1.一种薄膜真空计,其特征在于,包括:
外壳(1),内部具有参考压力腔(2);
导线(4),一端伸至于所述外壳(1)的参考压力腔(2)内,另一端伸出所述外壳(1);
吸气剂(5),悬置在所述参考压力腔(2)内;所述吸气剂(5)内部设有电热元件,所述电热元件的两端与所述导线(4)连接。
2.根据权利要求1所述的薄膜真空计,其特征在于,所述电热元件为加热丝(3)或加热片。
3.根据权利要求2所述的薄膜真空计,其特征在于,所述加热丝(3)为保持螺旋的形状。
4.根据权利要求1所述的薄膜真空计,其特征在于,所述吸气剂(5)与所述外壳(1)的内壁之间保持均匀的间隔设置。
5.根据权利要求1所述的薄膜真空计,其特征在于,所述吸气剂(5)悬置在所述参考压力腔(2)的上下方向的中间。
6.根据权利要求1所述的薄膜真空计,其特征在于,所述导线(4)为刚性导线。
7.根据权利要求1所述的薄膜真空计,其特征在于,所述导线(4)朝向远离所述参考压力腔(2)内部的薄膜片(6)的方向向外伸出。