技术总结
本发明涉及微机械传感器技术领域，一个方面，提供了一种非对称梁谐振式微机械加速度传感器，包括多件谐振敏感芯片；所述谐振敏感芯片的惯性不同；所述第一盖板和第二盖板与对应的谐振敏感芯片之间均形成检测电容，相邻两件谐振敏感芯片之间形成静电弱耦合电容。另一个方面，提供了一种电子装置，包括上述的非对称梁谐振式微机械加速度传感器，及控制单元；所述控制单元分为驱动谐振敏感芯片振动的驱动单元，和检测谐振敏感芯片振动参数的检测单元。应用本发明的技术方案，可提高基于弱耦合谐振原理以检测加速度的灵敏度；在工作中，可控制谐振敏感芯片的耦合强度，方便根据实际需求调节灵敏度参数，同时提高温度适应性。同时提高温度适应性。同时提高温度适应性。
技术研发人员：刘猛 唐彬 王超 赵剑
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院电子工程研究所
技术研发日：2020.10.21
技术公布日：2021/1/29