1.一种惰性气体测量装置，包括：分别与测量室(3)连通的进气管(1)和出气管(2)，光电倍增管(7)，其特征在于：包括：
探测器，在所述测量室(3)的至少一端设置，所述探测器用于对β粒子进行探测。
2.根据权利要求1述的一种惰性气体测量装置，其特征在于：所述探测器在所述测量室(3)的两端均设置。
3.根据权利要求1或2述的一种惰性气体测量装置，其特征在于：所述探测器的探测面积为pips探测器有效面积450mm2的6.2倍～12.4倍。
4.根据权利要求3述的一种惰性气体测量装置，其特征在于：所述探测器包括：
金属层(4)，设置于所述测量室(3)的端部，一面形成所述测量室(3)的内壁：
高β/γ塑料闪烁体(5)，设置于所述金属层(4)的不在测量室的一侧；
碗形光收集器(6)，设置于所述塑料闪烁体(5)的没有被金属层遮挡的一侧，所述塑料闪烁体(5)的碗口朝向所述塑料闪烁体(5)，所述碗形光收集器(6)用来隔离环境光及把荧光光子最大可能的导向所述光电倍增管(7)；
光电倍增管(7)，设置于所述碗形光收集器(6)的碗底部。
5.根据权利要求4述的一种惰性气体测量装置，其特征在于：所述光电倍增管(7)为硅光电被增管。
6.根据权利要求5述的一种惰性气体测量装置，其特征在于：所述硅光电被增管高度小于1mm。
7.根据权利要求4述的一种惰性气体测量装置，其特征在于：所述金属层(4)为钛箔或钛片。
8.根据权利要求7述的一种惰性气体测量装置，其特征在于：所述钛箔厚度为1～7um。
9.根据权利要求7述的一种惰性气体测量装置，其特征在于：所述钛片厚度为0.5～3mm。
10.一种惰性气体测量方法，其特征在于：使用权利要求1-9任一项的惰性气体测量装置测量惰性气体含量。