技术特征：
1.一种二极管内部结构的剥露方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：提供至少两个二极管样品，至少一个二极管样品作为横向样品，剩余二极管样品作为纵向样品；步骤2：获取横向样品和纵向样品的外部结构信息和内部结构信息；步骤3：根据横向样品和纵向样品的外部结构信息和内部结构信息，确定横向样品的横向开封剖面和开封夹持面以及纵向样品的纵向研磨剖面，并在横向样品上标记横向开封剖面，在纵向样品上标记纵向研磨剖面；步骤4：对横向样品进行横向机械开封，剥露横向样品的横向结构；对纵向样品进行纵向研磨，剥露纵向样品的纵向结构。2.根据权利要求1所述的二极管内部结构的剥露方法，其特征在于，所述二极管为螺栓安装二极管或轴向引线金属外壳二极管；和/或，所述外部结构信息为封装结构和焊接方式。3.根据权利要求1或2所述的二极管内部结构的剥露方法，其特征在于，所述内部结构信息为颈缩机械连接端的位置、芯片方位和过芯片中心的轴线位置。4.根据权利要求1或2所述的二极管内部结构的剥露方法，其特征在于，所述横向开封剖面位于颈缩机械连接端的下方且高于芯片的下表面。5.根据权利要求1或2所述的二极管内部结构的剥露方法，其特征在于，所述纵向研磨剖面贯穿纵向样品的过芯片中心的轴线，并与芯片的其中一组边平行。6.根据权利要求1或2所述的二极管内部结构的剥露方法，其特征在于，所述步骤3与步骤4之间，还包括如下步骤：对横向样品和纵向样品的外表面进行处理，去除妨碍后续开封、研磨的表面突起物。7.根据权利要求1或2所述的二极管内部结构的剥露方法，其特征在于，所述步骤4中，对横向样品进行横向机械开封，包括如下步骤：步骤41：固定横向样品；步骤42：沿横向开封剖面作往复切割，吃劲变空后立即松开，松开横向样品，沿圆周顺时针或逆时针向下旋转60
°
，再次固定横向样品；步骤43：重复步骤42，直至横向开封剖面被完全切开，将切开后的两部分沿横向样品的轴线方向分离，剥露横向样品的横向结构，完成横向机械开封。8.根据权利要求1或2所述的二极管内部结构的剥露方法，其特征在于，所述步骤4中，对纵向样品进行纵向研磨，包括如下步骤：步骤41’：将纵向样品灌封于灌装材料内；步骤42’：沿平行于纵轴线的方向，纵向研磨至纵向研磨剖面，剥露纵向样品的纵向结构并抛光，完成纵向研磨。9.根据权利要求8所述的二极管内部结构的剥露方法，其特征在于，所述步骤42’中，在纵向研磨过程中，当纵向样品的外壳被研磨透，立即将灌装材料灌入纵向样品的空腔内。10.一种二极管内部结构的检查方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤a：采用如权利要求1至9所述的二极管内部结构的剥露方法，剥露横向样品的横向结构和纵向样品的纵向结构；步骤b：对横向结构和纵向结构进行检查。
技术总结
本发明公开了一种二极管内部结构的剥露方法和检查方法，属于二极管结构分析技术领域，解决了现有技术中螺栓安装二极管或轴向引线金属外壳二极管无法采用金属圆帽器件开封机剥露内部结构以供检查的问题。该剥露方法包括如下步骤：提供横向样品和纵向样品；获取横向样品和纵向样品的外部结构信息和内部结构信息；确定横向样品的横向开封剖面和开封夹持面以及纵向样品的纵向研磨剖面，并在横向样品上标记横向开封剖面，在纵向样品上标记纵向研磨剖面；对横向样品进行横向机械开封，剥露横向样品的横向结构；对纵向样品进行纵向研磨，剥露纵向样品的纵向结构。本发明二极管内部结构的剥露方法和检查方法可用于二极管内部结构的剥露和检查。构的剥露和检查。构的剥露和检查。
技术研发人员：李兴鲁 王志林 闫玉波
受保护的技术使用者：北京振兴计量测试研究所
技术研发日：2021.09.01
技术公布日：2023/3/2