一种靶材尺寸测量装置

1.本发明涉及靶材测量技术领域，具体为一种靶材尺寸测量装置。


背景技术：

2.镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路(vlsi)、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。
3.而靶材生产后需要对其进行测量，以确保尺寸规格符合要求。目前，有两种测量方案，一：由工作人员手持测量仪器进行靶材测量，在测量过程中则可能剐蹭或者划伤靶材膜层；二：工作人员将靶材固定到支架上，再进行测量，其仅能测量一种固定规格或尺寸很接近的靶材，适用范围存在局限性。
4.为此需要设计一种靶材尺寸测量装置，以便于解决上述中提出的问题。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种靶材尺寸测量装置，以解决上述背景技术提出的问题。
6.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种靶材尺寸测量装置，包括定位测量座，所述定位测量座的顶部固定安装有两个对称设置的固定架，且两个固定架之间滑动安装有升降触板，所述升降触板的底部固定连接有竖向焊柱，且竖向焊柱的底端可拆式安装有限位测具，所述定位测量座的顶部开设有凹槽，且凹槽内固定安装有靶材入座，所述靶材入座位于限位测具的下方，且靶材入座上固定有靶材本体，所述靶材入座内安装有压力传感器，且靶材本体与压力传感器接触。
7.优选的，所述靶材入座的顶部开设有安装槽，且安装槽槽底的中心处安装压力传感器，所述靶材本体固定于安装槽内并贴于压力传感器，所述竖向焊柱的底部开设有固定槽，且固定槽内固定安装有测距传感器，所述限位测具的中心处开设有通孔，且通孔位于测距传感器的下方。
8.优选的，所述定位测量座顶部的中心处开设有导向顺槽，所述升降触板底部的中心处固定连接有金属导杆，且金属导杆的底端滑动连接于导向顺槽内。
9.优选的，所述导向顺槽的槽底固定连接有抗压弹簧，且抗压弹簧的顶端固定连接有限位滑档，所述限位滑档滑动安装于导向顺槽内，所述限位滑档的顶部镶嵌有金属片，且金属片、金属导杆和测距传感器电性连接。
10.优选的，所述导向顺槽的侧壁开设有滑槽，且滑槽内滑动安装有侧轨齿条，所述滑槽内固定连接有复位弹簧，且复位弹簧的另一端与侧轨齿条固定连接，所述侧轨齿条的另一侧伸至导向顺槽内，所述滑槽内设有与侧轨齿条相配合的除尘组件。
11.优选的，所述除尘组件包括延伸孔、联动转轴、吸风叶片和定齿轮，所述延伸孔开设于滑槽的顶壁并与凹槽相通，所述滑槽内转动安装有联动转轴，且联动转轴伸至延伸孔
内并固定连接有吸风叶片，所述联动转轴上还固定套有定齿轮，且定齿轮与侧轨齿条啮合，所述安装槽的槽底开设有与凹槽相通的吸孔，所述滑槽的底壁安装有集尘盒。
12.优选的，所述升降触板上安装有plc控制器，左侧的固定架上开设有升降槽，且升降槽内转动安装有立丝杆，所述立丝杆上螺纹安装有螺座，且螺座滑动安装于升降槽内，左侧固定架的顶部固定安装有伺服电机，且伺服电机的输出端与立丝杆固定连接，所述升降触板固定安装于螺座上，所述伺服电机、压力传感器与plc控制器电性连接。
13.优选的，右侧的固定架上开设有顺向槽，且顺向槽内固定连接有导向轨，所述导向轨上滑动安装有导向座，且导向座滑动安装于顺向槽内，所述升降触板的右侧固定安装于导向座上。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
15.(1)该靶材尺寸测量装置，测量时先将待检测的靶材本体置入安装槽内，使靶材本体压于压力传感器上，压力传感器会显示出压力，表明安装槽内存有靶材本体，以免出现漏测或空测的清洁，随后控制升降触板下移，使限位测具同步下移并与靶材本体接触，使靶材本体得以固定，以便后续的尺寸测量，而当靶材本体恰好与限位测具接触时，测距传感器会显示出一个定值，可更换不同的靶材本体进行重复测量，以确保同规格的靶材本体是否符合要求。
16.(2)该靶材尺寸测量装置，亦可测量不同尺寸的靶材，由于安装槽的槽底呈弧形，继而使不同尺寸的靶材本体均可压于压力传感器上，并且限位测具移动距离可调节，使不同尺寸的靶材本体均可固定住，以便准确的测量不同规格靶材本体的实际尺寸，适用性较强。
17.(3)该靶材尺寸测量装置，在升降触板未下移前，测距传感器未通电使用，而当升降触板下移带动竖向焊柱同步移动时，金属导杆的底端挤压限位滑档上的金属片，在金属导杆与金属片的接触状态下，测距传感器通电并使用，避免测距传感器在未定位靶材本体前检测出多种数据而影响人为观察，提高测量的效率。
18.(4)该靶材尺寸测量装置，在金属导杆向着导向顺槽内滑动时，金属导杆会挤压侧轨齿条，侧轨齿条带动定齿轮转动，使定齿轮带动联动转轴和吸风叶片转动，在延伸孔、吸孔和集尘盒的配合下，清理掉安装槽内的灰尘，进而提高靶材本体测量时的清洁性，以减少测量误差。
附图说明
19.图1为本发明结构示意图；
20.图2为本发明结构竖向焊柱与限位测具的连接剖视图；
21.图3为本发明结构靶材入座的剖视图；
22.图4为本发明结构图1中a部的放大图；
23.图5为本发明结构侧轨齿条与定齿轮的连接俯视图；
24.图6为本发明结构图1中b部的放大图。
