技术特征：
技术总结
本发明提供一种静电电容型压力传感器的异常检测方法及装置，以区分由压力引起的输出变化、与由沉积物等引起的压力以外的输出变化，从而减少不必要的零点调整。将在膜片的中央部形成压敏电容Cx的电极对(压敏侧电极对)设为第1电极对，将在膜片的外周部形成参照电容Cr的电极对(参照侧电极对)设为第2电极对。将从抽真空时的压敏侧电极对得到的压敏电容Cx的变化ΔCx、与从参照侧电极对得到的参照电容Cr的变化ΔCr的比ΔCx/ΔCr作为异常检测指标α进行计算，并且与表示正常时的该指标的基准值αref进行比较，从而判断在膜片是否产生了由压力以外的要素引起的弯曲。
技术研发人员：石原卓也;添田将;关根正志
受保护的技术使用者：阿自倍尔株式会社
技术研发日：2019.01.07
技术公布日：2019.07.30