1.一种六氟化硫分解产物互补传感阵列检测装置，其特征在于，其包括，
2.根据权利要求1所述的六氟化硫分解产物互补传感阵列检测装置，其特征在于，优选的，互补传感器阵列单元包括三个分别检测二氧化硫、硫化氢和一氧化碳的mems薄膜兼容与贵金属掺杂金属氧化物气体传感器。
3.根据权利要求2所述的六氟化硫分解产物互补传感阵列检测装置，其特征在于，所述贵金属掺杂基于密度泛函计算各分解产物中电子性质组成互补特性，各分解产物唯一对应最优传感器阵列单元。
4.根据权利要求3所述的六氟化硫分解产物互补传感阵列检测装置，其特征在于，所述最优传感阵列单元需对目标气体浓度与种类敏感性进一步评估，构建各阵列单元对随机目标混气响应的数据集，计算互补阵列各单元响应与气体组分浓度肯德尔相关系数，并结合机器学习极度随机树模型进行气体种类识别训练，以训练模型的特征得分评估所选阵列得到最优传感阵列单元。
5.根据权利要求1所述的六氟化硫分解产物互补传感阵列检测装置，其特征在于，所述处理单元包括嵌入式系统搭载轻量级卷积神经网络，所述轻量级卷积神经网络继承交错组卷积神经网络，结合多任务联合损失解耦气体浓度与种类。
6.根据权利要求1所述的六氟化硫分解产物互补传感阵列检测装置，其特征在于，所述增压泵为隔膜泵以同时实现被测气体回充与循环检测真空准备。
7.根据权利要求1-6所述的六氟化硫分解产物互补传感阵列检测装置的检测方法，其特征在于，其包括以下步骤，
8.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述第三设定值大于第一设定值，所述第一设定值为10mbar，所述第三设定值为100mbar。
9.根据权利要求1所述的六氟化硫分解产物互补传感阵列检测装置的自校准方法，其特征在于，其包括以下步骤，
10.根据权利要求9所述的自校准方法，其特征在于，所述循环自校准包括阵检测信号零点漂移校准与gis气室压力自补偿。