技术特征：
1.一种微机电系统(mems)装置，包括：基底；检测质量块，耦合到所述基底并且被配置为沿着谐振器轴移动；驱动结构，包括至少一个电极，并且被配置为驱动所述检测质量块沿着所述谐振器轴线移动；和枢转连杆，在所述枢转连杆的第一端和第二端处耦合到所述检测质量块，所述第一端包括第一固定枢轴并且所述第二端包括第二固定枢轴，所述枢转连杆包括：第一杆，被配置为围绕所述第一固定枢轴和第一动态枢轴枢转；第二杆，被配置为围绕所述第二固定枢轴和第二动态枢轴枢转；和第三杆，被配置为围绕所述第一动态枢轴和所述第二动态枢轴枢转，其中所述检测质量块被配置为当所述枢转连杆枢转时沿着所述谐振器轴移动。2.权利要求1所述的mems装置，其中所述枢转连杆耦合到所述驱动结构，并且被配置为在所述驱动结构和所述检测质量块之间传递运动。3.权利要求1所述的mems装置，其中当所述第一和第二杆沿相反方向旋转时，防止所述第三杆相对于所述检测质量块旋转。4.权利要求3所述的mems装置，其中所述第三杆被配置为当所述第一和第二杆沿相同方向旋转时相对于所述检测质量块旋转。5.权利要求3所述的mems装置，其中所述第三杆通过至少一个弹簧耦合到所述驱动结构。6.权利要求3所述的mems装置，其中所述第三杆通过一个或多个系绳耦合到所述第一和第二杆中的每一个。7.权利要求1所述的mems装置，其中:所述第三杆包括被配置为围绕所述第一动态枢轴和所述第三动态枢轴枢转的第一部分；和所述第三杆包括被配置为围绕所述第二动态枢轴和所述第三动态枢轴枢转的第二部分。8.权利要求1所述的mems装置，还包括：至少一个感测结构，包括至少一个电极并且被配置为沿着基本上垂直于所述谐振器轴的第二轴移动；第二枢转连杆，在所述第二枢转连杆的第一端和第二端处耦合到所述检测质量块，所述第二枢转连杆的第一端包括第三固定枢轴，并且所述第二枢转连杆的第二端包括第四固定枢轴，所述枢转连杆包括：第一杆，被配置为围绕所述第三固定枢轴和所述第三动态枢轴枢转；第二杆，被配置为围绕所述第四固定枢轴和所述第四动态枢轴枢转；和第三杆，被配置为围绕所述第三动态枢轴和所述第四动态枢轴枢转，其中所述至少一个感测结构被配置为当所述枢转连杆枢转时沿着所述第二轴移动。9.权利要求1所述的mems装置，其中所述第三杆包括：第一部分，被配置为围绕所述第一动态枢轴和所述第三动态枢轴枢转；第二部分，被配置为围绕所述第二动态枢轴和所述第四动态枢轴枢转；和
第三部分，被配置为围绕所述第三动态枢轴和所述第四动态枢轴枢转。10.一种微机电系统(mems)装置，包括:基底；检测质量块，耦合到所述基底并且被配置为响应于所述mems装置的旋转而沿着第一轴移动；感测结构，包括至少一个电极并且被配置为沿着所述第一轴移动；和枢转连杆，在所述枢转连杆的第一端和第二端处将所述感测结构耦合到所述检测质量块，所述第一端包括第一固定枢轴并且所述第二端包括第二固定枢轴,所述枢转连杆包括：第一杆，被配置为围绕所述第一固定枢轴和第一动态枢轴枢转；第二杆，被配置为围绕所述第二固定枢轴和第二动态枢轴枢转；和第三杆，被配置为围绕所述第一动态枢轴和所述第二动态枢轴枢转，其中所述枢转连杆被配置为当所述检测质量块沿着所述第一轴移动时枢转。11.权利要求10所述的mems装置，其中所述枢转连杆耦合到所述感测结构，并且被配置为在所述检测质量块和所述感测结构之间传递运动。12.权利要求10所述的mems装置，其中所述第三杆包括弹簧。13.权利要求12所述的mems装置，其中所述第三杆被配置为当所述第一和第二杆沿着第一方向旋转时相对于所述检测质量块旋转。14.权利要求13所述的mems装置，其中当所述第一和第二杆沿着所述第一方向旋转时，所述第三杆被配置为沿着与第一方向相反的第二方向旋转。15.一种微机电系统(mems)装置，包括:检测质量块，被配置为沿着第一轴移动；驱动结构，包括至少一个电极并且被配置为沿着所述第一轴驱动所述检测质量块；和连杆，将所述检测质量块耦合到所述至少一个驱动结构，其中所述连杆包括：第一杠杆，在所述第一杠杆的第一端处耦合到所述检测质量块；第一弹簧，在所述第一杠杆的第二端处耦合到所述第一杠杆；第二杠杆，在所述第二杠杆的第一端处耦合到所述检测质量块；第二弹簧，在所述第二杠杆的第二端处耦合到所述第二杠杆；其中所述第一和第二弹簧耦合在一起；和其中所述连杆被配置为围绕所述第一弹簧的第一和第二动态枢轴以及所述第二弹簧的第一和第二动态枢轴枢转。16.权利要求15所述的mems装置，其中所述第一和第二弹簧包括箱形弹簧。17.权利要求15所述的mems装置，其中所述第一弹簧的第一和第二动态枢轴设置在所述第一弹簧的相对对角线上。18.权利要求15所述的mems装置，其中所述第一和第二弹簧的第二动态枢轴包括在所述第一和第二弹簧之间共享的共享枢轴。19.权利要求15所述的mems装置，还包括位于所述第一杠杆的第一端的第一固定枢轴和位于所述第二杠杆的第二端的第二固定枢轴。20.权利要求15所述的mems装置，还包括耦合到所述检测质量块的基底，其中所述驱动结构的至少一个电极和所述基底的至少一个电极一起形成至少一个驱动电容器。
技术总结
提供MEMS装置，包括：基底；检测质量块，耦合到所述基底并且被配置为沿着谐振器轴移动；驱动结构，包括至少一个电极，并且被配置为驱动所述检测质量块沿着所述谐振器轴线移动；和枢转连杆，在所述枢转连杆的第一端和第二端处耦合到所述检测质量块，所述第一端包括第一固定枢轴并且所述第二端包括第二固定枢轴，所述枢转连杆包括：第一杆，被配置为围绕所述第一固定枢轴和第一动态枢轴枢转；第二杆，被配置为围绕所述第二固定枢轴和第二动态枢轴枢转；和第三杆，被配置为围绕所述第一动态枢轴和所述第二动态枢轴枢转，其中当枢转连杆枢转时检测质量块沿着所述谐振器轴移动。测质量块沿着所述谐振器轴移动。测质量块沿着所述谐振器轴移动。
技术研发人员：I
受保护的技术使用者：美国亚德诺半导体公司
技术研发日：2021.06.07
技术公布日：2023/3/17