技术特征：
1.一种基于白光的膜厚监控系统，其特征在于：包括白光光源(1)、腔距可调的f-p单色仪(2)、光探测器(3)、数据采集分析装置(4)和用于放置镀膜产品的工件盘(5)，所述工件盘的下方设置有白光光源，所述工件盘的上方设置有与白光光源位置对应f-p单色仪，所述f-p单色仪的上方对应设置有用于光电信号转换的光探测器，所述光探测器与数据采集分析装置电连接。2.根据权利要求1所述的基于白光的膜厚监控系统，其特征在于：所述f-p单色仪包括平行布置的上反射镜面(201)和下反射镜面(202)，上反射镜面和下反射镜面之间形成f-p腔，所述上反射镜面和下反射镜面之间通过压电陶瓷(203)连接。3.根据权利要求2所述的基于白光的膜厚监控系统，其特征在于：所述上反射镜面(201)和下反射镜面(202)在f-p腔内侧涂有反射层。4.根据权利要求3所述的基于白光的膜厚监控系统，其特征在于：还包括上位机，所述f-p单色仪(2)和数据采集分析装置(4)均与上位机电连接。5.根据权利要求4所述的基于白光的膜厚监控系统，其特征在于：所述白光光源(1)为白炽灯或卤素灯。6.根据权利要求5所述的基于白光的膜厚监控系统，其特征在于：所述f-p单色仪(2)的中心波长调节范围为0.3μm-17μm。
技术总结
本实用新型公开了一种基于白光的膜厚监控系统，一种基于白光的膜厚监控系统，包括白光光源、腔距可调的F-P单色仪、光探测器、数据采集分析装置和用于放置镀膜产品的工件盘，所述工件盘的下方设置有白光光源，所述工件盘的上方设置有与白光光源位置对应F-P单色仪，所述F-P单色仪的上方对应设置有用于光电信号转换的光探测器，所述光探测器与数据采集分析装置电连接。本申请的基于白光的膜厚监控系统，一方面，能够拓宽镀膜产品的检测范围，另一方面，检测结果具有较高的准确性。检测结果具有较高的准确性。检测结果具有较高的准确性。
技术研发人员：姜海 范鹏 熊锋 刘俞含
受保护的技术使用者：湖南麓星光电科技有限公司
技术研发日：2022.10.14
技术公布日：2023/3/28