一种高精度激光射线同步测量一体机的制作方法

文档序号:18813353发布日期:2019-10-08 23:31阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种高精度激光射线同步测量一体机,包括上部铝盒和下部铝盒;上部铝盒内部设置X射线发射器;下部铝盒内部设置X射线接收器;上部铝盒外部设置上部激光测试头,上部激光测试头包括上部激光源和第一光电探测器;下部铝盒外部设置下部激光测试头,下部激光测试头包括下部激光源和第二光电探测器;测厚支架整体焊接后加工;测厚支架的外侧设置有控制系统。测厚支架内设置上直线电机和下直线电机;直线电机安装面采用侧铣加工,上直线电机和下直线电机同步驱动。本发明采用一体式非接触式同步测量膜面密度和厚度,测头高速精确反复定位,测量结果更加精准。

技术研发人员:杨牧;李维能
受保护的技术使用者:钛科优控(江苏)工业科技有限公司
技术研发日:2019.07.23
技术公布日:2019.10.01
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