具有接触式系统并且具有非接触式运行的传感器的设备的制作方法

本实用新型涉及一种具有接触式系统并且具有非接触式运行的传感器的设备。

背景技术：

在许多技术领域中，部件或材料的形状是重要特征。

因此，存在非常多的测量装置，所述测量装置通常配备有接触式传感器或扫描仪以能够检查部件。以粗糙度测量装置作为示例，其用于检测部件的表面的粗糙度或峰谷高度。在粗糙度测量装置中，接触式顶端通常在待检查的表面上被引导。所得到的结果是通过扫描行程记录的高度信号，其也被称为表面轮廓。

还存在配备有包括接触式球形销的接触式传感器的测量装置，以便能够例如检查部件的尺寸精度或几何形状。

图1中示出了示例性测量设备10(在此简称为设备10)，其被设计为包括用于测量/检查齿轮11的接触式系统13。这里示出的齿轮11 被夹紧在包括工件容纳部(receptacle)1的转盘和可选的计数器支架之间，使得其能够围绕空间中竖向竖立的旋转轴A1被旋转驱动。相应的旋转运动由ω1标识。旋转驱动器由M1标识。设备10包括测量轴组件12，接触式系统13紧固在测量轴组件12上。设备10还包括 NC控制器(这里简称为NC)，其被设计成用于对设备10的各个轴进行数控控制。因此，例如，接触式系统13可以平行于Z轴线性运动。此外，接触式系统13可以平行于Y轴延伸，以便能够沿齿轮11的方向径向地进给接触式系统13的扫描器(未示出)。反之亦然，接触式系统13的扫描器可以平行于Y轴缩回。扫描仪的测量轴此处用LA 标识。

需要扩展这种设备10的测量选项，以便使得设备10普遍可用，或者能够应用组合的测量方法。

还已经表明，接触式测量过程有时可能非常慢。由于这个原因，还需要能够在这种设备中提供额外的测量过程。

为这种设备10配备可更换的接触式系统13是已知的。为此目的，接触式系统13可以包括例如适配器板，其可以被移除并由另一个适配器板替换。以这种方式，例如，可以使用两个不同的扫描仪。包括可移除的测量扫描仪的相应装置的示例性细节可以从Klingelnberg GmbH的EP1589317B1的专利说明书中推断。

然而，还需要能够在同一设备10中使用不同的测量系统。这里以非接触式运行的传感器装置(例如，使用光学传感器运行的传感器装置)作为示例。接触式运行的接触式系统13也可以在这里被移除并且由非接触式运行的传感器装置代替，该传感器装置可以通过NC控制器以与上面结合图1描述的相同的方式在Y和Z方向上运动。

接触式系统13或传感器类型的每次改变都需要一定的时间消耗，特别是因为——取决于布置结构(constellation)——调整步骤可能是必要的，以便能够在每次改变之后检查和校正测量精度。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种接触式运行和非接触式运行的测量系统，其需要较少的时间消耗以用于改变。

另外，本实用新型涉及能够在齿轮和其他三维结构上执行不同的测量的目的，其中尽可能高精度地执行测量。

该目的通过根据本实用新型的设备来实现。根据本实用新型的设备，所述设备包括：NC控制器；测量系统轴，所述测量系统轴能够通过NC控制器沿测量轴运动；第一测量装置，所述第一测量装置能够与所述测量系统轴一起运动；工件容纳部，所述工件容纳部用于在设备中布置工件；用于所述工件容纳部的旋转驱动器，其中，旋转驱动器使得工件容纳部能够与所述工件一起围绕旋转轴旋转。除第一测量装置之外，所述设备还包括第二测量装置。接触式系统用作第一测量装置或第二测量装置，且非接触式运行的传感器装置用作相应的另一测量装置。第一测量装置和第二测量装置相对于彼此布置成使得第一测量装置或第二测量装置能够通过位移过程相对于所述测量系统轴从第一位置转移到第二位置。如果使得所述测量系统轴运动，则传感器装置与所述测量系统轴一起共同运动。

