微粒检测器的制作方法

文档序号:22186701发布日期:2020-09-11 21:55阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微粒检测器,其用于对气体中的微粒进行检测,

所述微粒检测器的特征在于,具备:

壳体,该壳体具有供所述气体通过的气体流路;

电荷产生部,该电荷产生部对导入至所述气体流路内的所述气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷,由此使该微粒形成为带电微粒;

捕集部,该捕集部在所述气体流路内设置为相比所述电场产生部更靠所述气体的气流的下游侧,对捕集对象进行捕集,该捕集对象为所述带电微粒和没有带电于所述微粒的剩余电荷中的任一者;以及

检测部,该检测部基于根据所述捕集部捕集到的所述捕集对象而发生变化的物理量对所述微粒的量进行检测,

所述捕集部具有:在所述气体流路内露出的捕集电极、以及隔着所述气体流路而与所述捕集电极对置的对置电极,通过向所述捕集电极与所述对置电极之间所施加的电压而在所述气体流路中的所述捕集电极与所述对置电极之间产生电场,利用该电场,将所述捕集对象捕集于所述捕集电极,

所述壳体具有漏电流吸收电极,该漏电流吸收电极对从所述捕集电极及所述对置电极中的一方经所述壳体而向另一方流动的漏电流进行吸收。

2.根据权利要求1所述的微粒检测器,其特征在于,

所述漏电流吸收电极与地线连接。

3.根据权利要求1或2所述的微粒检测器,其特征在于,

所述漏电流吸收电极设置成:切断将所述捕集电极和所述对置电极连结的所述壳体内的电流路径。

4.根据权利要求3所述的微粒检测器,其特征在于,

所述电流路径的至少一部分由陶瓷形成,

所述漏电流吸收电极设置于所述由陶瓷形成的部分。

5.根据权利要求4所述的微粒检测器,其特征在于,

所述漏电流吸收电极跨设于所述由陶瓷形成的部分和所述壳体的内表面,或者跨设于所述由陶瓷形成的部分、所述壳体的内表面以及所述壳体的外表面。

6.根据权利要求1或2所述的微粒检测器,其特征在于,

所述漏电流吸收电极设置于所述壳体的内表面。

7.根据权利要求6所述的微粒检测器,其特征在于,

所述漏电流吸收电极按包围所述捕集电极的方式设置于与所述捕集电极相同的面。

8.根据权利要求5或6所述的微粒检测器,其特征在于,

所述漏电流吸收电极设置于所述壳体的内表面中的与设置有所述捕集电极的面不同的面。

9.根据权利要求1~8中的任一项所述的微粒检测器,其特征在于,

所述漏电流吸收电极在所述捕集电极的上方及下方位置从所述气体流路的气体导入口设置至气体排出口。

10.根据权利要求1~9中的任一项所述的微粒检测器,其特征在于,

所述捕集对象为所述带电微粒。

11.根据权利要求10所述的微粒检测器,其特征在于,

所述微粒检测器具备除去电极,该除去电极在所述气体流路内设置于所述电场产生部与所述捕集部之间,将没有带电于所述微粒的剩余电荷除去至地线,

使所述漏电流吸收电极与所述除去电极通用。

12.根据权利要求11所述的微粒检测器,其特征在于,

所述除去电极不具有使所述除去电极上产生电场的专用电源,利用在所述除去电极与配置于所述除去电极的周围的电压施加电极之间产生的电场,将所述剩余电荷除去至地线。

13.根据权利要求12所述的微粒检测器,其特征在于,

所述电压施加电极是:所述电荷产生部中的通过放电用电源而施加电压的放电电极、或者所述捕集部中的通过捕集用电源而施加电压的所述对置电极。


技术总结
微粒检测器10具备:陶瓷制的壳体22;电荷产生部30,其对导入至气体流路24内的气体中的微粒26附加通过放电而产生的电荷28,由此使该微粒26形成为带电微粒P;捕集部50,其对带电微粒进行捕集;以及个数测定装置64,其基于根据捕集部50捕集到的带电微粒P而发生变化的电流,对微粒的数量进行检测。捕集部50具有:在气体流路24内露出的捕集电极54、以及隔着气体流路24而与捕集电极54对置的对置电极52,通过向捕集电极54与对置电极52之间所施加的电压而在捕集电极54与对置电极52之间产生电场,利用该电场将带电微粒P捕集于捕集电极54。壳体22具有保护电极,该保护电极对从对置电极52经壳体22向捕集电极54流动的漏电流进行吸收。

技术研发人员:菅野京一;奥村英正;水野和幸
受保护的技术使用者:日本碍子株式会社
技术研发日:2019.01.25
技术公布日:2020.09.11
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