设置有自检线圈的磁电阻传感器的制作方法

文档序号:15493020发布日期:2018-09-21 21:01阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供一种磁电阻传感器,其包括:设置于基板上依次并行排布的若干纵长条形的斜坡,斜坡包括底面、分布于底面纵长延伸方向两侧的第一倾斜表面和第二倾斜表面;若干磁场传感单元,磁场传感单元包括沿其磁易轴方向延伸的磁电阻条,斜坡的第一倾斜表面和第二倾斜表面都各自形成有磁场传感单元,且磁场传感单元的磁易轴方向与其所在的斜坡的纵长延伸方向一致;自检线圈,其位于若干纵长条形的斜坡的底面的下方,自检线圈包括依次并行排布的若干导线,导线的延伸方向与斜坡的纵长延伸方向一致,若干导线依次串联以形成蛇形绕线方式的自检线圈。与现有技术相比,本实用新型中设置的自检线圈的绕线路径短、绕线电阻小、绕线占用芯片面积小。

技术研发人员:李大来;蒋乐跃;刘海东
受保护的技术使用者:美新半导体(无锡)有限公司
技术研发日:2018.03.06
技术公布日:2018.09.21

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