一种设备，所述设备包括：

-NC控制器，

-测量系统轴，所述测量系统轴能够通过NC控制器沿测量轴运动，

-第一测量装置，所述第一测量装置能够与所述测量系统轴一起运动，

-工件容纳部，所述工件容纳部用于在设备中布置工件，

-用于所述工件容纳部的旋转驱动器，其中，所述旋转驱动器使得所述工件容纳部能够与所述工件一起围绕旋转轴旋转，

其特征在于，

-除第一测量装置外，所述设备还包括第二测量装置，

-接触式系统用作第一测量装置或第二测量装置，

-且非接触式运行的传感器装置用作相应的另一测量装置，

其中，所述第一测量装置和第二测量装置相对于彼此布置成使得第一测量装置或第二测量装置能够通过位移过程相对于所述测量系统轴从第一位置转移到第二位置，并且

其中，如果使得所述测量系统轴运动，则传感器装置与所述测量系统轴一起共同运动。

根据本实用新型的设备优选地包括NC控制器；接触式系统，所述接触式系统由NC控制器控制，所述接触式系统能够与测量系统轴一起平行于测量轴运动；工件容纳部，所述工件容纳部用于在设备中布置工件；和旋转装置，所述旋转装置用于工件容纳部，其中，旋转驱动器使得工件容纳部能够与工件一起围绕旋转轴旋转。除了接触式系统之外，所述设备还包括非接触式运行的传感器装置，所述非接触式运行的传感器装置布置在接触式系统或测量系统轴上(接触式系统紧固在所述测量系统轴上)，使得该传感器装置能够通过位移过程相对于测量系统轴从第一位置转移到第二位置。

在至少一些实施例中，根据本实用新型的方法包括以下步骤，其不一定必须以这里给出的顺序进行：

-将工件布置在设备的容纳部中，其中优选地选择整体布置结构 (构造)，其中采用NC控制的测量系统轴，所述测量系统轴基本上具有相对于工件的旋转轴的径向取向，

-采用接触式系统进行工件的接触式测量，

-其中，为了进行接触式测量，接触式系统借助于NC控制的测量系统轴运动，

-其中，非接触式运行的传感器装置与接触式系统一起平行于测量系统轴共同运动，并且

-其中，在接触式测量期间非接触式运行的传感器装置处于保护位置(停用位置)，

借助于相对于测量系统轴的位移过程将非接触式运行的传感器装置从保护位置(停用位置)运动到使用位置，

-在非接触式运行的传感器装置处于使用位置时，采用非接触式运行的传感器装置执行测量过程，

将非接触式运行的传感器装置运动到保护位置(停用位置)。

本实用新型的设备的用途的特征在于，在接触式测量过程期间，非接触式运行的传感器装置保持在保护位置(停用位置)，并且使得非接触式运行的传感器装置相对于测量系统轴进行位移运动以便被带到使用位置，从而能够执行非接触式测量过程。

该布置结构(此后也称为背负式布置结构)使得能够在接触式运行的测量扫描器和非接触式运行的传感器之间进行快速且非常准确的改变，反之亦然。

根据本实用新型，第一测量装置能够相对于第二测量装置移位，或者第二测量装置能够相对于第一测量装置移位，或者第一测量装置和第二测量装置两者都能够相对移位。

在至少一部分实施例中，该改变优选地是部分自动的或完全自动的。

所述设备优选地被设计成用于在第一运行模式和第二运行模式下运行。

所述设备优选地被设计成用于在第一运行模式中使用接触式系统的接触式顶端或接触式球来执行接触式测量过程的目的，其中，非接触式运行的传感器装置在第一运行模式期间处于第一位置(停用位置)。

所述设备优选地被设计成用于在第二运行模式中使用非接触式运行的传感器装置执行非接触式运行的测量过程，其中，非接触式运行的传感器装置在第二运行模式期间处于第二位置(使用位置)。

