裂纹检查装置的制作方法

文档序号:17618587发布日期:2019-05-07 21:56阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种裂纹检查装置,其特征在于,用于衬底基板,所述裂纹检查装置包括:

支撑组件和压力组件;

所述支撑组件包括被配置为抵在所述衬底基板一面的支撑部;

所述压力组件包括压力头和测距器;

所述压力头在所述衬底基板的另一面的正投影与所述支撑部在所述另一面的正投影不重叠;

所述测距器被配置为在所述压力头抵在所述另一面时,测量目标距离,并在所述目标距离大于指定值时,发出提示信息,所述目标距离为所述压力头从开始接触所述另一面至以指定压力抵在所述另一面时,在垂直于所述另一面的方向上移动的距离。

2.根据权利要求1所述的裂纹检查装置,其特征在于,所述裂纹检查装置还包括移动组件,

所述移动组件与所述压力组件连接,被配置为带动所述压力组件在平行于所述衬底基板一面的方向上移动。

3.根据权利要求2所述的裂纹检查装置,其特征在于,所述裂纹检查装置还包括用于测量所述移动组件的移动距离的距离测量组件。

4.根据权利要求2所述的裂纹检查装置,其特征在于,所述压力头包括滚轮。

5.根据权利要求4所述的裂纹检查装置,其特征在于,所述压力组件还包括电动推杆,所述电动推杆包括电机和推杆,所述推杆与所述滚轮连接。

6.根据权利要求2所述的裂纹检查装置,其特征在于,所述支撑组件与所述移动组件连接。

7.根据权利要求6所述的裂纹检查装置,其特征在于,所述支撑部包括两个滚轮,

所述支撑组件还包括底座,所述底座与所述移动组件连接;

所述两个滚轮与所述底座连接。

8.根据权利要求7所述的裂纹检查装置,其特征在于,所述支撑组件还包括可动连接件,所述两个滚轮通过所述可动连接件与所述底座连接,

所述可动连接件被配置为调节所述两个滚轮在平行所述衬底基板的一面的方向上的距离。

9.根据权利要求7所述的裂纹检查装置,其特征在于,所述两个滚轮的轴心的连线在所述衬底基板的一面上的正投影与所述压力头中的滚轮的轴心在所述衬底基板的一面上的正投影存在重叠。

10.根据权利要求2至9任一所述的裂纹检查装置,其特征在于,所述移动组件为线性电机。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1