25.图中：1、定位测量座；2、固定架；3、升降触板；4、竖向焊柱；5、限位测具；6、靶材入座；61、安装槽；62、吸孔；7、靶材本体；8、压力传感器；9、测距传感器；10、金属导杆；11、导向顺槽；12、抗压弹簧；13、限位滑挡；14、金属片；15、侧轨齿条；16、复位弹簧；17、延伸孔；18、
联动转轴；19、吸风叶片；20、定齿轮；21、集尘盒；22、plc控制器；23、升降槽；24、立丝杆；25、伺服电机；26、螺座；27、顺向槽；28、导向轨；29、导向座。
具体实施方式
26.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
27.请参阅图1-6，本发明提供以下实施例：
28.实施例一
29.一种靶材尺寸测量装置，包括定位测量座1，定位测量座1的顶部固定安装有两个对称设置的固定架2，且两个固定架2之间滑动安装有升降触板3，升降触板3的底部固定连接有竖向焊柱4，且竖向焊柱4的底端可拆式安装有限位测具5，定位测量座1的顶部开设有凹槽，且凹槽内固定安装有靶材入座6，靶材入座6位于限位测具5的下方，且靶材入座6上固定有靶材本体7，靶材入座6内安装有压力传感器8，且靶材本体7与压力传感器8接触。
30.进一步的，靶材入座6的顶部开设有安装槽61，且安装槽61槽底的中心处安装压力传感器8，靶材本体7固定于安装槽61内并贴于压力传感器8，竖向焊柱4的底部开设有固定槽，且固定槽内固定安装有测距传感器9，限位测具5的中心处开设有通孔，且通孔位于测距传感器9的下方。
31.进一步的，定位测量座1顶部的中心处开设有导向顺槽11，升降触板3底部的中心处固定连接有金属导杆10，且金属导杆10的底端滑动连接于导向顺槽11内。
32.进一步的，导向顺槽11的槽底固定连接有抗压弹簧12，且抗压弹簧12的顶端固定连接有限位滑档13，限位滑档13滑动安装于导向顺槽11内，限位滑档13的顶部镶嵌有金属片14，且金属片14、金属导杆10和测距传感器9电性连接。
33.本实施例的具体实施方式为：测量时先将待检测的靶材本体7置入安装槽61内，使靶材本体7压于压力传感器8上，压力传感器8会显示出压力，表明安装槽64内存有靶材本体7，以免出现漏测或空测的清洁，随后控制升降触板3下移，使限位测具5同步下移并与靶材本体7接触，使靶材本体7得以固定，以便后续的尺寸测量，而当靶材本体7恰好与限位测具5接触时，测距传感器9会显示出一个定值，可更换不同的靶材本体7进行重复测量，以确保同规格的靶材本体7是否符合要求；
34.亦可测量不同尺寸的靶材，由于安装槽61的槽底呈弧形，继而使不同尺寸的靶材本体7均可压于压力传感器8上，并且限位测具5移动距离可调节，使不同尺寸的靶材本体7均可固定住，以便准确的测量不同规格靶材本体7的实际尺寸，适用性较强。
35.实施例二
36.与实施例一的不同之处在于，还包括以下内容：
37.导向顺槽11的侧壁开设有滑槽，且滑槽内滑动安装有侧轨齿条15，滑槽内固定连接有复位弹簧16，且复位弹簧16的另一端与侧轨齿条15固定连接，侧轨齿条15的另一侧伸至导向顺槽11内，滑槽内设有与侧轨齿条15相配合的除尘组件。
38.进一步的，除尘组件包括延伸孔17、联动转轴18、吸风叶片19和定齿轮20，延伸孔
17开设于滑槽的顶壁并与凹槽相通，滑槽内转动安装有联动转轴18，且联动转轴18伸至延伸孔17内并固定连接有吸风叶片19，联动转轴18上还固定套有定齿轮20，且定齿轮20与侧轨齿条15啮合，安装槽61的槽底开设有与凹槽相通的吸孔62，滑槽的底壁安装有集尘盒21。
39.进一步的，升降触板3上安装有plc控制器22，左侧的固定架2上开设有升降槽23，且升降槽23内转动安装有立丝杆24，立丝杆24上螺纹安装有螺座26，且螺座26滑动安装于升降槽23内，左侧固定架2的顶部固定安装有伺服电机25，且伺服电机25的输出端与立丝杆24固定连接，升降触板3固定安装于螺座26上，伺服电机25、压力传感器8与plc控制器22电性连接。
40.进一步的，右侧的固定架2上开设有顺向槽27，且顺向槽27内固定连接有导向轨28，导向轨28上滑动安装有导向座29，且导向座29滑动安装于顺向槽27内，升降触板3的右侧固定安装于导向座29上，升降触板3的升降依靠伺服电机25，伺服电机25带动立丝杆24转动，使螺座26沿着升降槽23在立丝杆24上移动，继而使升降触板3得以移动，同时导向座29沿着导向轨28在顺向槽27内滑动，保障限位测具5移动的平稳性。
41.本实施例中：在升降触板3未下移前，测距传感器9未通电使用，而当升降触板3下移带动金属导杆10同步移动时，金属导杆10的底端挤压限位滑档13上的金属片14，在金属导杆10与金属片14的接触状态下，测距传感器9通电并使用，避免测距传感器9在未定位靶材本体7前检测出多种数据而影响人为观察，提高测量的效率；
42.另外，在金属导杆10向着导向顺槽11内滑动时，金属导杆10会挤压侧轨齿条15，侧轨齿条15带动定齿轮20转动，使定齿轮20带动联动转轴18和吸风叶片19转动，在延伸孔17、吸孔62和集尘盒21的配合下，清理掉安装槽61内的灰尘，进而提高靶材本体7测量时的清洁性，以减少测量误差。
43.本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
44.尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。