所述设备优选地被设计成用于在从第一运行模式转换到第二运行模式期间和/或在从第二运行模式转换到第一运行模式期间部分自动地或完全自动地执行传感器装置相对于接触式系统的位移过程的目的。

所述设备优选地被设计成用于部分自动地或完全自动地执行位移过程。

优选地，所述接触式系统包括外壳或壳体，其中，所述传感器装置连接到该外壳或该壳体，使得所述传感器装置能够与接触式系统一致地运动。

优选地，所述传感器装置连接到所述测量系统轴，使得所述传感器装置能够与所述测量系统轴一致地运动。

优选地，所述传感器装置包括可运动部分和具有驱动器的运动单元，以便能够使所述可运动部分相对于所述测量系统轴移位。

所述传感器装置包括可运动部分和主轴以及主轴螺母，其中，主轴由驱动器旋转地驱动，以便使所述主轴螺母相对于所述主轴移位，或者其中，所述主轴螺母被旋转地驱动以便使所述主轴相对于主轴螺母移位。

优选地，所述传感器装置包括可运动部分和具有驱动器的气动或液压运动单元，以便能够通过施加压力来使可运动部分移位。

优选地，所述驱动器能够由所述设备的控制器控制。

优选地，所述设备能够在第一运行模式和第二运行模式下运行。

优选地，在所述第一运行模式中，能够使用所述接触式系统的接触式顶端或接触式球来执行接触式测量过程，其中，非接触式运行的传感器装置在第一运行模式期间位于第一位置。

优选地，在所述第二运行模式中，能够使用所述非接触式运行的传感器装置执行非接触式运行的测量过程，其中，所述非接触式运行的传感器装置在第二运行模式期间位于第二位置。

优选地，所述设备被设计成用于部分自动地执行所述位移过程。

优选地，所述设备被设计成用于完全自动地执行所述位移过程。

优选地，如果手动触发位移，和/或传感器装置被手动运动，以便随后被自动锁定或自动压靠止动件，和/或传感器装置被自动运动，以便随后被手动锁定或手动压靠止动件，则位移此时称为部分自动的。

优选地，如果所述位移过程完全自动执行，则位移此时称为完全自动的。

优选地，所述传感器装置以背负式布置结构连接到所述壳体，并且所述传感器装置被设计成用于执行相对线性位移运动。优选地，所述传感器装置连接到所述接触式系统的NC控制的测量系统轴，而不是附接到所述接触式系统的壳体上。

线性位移运动，和/或

-枢转位移运动，和/或

-倾斜位移运动，和/或

-旋转位移运动被采用以便将传感器装置从保护位置移位到激活位置。

优选地，开关、传感器、接触式元件或信号发生器在接触式系统上布置成使得到达使用位置能够经由信号被传输到NC控制器或单独的驱动控制器。

例如，本实用新型可以与1D、2D和3D测量设备结合使用，所述测量设备例如从Klingelnberg AG的公开专利申请EP2119732A1中已知。

附图说明

以下将参考附图更详细地描述本实用新型的示例性实施例。

图1示出了设备(在此为CNC测量装置的形式)的透视图，所述设备配备有现有技术的接触式系统或粗糙度测量扫描仪。

图2A示出了与现有技术的粗糙度测量扫描仪和本实用新型的非接触式运行的传感器相组合的单坐标扫描头的示意性结构，其中，粗糙度测量扫描仪在所示的时刻用在齿轮上；

图2B示出了图2A的设备，其中，非接触式运行的传感器在所示的时刻用在齿轮上；

图3A示出了本实用新型的另一设备的测量范围的透视图，其包括接触式系统和非接触式运行的光学传感器，所述接触式系统包括接触式球，其中，接触式系统在所示的时刻准备用在齿轮上；

