1.一种mems惯性器件温度补偿参数在线拟合方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述mems惯性器件温度补偿参数在线拟合方法，其特征在于，所述对mems惯性器件温度误差进行分析方法如下：
3.如权利要求2所述mems惯性器件温度补偿参数在线拟合方法，其特征在于，所述常值温变速率的升降温实验的环境温度为65℃。
4.如权利要求2所述mems惯性器件温度补偿参数在线拟合方法，其特征在于，所述分离金属外壳产生的温度滞回：
5.如权利要求2所述mems惯性器件温度补偿参数在线拟合方法，其特征在于，所述分离金属外壳固定产生的温度滞回：
6.如权利要求1所述mems惯性器件温度补偿参数在线拟合方法，其特征在于，所述对mems惯性器件可靠性进行评测方法如下：
7.如权利要求6所述mems惯性器件温度补偿参数在线拟合方法，其特征在于，所述对mems惯性器件工作状态进行监测；确定复杂工况下目标mems惯性器件的失效模式与失效机理：
8.如权利要求6所述mems惯性器件温度补偿参数在线拟合方法，其特征在于，所述根据对mems器件的材料、结构、工艺本构特性以及器件在复杂工况下的失效机制及两者的关联性分析，确定目标mems惯性器件在各敏感应力下的可靠性评价模型：
9.如权利要求6所述mems惯性器件温度补偿参数在线拟合方法，其特征在于，所述确定目标mems惯性器件在寿命周期内的环境载荷剖面包括：
10.如权利要求6所述mems惯性器件温度补偿参数在线拟合方法，其特征在于，所述确定目标mems惯性器件中的材料体系和工艺特点包括：