仅传感器模块530。在示例性实施方式中，传感器模块530可以包括能够检测不同气体的多个单元传感器。例如，传感器模块530可以包括检测硅烷气体(sih4)的第一单元传感器、检测氟化氢(ph3)的第二单元传感器、检测氨气的第三单元传感器、以及检测氢气(h2)的第四单元传感器。

在传感器模块530或单元传感器中的一个单元传感器故障的情况下，或者在单元传感器中的至少一部分单元传感器要被另一单元传感器代替的情况下，用户可以将传感器模块530从主体511移除。例如，用户可以用检测三氟化硼(bf3)的第五单元传感器代替检测硅烷气体(sih4)的第一单元传感器。以此，在根据示例性实施方式的气体检测装置500中，用户可以根据需要容易地更换传感器模块530中所包括的单元传感器或整个传感器模块530。因此，可以使气体检测装置500的管理和维护的效率最大化。

在示例性实施方式中，传感器模块530的前表面可以比泵模块520的前表面突出得更甚并且可以设置在泵模块520下方。通过上述结构，传感器模块530可以比泵模块520更容易更换。参照图10b，用户可以用手指拉动从泵模块530向前突出的传感器模块530并将传感器模块530从主体511移除。这可以是由于传感器模块530在下述方面的特征：传感器模块530由于单元传感器的更换、模块的检查等而可能比泵模块520更频繁地从主体511移除。因此，可以更方便地将传感器模块530从主体511移除。

图11a至图11c是示出了更换根据示例性实施方式的气体检测装置中的泵模块的方法的视图。

参照图11a，盖512可以被打开以更换泵模块520。在图11a中所示的示例性实施方式中，盖512被示出为通过设置在主体511的上表面上的铰接部分而打开，但是本公开不限于此。在另一示例性实施方式中，盖512可以通过设置在主体511的侧表面或下表面上的铰接部分而打开，或者可以通过被以可滑动的方式移动而打开。

接着，参照图11b和图11c，泵模块520可以从主体511移除。在示例性实施方式中，泵模块520可以通过例如弹簧的弹性构件联接至主体511。泵模块520可以通过沿朝向主体511的内部的方向向泵模块520施加力而从主体511的容置空间伸出。随后，用户可以取出泵模块520以使泵模块520与主体511完全分离。

同时，参照图10a至图10c描述的传感器模块530的移除过程可以被应用于泵模块520的移除过程，或者，参照图11a至图11c描述的泵模块520的移除过程可以被应用于传感器模块530的移除过程。

图12a和图12b是示出了包括在根据示例性实施方式的气体检测装置中的传感器模块的外部的视图。

参照图12a和图12b，根据示例性实施方式的传感器模块600可以包括滑动联接部分602、入口inp和出口outp，滑动联接部分602设置在壳体601的待与气体检测装置的主体联接的表面上，入口inp提供了空气的进入路径，出口outp提供了空气的排出路径。在示例性实施方式中，出口outp的直径和入口inp的直径可以是彼此不同的，以确保空气流。

同时，将气体检测装置的驱动模块连接至传感器模块600所需的端子603可以设置在壳体601的后表面上。同样，将传感器模块600固定至气体检测装置的主体所需的固定部分604可以设置在壳体601的后表面上。包括在传感器模块600中的单元传感器可以接收通过端子603进行驱动所需的动力，同时单元传感器可以将气体检测结果通过端子603发送至驱动模块。

图13是示出了包括在根据示例性实施方式的气体检测装置中的传感器模块的分解视图。

参照图13，根据示例性实施方式的传感器模块600可以包括传感器单元610、第一外壳620、第二外壳630、第三外壳640以及板650等。第一外壳620、第二外壳630和第三外壳640可以提供构造传感器模块600所需的传感器外壳。

传感器单元610可以包括第一单元传感器611至第四单元传感器614。根据示例性实施方式，单元传感器610中所包括的单元传感器611至614的数目可以进行不同地改变。单元传感器611至614中的每一者可以包括检测气体的气体室、安装气体室的传感器基底、适配器等。单元传感器611至614可以安装在第一外壳620上。在该过程中，设置在第一外壳620上的模块基底625可以自然地连接至单元传感器611至614的适配器。因而，用户可以以下述方式简单地改变由气体检测装置检测到的气体的类型：即，将传感器模块600从气体检测装置移除，并且随后用另一单元传感器更换单元传感器611至614中的至少一部分单元传感器。

同时，可以在单元传感器611至614中的每一者的传感器基底上设置有非易失性存储器元件。在示例性实施方式中，非易失性存储器元件可以被提供为电可擦可编程只读存储器(eeprom)。单元传感器611至614中的每一者中所包括的气体室上的信息和其操作所需的参数信息可以被存储在非易失性存储器元件中。在单元传感器611至614安装在第一外壳620上而被连接至模块基底625的情况下，存储在非易失性存储器元件中的信息可以通过模块基底625被传递至气体检测装置的驱动模块等。驱动模块可以基于存储在非易失性存储器元件中的信息来控制单元传感器611至614。

