1.一种环件角度检具,其特征在于,所述检具包括含有内环面的检测套;
所述内环面上沿径向设有多个轴向凹槽,所述轴向凹槽与待测环件上设置的凸块相匹配。
2.根据权利要求1所述的检具,其特征在于,所述轴向凹槽的宽度大于待测环件凸块的宽度;
优选地,所述轴向凹槽与待测环件凸块宽度的差值为0.1~0.2mm;
优选地,所述轴向凹槽的深度大于待测环件凸块的厚度;
优选地,所述轴向凹槽的深度与待测环件凸块的厚度的差值为0.1~0.2mm;
优选地,所述轴向凹槽的长度大于待测环件凸块的长度;
优选地,所述轴向凹槽与待测环件凸块长度的差值为0.1~0.2mm。
3.根据权利要求2所述的检具,其特征在于,所述轴向凹槽远离检测套内环面的槽面两边设置有工艺孔;
优选地,所述工艺孔的直径为4~6mm,优选为4.5~5.5mm;
优选地,所述工艺孔与轴向凹槽深度相同。
4.根据权利要求1~3任一项所述的检具,其特征在于,所述检测套内环面的直径大于待测环件的直径;
优选地,所述检测套内环面的直径比待测环件的直径大0.1~0.2mm;
优选地,所述检测套的高度大于待测环件凸块与待测环件底部的距离;
优选地,所述检测套的高度比待测环件凸块与待测环件底部的距离大1~5mm,优选大2~4mm。
5.根据权利要求1~4任一项所述的检具,其特征在于,所述检测套的宽度大于待测环件凸块的长度;
优选地,所述检测套的宽度与待测环件凸块的长度的差值为15~25mm,优选为17~23mm。
6.根据权利要求5所述的检具,其特征在于,所述检测套为圆环套;
优选地,所述圆环套的环宽大于待测环件凸块的长度;
优选地,所述圆环套的环宽与待测环件凸块长度的差值为15~25mm,优选为17~23mm。
7.根据权利要求1~6任一项所述的检具,其特征在于,所述检测套上设置有支架孔;
优选地,所述支架孔贯穿检测套的上表面和下表面;
优选地,所述支架孔在检测套上沿内环面的直径呈轴对称设置。
8.根据权利要求1~7任一项所述的检具,其特征在于,所述检测套的内环面设置有胶带层;
优选地,所述轴向凹槽的表面设置有胶带层。
9.一种环件角度检验方法,其特征在于,采用权利要求1~8任一项所述的环件角度检具进行检验。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述方法包括:将待测环件凸块对应放入检具的轴向凹槽中,进行角度检验。
11.根据权利要求1~8任一项所述的环件角度检具在半导体和/或机械加工领域中的用途。