一种测试站三轴微调装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及高精度机械领域，尤其是涉及一种用于半导体晶片制造加工领域的测试站三轴微调装置。


背景技术：

[0002]
现有技术的三轴微调装置其基本原理也是设置x向调节组件、y向调节组件和z向调节组件，但是其调节组件的上下模块，是通过直接设置滑轨进行连接，这种连接方式对于滑轨工艺要求非常高，而且即便是非常高的滑轨制造工艺也会能难实现稳定的微米调节。
[0003]
中国专利cn110068447a一体集成式衍射光学元件测试设备，其中就用到了三向调节支架。其说明书第24至34段就描述了其调节精度为毫米级。
[0004]
在半导体加工领域，对于精度要求非常高，甚至达到了微米级，因此本申请的测试站三轴微调装置通过在上下模块之间设置交叉滚珠导轨，实现稳定的微米级调节。


技术实现要素：

[0005]
本实用新型所要解决的问题是，针对上述现有技术中的缺点，提出改进方案或者替换方案，尤其是一种提高提高调节精度，尤其是微米级微调的改进或者替换方案。
[0006]
为解决上述问题，本实用新型采用的方案如下：一种测试站三轴微调装置，其特征在于，包括x向调节组件、y向调节组件和z向调节组件；所述x向调节组件包括x向下模块和x向上模块，所述x向下模块和x向上模块之间设有交叉滚珠导轨，x向下模块和x向上模块通过千分尺旋钮组件连接，x向上模块在千分尺旋钮组件作用下能够沿交叉滚珠导轨在x向下模块上平行移动；所述z向调节组件包括z向下模块和z向上模块，所述z向下模块和z向上模块之间设有交叉滚珠导轨，z向下模块和z向上模块通过千分尺旋钮组件连接，z向上模块在千分尺旋钮组件作用下能够沿交叉滚珠导轨在z向下模块上平行移动，z向下模块固定设置在x向上模块上；所述y向调节组件包括y向左模块和y向右模块，所述y向左模块和z向右模块之间设有交叉滚珠导轨，y向左模块和y向右模块通过千分尺旋钮组件连接，y向右模块在千分尺旋钮组件作用下能够沿交叉滚珠导轨在z向左模块上平行移动，z向左模块固定设置在y向上模块上；所述y向右模块用于安装测试站。
[0007]
进一步，根据上述设计方案所述测试站三轴微调装置，其特征在于，所述交叉滚珠导轨由两组相互平行设置的滚珠导轨组成。
[0008]
进一步，根据上述设计方案所述测试站三轴微调装置，其特征在于，所述千分尺旋钮组件包括第一安装支架、第二安装支架和千分尺旋钮；所述第一安装支架设置在x向下模块、y向左模块、z向下模块上；所述第二安装支架设置在x向上模块、y向右模块、z向上模块上；所述千分尺旋钮设置在第一安装支架上，并且其延伸部与第二安装支架连接。
[0009]
进一步，根据上述设计方案所述测试站三轴微调装置，其特征在于，所述滚珠导轨包括两条导轨和设置在两条导轨之间用于连接两条导轨的滚珠，所述滚珠导轨中的一条导轨固定连接x向下模块、y向左模块、z向下模块，另一条导轨固定连接对应的x向上模块、y向
为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定 的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第 一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0024]
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安 装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地 连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连， 可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术 语在本实用新型中的具体含义。
[0025]
实施例：为了方便描述这里将x向下模块、y向左模块、z向下模块统称为下模块，将x向上模块、y向右模块、z向上模块统称为上模块。
[0026]
一种测试站三轴微调装置，包括x向调节组件、y向调节组件和z向调节组件；所述x向调节组件包括x向下模块和x向上模块，所述x向下模块和x向上模块之间设有交叉滚珠导轨，x向下模块和x向上模块通过千分尺旋钮组件连接，x向上模块在千分尺旋钮组件作用下能够沿交叉滚珠导轨在x向下模块上平行移动；所述z向调节组件包括z向下模块和z向上模块，所述z向下模块和z向上模块之间设有交叉滚珠导轨，z向下模块和z向上模块通过千分尺旋钮组件连接，z向上模块在千分尺旋钮组件作用下能够沿交叉滚珠导轨在z向下模块上平行移动，z向下模块固定设置在x向上模块上；所述y向调节组件包括y向左模块和y向右模块，所述y向左模块和z向右模块之间设有交叉滚珠导轨，y向左模块和y向右模块通过千分尺旋钮组件连接，y向右模块在千分尺旋钮组件作用下能够沿交叉滚珠导轨在z向左模块上平行移动，z向左模块固定设置在y向上模块上；所述y向右模块用于安装测试站；所述交叉滚珠导轨由两组相互平行设置的滚珠导轨组成；所述千分尺旋钮组件包括第一安装支架、第二安装支架和千分尺旋钮；所述第一安装支架设置在x向下模块、y向左模块、z向下模块上；所述第二安装支架设置在x向上模块、y向右模块、z向上模块上；所述千分尺旋钮设置在第一安装支架上，并且其延伸部与第二安装支架连接；所述滚珠导轨包括两条导轨和设置在两条导轨之间用于连接两条导轨的滚珠，所述滚珠导轨中的一条导轨固定连接x向下模块、y向左模块、z向下模块，另一条导轨固定连接对应的x向上模块、y向右模块、z向上模块；所述x向下模块、y向左模块、z向下模块上均设有一条平行导向条，交叉滚珠导轨的两条滚珠导轨分别设置在平行导向条的两侧；所述第二安装支架上设有小径滚珠轴承和千分尺安装座；所述千分尺安装座的一端设置在小径滚珠轴承内，另一端设有千分尺连接槽；所述千分尺连接槽用于固定连接千分尺旋钮的延伸部。
[0027]
在使用时，调节x向，转动x向调节组件上的千分尺旋转，使得x向上模块沿交叉滚珠导轨平移。同理调节y和z向采取同样的操作。
[0028]
在上下模块之间（x向下模块、y向左模块、z向下模块与x向上模块、y向右模块、z向上模块之间）设置一块固定板，固定板上设有腰型孔，固定板固定设置在下模块（x向下模块、y向左模块、z向下模块）上，在调节完毕后，通过腰型孔和螺丝将其固定在上模块（x向上模块、y向右模块、z向上模块）进行调节后的固定。
[0029]
将测试插座设置在y向右模块上，经过上述步骤调整后使得吸嘴能够将产品（半导体晶片）准确的放入测试插座上的指定位置。
[0030]
1.此结构用于测试模块，利用调节结构使得吸嘴上产品的中心和测试插座的中心
位置对齐。
[0031]
2. 通过活动千分尺旋钮刻度，带动零件在交叉滚珠导轨上移动，从而实现微调xyz方向（调节1刻度=1μm，行程
±
6.5mm）。
[0032]
3.调节精准，能实现微量移动。