技术特征：
1.一种测量仪器的校准方法，所述测量仪器包括可在预设平面移动的承载平台和可在与所述预设平面垂直的第一方向移动的多个物镜，所述校准方法用于在切换所述物镜时对工作物镜进行校准，其特征在于，包括：将具有十字图案的标准件置于所述承载平台；令所述多个物镜中的第一物镜作为工作物镜，令工作物镜对焦并对准于所述十字图案，将所述第一物镜在所述第一方向的位置作为第一位置，并将所述承载平台在所述预设平面的位置作为第二位置；令所述多个物镜中的第二物镜作为工作物镜，令工作物镜对所述标准件进行测量，调整所述第二物镜的位置以使所述第二物镜对焦于所述十字图案并调整所述承载平台的位置以使所述第二物镜对准于所述十字图案，将所述第二物镜在所述第一方向的位置作为第三位置，并将所述承载平台在所述预设平面的位置作为第四位置；在测量过程中，工作物镜在所述第一物镜和所述第二物镜之间切换时，基于所述第一位置和所述第三位置对工作物镜进行齐焦校准；并且基于所述第二位置和所述第四位置对工作物镜进行同心校准。2.如权利要求1所述的校准方法，其特征在于：所述测量仪器还包括用于切换所述多个物镜的旋转部，通过以预设顺序旋转所述旋转部以切换不同的物镜作为工作物镜。3.如权利要求1所述的校准方法，其特征在于：令所述第一位置与所述第三位置之间的差值为第一误差，基于所述第一误差对工作物镜进行齐焦校准。4.如权利要求1所述的校准方法，其特征在于：所述测量仪器还包括用于获得所述第一位置和所述第三位置的第一测量元件，所述第一测量元件为光栅尺。5.如权利要求1所述的校准方法，其特征在于：令所述第二位置与所述第四位置之间的差值为第二误差，基于所述第二误差对工作物镜进行同心校准。6.如权利要求5所述的校准方法，其特征在于：所述承载平台配置为在所述预设平面内可沿着第二方向移动并可沿着与所述第二方向正交的第三方向移动，所述第二误差包括沿着所述第二方向的第一子误差和沿着所述第三方向的第二子误差，基于所述第一子误差和所述第二子误差对工作物镜进行同心校准。7.如权利要求6所述的校准方法，其特征在于：所述测量仪器还包括用于获得所述第二位置和所述第四位置的第二测量元件，通过所述第二测量元件获得所述承载平台从所述第二位置移动至所述第四位置的位移以获得所述第一子误差和所述第二子误差。8.如权利要1所述的校准方法，其特征在于：当工作物镜对焦所述十字图案时，所述十字图案位于工作物镜的焦平面，当工作物镜对准所述十字图案时，工作物镜的光轴经过所述十字图案的中心。9.一种测量仪器的校准装置，所述测量仪器包括可在预设平面移动的承载平台和可在与所述预设平面垂直的第一方向移动的多个物镜，其特征在于：所述校准装置包括记录模块、处理模块、存储模块、以及控制模块，所述记录模块用于记录第一物镜对具有十字图案的标准件进行测量时的第一位置和第二位置，并且用于记录第二物镜对所述具有十字图案
的标准件进行测量时的第三位置和第四位置，所述第一位置为所述第一物镜对焦于所述标准件的十字图案时所述第一物镜在所述第一方向的位置，所述第二位置为所述第一物镜对准于所述十字图案时所述承载平台在所述预设平面的位置，所述第三位置为所述第二物镜对焦于所述标准件的十字图案时所述第二物镜在所述第一方向的位置，所述第四位置为所述第二物镜对准于所述十字图案时所述承载平台在所述预设平面的位置；所述处理模块配置为基于所述第一位置和所述第三位置获得第一误差，并基于所述第二位置和所述第四位置获得第二误差；所述存储模块配置为存储与多组所述第一误差和多组所述第二误差，所述控制模块配置为在所述测量仪器切换工作物镜时，基于工作物镜的切换情况从所述存储模块获得所述第一误差和所述第二误差，并基于所述第一误差控制工作物镜在所述第一方向移动以使所述多个物镜齐焦，并基于所述第二误差控制所述承载平台在所述预设平面移动以使所述多个物镜同心。10.如权利要9所述的校准装置，其特征在于：还包括与所述控制模块信号连接的驱动模块，所述驱动模块包括用于驱动所述工作物镜在所述第一方向移动的第一驱动机构和用于驱动所述承载平台在与所述预设平面移动的第二驱动机构。
技术总结
本公开描述了一种测量仪器的校准方法及其校准装置，包括：将具有十字图案的标准件置于承载平台；令多个物镜中的第一物镜作为工作物镜，令工作物镜对焦并对准于十字图案，将第一物镜在第一方向的位置作为第一位置，并将承载平台在预设平面的位置作为第二位置；令多个物镜中的第二物镜作为工作物镜，调整第二物镜的位置以使第二物镜对焦于十字图案并调整承载平台的位置以使第二物镜对准于十字图案，将第二物镜在第一方向的位置作为第三位置，并将承载平台在预设平面的位置作为第四位置；基于第一位置和第三位置对工作物镜进行齐焦校准；并且基于第二位置和第四位置对工作物镜进行同心校准。同心校准。同心校准。
技术研发人员：张琥杰 霍阔 刘见桥 许陈旭 张和君
受保护的技术使用者：深圳市中图仪器股份有限公司
技术研发日：2022.10.13
技术公布日：2023/1/16