一种多功能综合COC老化测试箱的制作方法

本实用新型涉及芯片检测设备技术领域，具体为一种多功能综合COC老化测试箱。

背景技术：

集成电路(IC)芯片制造之后，在出厂之前必须进行老化测试，该测试通常是较高温度的环境下进行。老化测试可以加速芯片的老化，能够在制造生产过程中，尽早识别和放弃有缺陷的芯片。国家老化标准中规定，老化测试的目的是验证承受规定条件的器件在整个工作时间内的质量或可靠性。为了在短时间内或以较小的应力来获得正确结果，以确保器件以后能用于高可靠场合，必须用加速试验条件或足够大的样本来提供相应的失效概率。

最常见的老化测试一般都在老化测试箱内进行，但是现有技术中的老化测试箱的功能比较单一，如只有高温老化测试功能，或只有光照老化测试功能，或只有高氧气浓度老化测试功能，无法进行综合条件的老化测试，鉴于此，我们提出一种多功能综合COC老化测试箱。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种多功能综合COC老化测试箱，以解决上述背景技术中提出的现有老化测试箱功能单一的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种多功能综合COC老化测试箱，包括箱体，所述箱体内下端设有固定板，所述固定板的下方设有电机，所述固定板的上方设有转轴，所述转轴的下端贯穿所述固定板后与所述电机的输出轴轴连接，所述转轴上设有若干扇叶，所述扇叶的上方设有加热管，所述加热管的上方等距设有若干承托网，所述箱体内顶壁上设有氙灯；

所述箱体的左侧面上从上至下等距设有若干氧气浓度检测仪，所述箱体的右侧面上从上至下等距设有若干温度传感器，所述箱体的一侧面下端设有氧气进气口，所述箱体的顶端设有若干泄压孔，所述箱体的正面设有箱门，所述箱门上等距设有若干观察窗。

优选的，所述加热管呈S形，所述加热管水平设置于所述扇叶的正上方。

优选的，所述承托网固定在所述箱体的内壁上，所述承托网的网格孔径为0.5mm～10mm。

优选的，所述氙灯通过挂钩可拆卸地挂设在所述箱体内的顶壁上。

优选的，所述氧气浓度检测仪、所述温度传感器以及所述承托网的数量相等，且所述氧气浓度检测仪、所述温度传感器与所述承托网的位置一一对应。

优选的，所述氧气浓度检测仪的氧气检测探针贯穿所述箱体的左侧壁并延伸到所述承托网的上方。

优选的，所述温度传感器的温度检测探针贯穿所述箱体的右侧壁并延伸到所述承托网的上方。

优选的，所述观察窗的数量与所述承托网的数量相等，且所述观察窗与所述承托网的位置一一对应。

优选的，所述箱门的下端还设有把手。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型通过在箱体内下端设置加热管和风扇，在加热管上方设置若干承托网以形成多个测试腔，并在每个测试腔设置温度传感器，该测试箱可以作为一般的高温老化测试箱使用，既可以测试被测器件在不同温度下的老化情况，也可通过风扇将箱体内的高温进行循环混合，形成均匀的高温环境；

2.本实用新型通过在箱体一侧下端设置氧气进气口，在箱体上端设置泄压孔，并在每个测试腔设置氧气浓度检测仪，使被测器件可以在纯高氧气浓度下进行老化测试，也可同时在高温、高氧气浓度的环境下进行加快氧化的老化测试；

3.本实用新型通过在箱体内顶壁上设置氙灯，使箱体内形成模拟日光照射的环境，既可以单纯测试被测器件在高强度光照环境下的老化情况，还可以同时测试被测器件在高温、高氧气浓度环境下的抗光照老化能力。

综上所述，本实用新型结构合理，操作简单，解决了现有技术中的老化测试箱功能单一的问题，实现了一箱多用，既可以单独对被测器件在高温、高氧气浓度或光照条件下进行老化测试，也可以同时在高温、高氧气浓度和光照条件下对被测器件进行加速老化测试，节省了购买测试箱的成本，还能加快测试速度，节省测试时间，提高测试效率，并进一步提高了生产效率。

附图说明

图1为本实用新型多功能综合COC老化测试箱的内部结构示意图；

图2为本实用新型的外部结构示意图；

图3为本实用新型的加热管的俯视结构示意图。

图中：1、箱体；101、氧气进气口；102、泄压孔；11、固定板；12、加热管；13、承托网；14、箱门；141、观察窗；142、把手；2、电机；21、转轴；22、扇叶；3、氙灯；4、氧气浓度检测仪；41、氧气检测探针；5、温度传感器；51、温度检测探针。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，在本实用新型的描述中，“若干”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：