图3B示出了图3A的设备，其中，非接触式运行的光学传感器在所示的时刻用在齿轮上；

图4A示出了本实用新型的另一设备的测量范围的透视图，其包括接触式系统和非接触式运行的光学传感器，所述接触式系统包括接触式球，其中，接触式系统在所示的时刻准备用在齿轮上；

图4B示出了图4A的设备，其中，非接触式运行的光学传感器在所示的时刻用在齿轮上；

图4C示出了图4B的设备的光学传感器的前部区域的一部分；

图5示出了本实用新型的另一设备的示意性细节；

图6示出了本实用新型的另一设备的示意性细节。

具体实施方式

也在相关出版物和专利中使用的术语与本说明书结合使用。然而，应注意，这些术语的使用仅仅是为了更好地理解。本实用新型可以容易地转变到其他术语系统和/或技术领域。这些术语将在其他技术领域中相应应用。

为了例如能够分析或扫描表面F，例如齿7的齿面(也参见图2A)，沿着线、曲线或表面F的多个测量点通常必须使用接触式系统13扫描。

相应的接触式系统13的示例性实施例可以例如从上述文献 EP2199732A1中推断，其中对该现有技术的引用不应被理解为限制性的。这仅仅是扫描仪或接触式系统13的一个示例，在其环境中可以使用本实用新型的设备。

作为示例示出的接触式系统13包括例如接触式顶端15.1，其位于接触式臂13.1的最末端的区域中，如图2A和2B所示。在所有实施例中，接触式系统13还可以包括接触式传感器，所述接触式传感器包括接触式球顶端15.2而不是接触式顶端15.1，如图3A、3B和4A、 4B所示。

在所有实施例中，接触式臂13.1可以具有平行于纵向轴LA的纵向延伸部(这里LA平行于x-y-z坐标系的y轴延伸)。

此外，在所有实施例中，接触式系统13可以包括例如杠杆型安装件或悬架40(例如，参见图2A和EP2199732A1)，其被设计成用于将接触式顶端15.1或接触式臂13.1沿z方向的小的偏移转换成杠杆臂的相对的端部处的相应的偏移。

在所有实施例中，这里可以提供接触式臂13.1的杠杆型安装件 40，其在Z方向上执行接触式顶端15.1的偏移的机械1：1转换。

然而，在所有实施例中，这里也可以提供接触式臂13.1的杠杆型安装件40，其执行接触式顶端15.1在Z方向上的偏移的放大转换。在这种情况下，接触式顶端15.1在Z方向上的小的偏移被转换成接触式臂13.1的相对的端部在Z方向上的较大的偏移。然而，在所有实施例中也可以提供杠杆式安装件40的缩小转换。

根据该实施例，接触式臂13.1可以像杠杆一样安装(例如，安装在壳体19的内部)或者接触式系统13的另一区段或区域(例如，中空圆柱体)可以用于容纳接触式臂13.1的杠杆式安装件。

接触式臂13.1不是必须偏心地布置在接触式系统13上，如图2A， 2B所示。其也可以在接触式系统13上居中地(同心地)布置，如图 3A、3B、4A、4B所示。

代替接触式顶端15.1(如图2A、2B所示)，例如在所有实施例中，接触式系统13还可以包括接触式球15.2(称为接触式球顶端15.2)，如图3A、3B、4A、4B和EP1589317B1中所述。

根据本实用新型，除了可以如所描述的例如用作粗糙度测量扫描仪的接触式系统13之外，非接触式运行的传感器装置50可以布置在接触式系统13上或布置在接触式系统13的轴上。

由于本实用新型的原理也可以颠倒过来，因此这里还参考第一测量装置和第二测量装置。接触式系统13用作第一测量装置，并且非接触式运行的传感器装置50用作第二测量装置，或接触式系统13用作第二测量装置，并且非接触式运行的传感器装置50用作第一测量装置。

