一种薄膜真空计的制作方法

文档序号:19732574发布日期:2020-01-18 04:06阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种薄膜真空计,其特征在于,包括:

外壳(1),内部具有参考压力腔(2);

导线(4),一端伸至于所述外壳(1)的参考压力腔(2)内,另一端伸出所述外壳(1);

吸气剂(5),悬置在所述参考压力腔(2)内;所述吸气剂(5)内部设有电热元件,所述电热元件的两端与所述导线(4)连接。

2.根据权利要求1所述的薄膜真空计,其特征在于,所述电热元件为加热丝(3)或加热片。

3.根据权利要求2所述的薄膜真空计,其特征在于,所述加热丝(3)为保持螺旋的形状。

4.根据权利要求1所述的薄膜真空计,其特征在于,所述吸气剂(5)与所述外壳(1)的内壁之间保持均匀的间隔设置。

5.根据权利要求1所述的薄膜真空计,其特征在于,所述吸气剂(5)悬置在所述参考压力腔(2)的上下方向的中间。

6.根据权利要求1所述的薄膜真空计,其特征在于,所述导线(4)为刚性导线。

7.根据权利要求1所述的薄膜真空计,其特征在于,所述导线(4)朝向远离所述参考压力腔(2)内部的薄膜片(6)的方向向外伸出。

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