一种多功能综合COC老化测试箱，如图1-3所示，包括箱体1，箱体1内下端设有固定板11，固定板11的下方设有电机2，固定板11的上方设有转轴21，转轴21的下端贯穿固定板11后与电机2的输出轴轴连接，转轴21上设有若干扇叶22，扇叶22的上方设有加热管12，加热管12的上方等距设有若干承托网13，箱体1内顶壁上设有氙灯3，箱体1的左侧面上从上至下等距设有若干氧气浓度检测仪4，箱体1的右侧面上从上至下等距设有若干温度传感器5，箱体1的一侧面下端设有氧气进气口101，箱体1的顶端设有若干泄压孔102，箱体1的正面设有箱门14，箱门14上等距设有若干观察窗141。

本实施例中，加热管12呈S形，加热管12水平设置于扇叶22的正上方，使加热管12的水平面发热均匀。

本实施例中，电机2采用佛山市勇科机电设备有限公司生产的型号Y90S-2的交流电机，其配套电源和电路由同一厂家提供。此外，本实施例中涉及到的电机2为现有技术，本领域的技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不设计对电机2的结构和工作原理的改进。

本实施例中，承托网13固定在箱体1的内壁上，承托网13的网格孔径为0.5mm～10mm，确保被测器件不会从网格内掉落，同时保证底下的气流能通过网格。

进一步地，本实施例中，承托网13采用纳米气凝胶材料混合玻璃纤维制成，玻璃纤维用于提高承托网13的韧性和强度，气凝胶具有耐高温、导热系数低、密度小、强度高、绿色环保以及防水不易燃等性能，可以确保被测器件是在高温气体环境中进行老化测试，而不是承托网13的将高温传导至被测器件上使其老化。

本实施例中，氙灯3通过挂钩可拆卸地挂设在箱体1内的顶壁上，在不使用时可以将氙灯3拆下，防止长时间的高温容易损坏氙灯3。

本实施例中，氧气浓度检测仪4、温度传感器5以及承托网13的数量相等，且氧气浓度检测仪4、温度传感器5与承托网13的位置一一对应，使每个测试腔内都有对应的氧气浓度检测仪4和温度传感器5。

本实施例中，氧气浓度检测仪4的氧气检测探针41贯穿箱体1的左侧壁并延伸到承托网13的上方，温度传感器5的温度检测探针51贯穿箱体1的右侧壁并延伸到承托网13的上方，使氧气浓度检测仪4和温度传感器5的检测精度更高，且能在箱体1外直接读取到测量的数据。

本实施例中，观察窗141的数量与承托网13的数量相等，且观察窗141与承托网13的位置一一对应，可以通过观察窗141直接观察到每层承托网13上的被测器件的变化。

本实施例中，箱门14的下端还设有把手142，方便开关箱门。

值得说明的是，本实施例中涉及到的氙灯3采用常州玉宇电光器件有限公司生产的型号为XHA7000STAGE的短弧氙灯，其配套电路与电源也由该厂家提供，短弧氙灯是一种具有极高亮度的点光源，色温为6000K左右，光色接近太阳光，是目前气体放电灯中显色性最好的一种光源，适用于模拟日光。此外，本实施例中涉及到的氙灯3为现有技术，本领域的技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对氙灯3的结构和工作原理的改进。

值得说明的是，本实施例中涉及到的氧气浓度检测仪4采用深圳市奥迪特科技有限公司生产的型号为ADT700-O2的便携式氧气检测仪，其配套电路与电源也由该厂家提供，该型号的氧气检测仪小巧轻便，便于安装。此外，本实施例中涉及到的氧气浓度检测仪4为现有技术，本领域的技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对氧气浓度检测仪4的结构和工作原理的改进。

值得说明的是，本实施例中涉及到的温度传感器5采用福建顺昌虹润精密仪器有限公司生产的型号为NHR-217的现场显示温度变送器，其配套电路与电源也由该厂家提供，该型号的温度变送器带有高亮多参数液晶显示，面板带按键操作，智能可编程，而且精度高。此外，本实施例中涉及到的温度传感器5为现有技术，本领域的技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对温度传感器5的结构和工作原理的改进。

此外，值得说明的是，本实用新型中涉及到的电路和电子元器件以及模块的均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。

本实施例的多功能综合COC老化测试箱的工作原理是：将若干被测器件分批放置在各层承托网13上，然后关闭箱门14，接通加热管12的电源，同时打开温度传感器5的开关，即可观察被测器件在不同高温条件下的老化情况；若需减小每层承托网13之间的温度差，可将电机2接通电源，打开风扇，使风扇将加热管12的热量向上吹起，将热风扩散到整个箱体1内进行老化测试；若需对被测器件的氧化老化情况进行测试，则可从氧气进气口101输入氧气，并打开氧气浓度检测仪4，即可观察被测器件在不同氧气浓度下的老化情况；若还需对被测器件的光照老化情况进行测试，可再将氙灯3接通电源，使被测器件在模拟日光照射的环境下加速老化，可以测试被测器件在多种环境因素影响下加速老化的情况，以检测被测器件的性能和质量。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。