在所有实施例中，光学传感器51优选地用作非接触式运行的传感器装置50的基本部件。这种光学传感器51的位置示意性地示出并且通过图2B中的示例示出。光学传感器51在此处例如位于传感器装置 50的可运动部分54的内部。

在图2A中，传感器装置50例如布置在接触式系统13的壳体19 上。传感器装置50在图2A中处于未激活状态(该状态也称为停用位置)。箭头P1表示传感器50在所示的示例中可以通过线性位移运动进行延伸。在延伸状态(也称为激活状态或使用位置)中，传感器装置50可用于测量。

在图2B中，传感器装置50显示为处于延伸状态。总的来说，在所示的示例中，接触式系统13和齿轮11之间的相对距离(平行于y 轴)被扩大，使得接触式运行的接触式臂13.1不会与旋转的齿轮11 碰撞。齿轮11的旋转运动在图中用ω1表示。光束或光束路径LS在图2B中由虚线示出，其在此由光学传感器51向表面F方向发射。由箭头P1表示传感器装置50在所示的示例中可以通过线性位移运动进行缩回。

在图2A、2B的示例性实施例中，传感器装置50以背负式布置结构(constellation)连接到壳体19，并且传感器装置50被设计成用于执行相对线性位移运动P1。

传感器装置50也可以在所有实施例中连接到接触式系统13的NC 控制轴，而不是位于接触式系统13的壳体上。

设备10的NC控制轴在此也称为测量系统轴Y。

在图2A中以示例的方式示出了板16，其用作用于附接接触式系统13的一种机械接口。安装件或悬架40和板16在此与NC控制的测量系统轴Y相关联。传感器装置50可以在所有实施例中例如布置在 NC控制的测量系统轴Y的板16上。

代替单独的线性位移运动，在所有实施例中，也可以使用枢转位移运动、倾斜位移运动或旋转位移运动，以便将传感器装置50从保护位置(停用位置)移位进入激活位置(使用位置)。

在所有实施例中也可以使用所提到的至少两个位移运动的组合 (例如，旋转位移运动与线性位移运动相结合)。

术语“位移运动”在此是指传感器装置50或传感器装置50的部分54相对于测量系统轴Y的相对位移。

当传感器装置50例如通过NC控制器(在图1中用NC标识)设置为运动时，传感器装置50总是与测量系统轴Y一致地运动。

图3A和3B示出了本实用新型的另一实施例，其中仅示出了设备 10的测量环境的基本细节。这里也可以看到传感器装置50，其连接到接触式系统13。接触式系统13具有居中(同心)安装的接触式顶端 13.1，所述接触式顶端13.1此处包括接触式球15.2(例如，以红宝石球的形式)。图3A示出了处于缩回(非激活)状态(停用位置)的传感器装置50。包括接触式球15.2的接触式顶端13.1在所示时刻不与齿轮11啮合，但可以在任何时候用于接触式测量。

图3B示出了处于延伸(激活)状态(使用位置)的传感器装置 50，并且光束LS入射在齿轮11的表面F上。

箭头P1还表示图3A和3B中的相对位移运动。

图4A、4B和4C示出了本实用新型的另一实施例。这里也可以看到传感器装置50，其连接到接触式系统13。接触式系统13具有居中(同心)安装的接触式顶端13.1，所述接触式顶端13.1此处包括接触式球15.2(例如，以红宝石球的形式)。图4A示出了处于缩回(非激活)状态(停用位置)的传感器装置50。包括接触式球15.2的接触式顶端13.1在所示时刻不与齿轮11接合，但可以在任何时候用于接触式测量。

图4B示出了处于延伸(激活)状态(使用位置)的传感器装置 50，并且光束LS入射在齿轮11的表面F上。

与图3A、3B相比，这是此处根据三角测量原理进行运行的传感器装置50。取决于系统，这种传感器装置50包括光学发射器51(例如，激光光源)和光学检测器63，所述光学发射器51和光学检测器 63在空间上布置成相对于彼此具有限定的距离和角度，如以示例的方式并且仅在图6中示意性地示出。