第二外壳630可以设置在传感器单元610下面。在第二外壳630中可以形成有与单元传感器611至614中的每一者对应的孔，而吸入空气的入口inp和排出空气的出口outp可以设置在孔中。第二外壳630可以联接至第一外壳620。在示例性实施方式中，在第二外壳630的上表面上可以形成有用于将空气流引导至传感器单元610的突出部分，该突出部分随后将参照图14进行描述。

第三外壳640可以设置在第一外壳620上。第三外壳640可以覆盖模块基底625以使得模块基底625不会暴露于外。第三外壳640可以包括滑动联接部分602，如图12a和图12b中所示。在第一外壳620、第二外壳630和第三外壳640被联接的情况下，板650可以附接至它们的前表面，并且第一外壳620、第二外壳630、第三外壳640以及板650可以被提供为壳体601。

图14a和图14b是示出了根据示例性实施方式的传感器模块中的空气流的视图。

图14a可以被提供为示出了传感器模块600中所包括的部件中的至少一部分部件的俯视图。参照图14a，根据示例性实施方式的传感器模块600可以包括多个单元传感器611至614。此外，通过入口inp引入的空气可以流动通过单元传感器611至614以从出口outp排出。单元传感器611至614可以安装在模块基底625上，对通过入口inp引入的空气中所包含的气体进行检测，并且通过模块基底625将结果传递至气体检测装置的驱动模块。

通过入口inp引入的空气可以顺序地流动通过单元传感器611至614而被从出口outp排出。换句话说，单元传感器611至614可以沿着空气流入入口inp中并从出口outp排出的路径串联地布置。

图14b是沿着图14a的线i-i’截取的横截面图。参照图14b，根据示例性实施方式的传感器模块600可以包括布置在单元传感器611至614下方的第二外壳630。第二外壳630可以布置成邻近于单元传感器611至614中的每一者中所包括的气体室，并且第二外壳630可以包括朝向单元传感器611至614突出的多个突出部分641和643。引入到入口inp的空气的方向可以通过突出部分641和643而改变成邻近于气体室，并且可以提高传感器模块的气体检测概率和准确度。

同时，以与图14b中所示的示例性实施方式相同的方式，单元传感器611至614中的每一者可以包括具有电解质的用以检测气体的检测室等。在示例性实施方式中，气体检测装置可以设置成使得被限定为单元室611至614中所包括的检测室的表面的气体检测表面可以定向在地面方向上。因而，检测室中所包括的电解质会因重力自然地朝向气体检测表面集中，由此改善气体检测性能。

图15是示出了包括在根据示例性实施方式的气体检测装置中的泵模块的视图。

参照图15，泵模块700可以包括壳体710、设置在壳体710的前表面上的突出部711和孔712、包括在壳体710中的泵713以及用于固定泵713的弹性构件714。泵模块700可以以可移除的方式容纳在气体检测装置中。

在示例性实施方式中，气体检测装置的壳体的至少一部分可以敞开以使泵模块700暴露，并且泵模块700可以与气体检测装置分离以用于维修或用新的模块进行更换。在示例性实施方式中，用户可以在不需要任何附加设备的情况下将泵模块700从气体检测装置移除。位于壳体710的前表面上的突出部711或孔712可以被设置用于泵模块的容易的分离。用户可以通过利用突出部711或孔712拉动泵模块700而在不需要附加工具或设置的情况下容易地将泵模块700与气体检测装置分离。

泵713可以以通过弹性构件714固定的状态容纳在壳体710中。在示例性实施方式中，泵713通过多个弹性构件714固定在壳体710内，并且可以不与壳体710的内壁接触。在泵713中，可以设置有永磁体，并且至少一个线圈可以设置在壳体710中并设置成与永磁体邻近。当电信号被供给至壳体710的线圈时，泵713由于来自线圈与永磁体之间的磁场的磁力而振动，并且泵713可以从外部吸入空气。

如上所述，根据本公开内容中的示例性实施方式，气体检测装置可以允许利用设置成使主体内部暴露的盖来对安装在主体中的泵模块和传感器模块进行更换和维修，使得对其进行有效维护是可行的。此外，由于包括在传感器模块或泵模块中的单元传感器可以被容易地更换，因此气体检测装置可以根据用户的目的而基于规格进行重新配置。

尽管已经示出并描述了示例性实施方式，但对于本领域普通技术人员而言明显的是，在不背离由所附权利要求书限定的本发明的范围的情况下，可以做出改型和变型。