图4C示出了图4B的装置50的前部区域的放大部分。在该图示中可以看出，用于发射光束LS的可选光学透镜52设置在装置50上，光束LS通过所述光学透镜52向齿轮11方向辐射(未示出)。此外，装置50包括开口53，所述开口53用于接收光并向光学检测器63(未示出)方向引导光。

为了能够示意性地示出三角测量原理，在图4C中以非常简化的形式示出了光束路径SG，其表示由装置50的光学发射器51发射的光束LS在表面F上被反射，并作为光束LS*通过开口53被传导回到检测器63。

由于简单(例如，线性)位移运动或更复杂的位移运动都是可能的，因此这里相应的过程总体上称为位移过程。取决于实施例，位移过程可包括单个位移运动。然而，取决于实施例，位移运动还可以包括至少两个位移运动的叠加，所述至少两个位移运动同时执行、在时间上重叠或连续地执行。

设备10优选地被设计成使得位移过程在所有实施例中或在至少一部分实施例中部分自动地或完全自动地发生。

例如，如果为以下情况，则位移过程此时被称为部分自动的，

-手动触发位移过程(例如，通过致动扫描仪或通过脱开锁)，和 /或

-传感器装置50被手动运动，随后自动锁定或自动压靠止动件，和/或

-传感器装置50自动运动，随后被手动锁定或手动压靠止动件。

例如，如果为以下情况，则位移过程此时被称为全自动的，

-完全自动执行位移过程(无需人工干预)。

具体地，本实用新型涉及一种用于在设备10中测量工件11(尤其是齿轮工件11)的方法。如已经提到的，该设备10包括第一测量装置和第二测量装置。根据该方法，接触式系统13用作第一测量装置或第二测量装置，并且非接触式运行的传感器装置用作相应的另一测量装置。该方法包括以下步骤：

-将工件11布置在设备10的容纳部1中，其中，优选地选择整体布置结构，其中采用NC控制的测量系统轴Y，所述NC控制的测量系统轴Y基本上具有相对于工件11的旋转轴A1的径向取向；

-采用接触式系统13进行工件11的接触式测量，

-其中，为了接触式测量的目的，借助于NC控制的测量系统轴Y(的驱动)使接触式系统13运动，

-其中，非接触式运行的传感器装置50与接触式系统13一起平行于测量系统轴Y共同运动，并且

-在接触式测量期间非接触式运行的传感器装置50处于保护位置(停用位置)，

借助于相对于测量系统轴Y的位移过程P1将非接触式运行的传感器装置50从保护位置(停用位置)运动到使用位置，

-在非接触式运行的传感器装置50处于使用位置时，采用非接触式运行的传感器装置50执行测量过程，

将非接触式运行的传感器装置50运动到保护位置(停用位置)。

在所有实施例中，优选地使用包括电动驱动器60、电磁驱动器、气动驱动器66或液压驱动器的机械运动单元66，以便执行部分自动或全自动的运动。

图5中示出了包括电动驱动器60的机械运动单元66的基本原理。这里是运动单元66，其联接到传感器装置50的可运动部分54，使得可运动部分54可以关于测量系统轴Y线性移位。例如，主轴61可以连接到电动机60。在所示的示例中，取决于主轴61的旋转方向向左或向右线性移位的主轴螺母67位于主轴61上。在所示的示例中，传感器50的可运动部分54连接到主轴螺母67。因此可运动部分54与主轴螺母67一致地向左或向右移位。位于可选的透镜52后方的光学传感器51此处示出为位于可运动部分54的前部区域中，所述光学传感器51例如包括具有集成传感器和检测器的传感器51。LS此处表示发出和接收的光束。

图5中示出了一种措施，其中，主轴61由驱动器60旋转驱动，以使主轴螺母67相对于主轴61移位。该功能原理也可以通过主轴螺母67被旋转地驱动以将主轴61相对于主轴螺母67移位而被反转。

包括伺服气动驱动器62的运动单元66的基本原理在图6中示出。在这种情况下，运动单元66也被设计成用于相对线性运动。运动单元 66包括缸体55，所述缸体55包括可运动地安装的活塞56。两个腔室 I和II形成缸体55。腔室I设置有第一管路57，腔室II设置有第二管路58。在所示的时刻，伺服气动驱动器62通过管路57将腔室I置于压力下。因此，活塞56向左移位，腔室II减小其容积。压缩空气通过管路58流出。活塞56可以例如通过杆59连接到可运动部分54，如图6中示意性地所示。光学发射器51和光学检测器63可以布置在可运动部分54的内部，类似于图4A、4B、4C。光学发射器51可以安置在孔52后方，使得光束LS向齿轮11方向(未示出)发射。

为了能够将可运动部分54从使用位置移回到停用位置，通过管路 58向腔室II施加压力，同时空气通过管路57从腔室I流出。提供了可由驱动器62切换的相应的阀。这里未示出这些阀。

例如，可以在传感器装置50的壳体部分64上的左端部的区域中提供止动件65，其机械地连接到接触式系统13。在图6中，这些止动件65示出为小黑块。对应部件66可以设置在可运动部分54上，其在图6中显示为阴影块。在到达使用位置之前不久的时刻在图6中示出。因此，对应部件66在所示时刻尚未压抵止动件65。

重要的是，驱动器与运动单元一起确保传感器装置50精确地运动到期望的使用位置并且在测量期间保持在该使用位置。

在所有实施例中，因此可以使用测量系统(例如，距离测量系统)，以便能够在执行光学测量之前检测传感器装置50是否被精确地运动到期望的使用位置。

在所有实施例中，优选地提供精确限定的止动件(如例如结合图 6所描述的)，以便关于接触式系统13的轴线精确地限定相对位置50。因此，NC控制器在传感器装置50已经被运动到使用位置之后“知道”传感器装置50的准确位置。

在所有实施例中，(电)磁体优选地布置在传感器装置的壳体部分 64(机械连接到接触式系统13)与可运动部分54之间，以便将传感器装置50保持在使用位置中。在传感器装置50的缩回期间，如果使用电磁铁，则要么必须克服磁体的磁力，要么必须先减小或切断磁力。

在所有实施例中，开关、传感器、扫描仪或信号发生器优选地在接触式系统13上布置成使得到达使用位置可以经由信号传输到例如 NC控制器或者传输到单独的驱动控制器。

在所有实施例中，驱动器60或62优选地被设计成使得其能够由设备10的控制器控制。在图5和6中示出了以附图标记Sig表示的信号线。由控制器控制的可选的能力由该信号线示意性地表示。

优选地，在所有实施例中，通过设备10的NC控制器来控制驱动器60或62。

附图标记列表：

工件容纳部 1

齿面 7

测量装置/设备 10

部件/齿轮 11

测量塔 12

接触式系统 13

杠杆臂/接触式销 13.1

转盘 14

接触式顶端 15.1

接触式球/接触式球顶端 15.2

板 16

壳体/外壳 19

安装件/悬架 40

非接触式运行的传感器/传感器装置 50

光学传感器 51

开口/透镜/孔 52

开口/窗口 53

可运动部分 54

缸体 55

活塞 56

(压力)管路 57、58

杆 59

驱动器/致动器 60

主轴 61

(伺服气动)驱动器 62

光学检测器 63

壳体部分 64

一个或多个止动件 65

运动单元 66

主轴螺母 67

旋转轴 A1

表面 F

测量轴/纵轴 LA

光束/光束路径 LS

射束/光束/光束路径 LS*

旋转驱动器 M1

NC控制器 NC

腔室 I、II

位移运动/位移过程 P1

信号 Sig

坐标 x、y、z

测量系统轴 Y

旋转运动 ω1